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2. 发明申请

WO2007020744A1 チョクラルスキー法による単結晶製造装置のような無駄時間をもつ時変系制御対象のための制御システム及び方法审中-公开
标题翻译：具有空闲时间的时变系统控制对象的控制系统和方法，如采用CZOCHRALSKI方法的单晶生产装置
公开(公告)号：WO2007020744A1
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：PCT/JP2006/311395
申请日：2006-06-07
申请人：コマツ電子金属株式会社 , 板東賢一 , 森本茂夫 , 奥村卓司 , 長田哲 , 嶋田大 , 冨岡純輔 , 白石裕 , 児玉健
发明人：板東賢一 , 森本茂夫 , 奥村卓司 , 長田哲 , 嶋田大 , 冨岡純輔 , 白石裕 , 児玉健
IPC分类号： C30B15/20 , C30B29/06
CPC分类号： C30B15/20 , C30B29/06
摘要： To accurately control a time variant system control object having an idle time such as a Czochralski method single crystal producing device (CZ equipment). The idle time, the time constant and the process gain value of a control object (CZ equipment) (200) are set. The process gain set value has specified time variant characteristics. An output value y and its first-order and second-order time differentiation values are used as the state variable x of the control object (200). A non-linear state predicting unit (206) predicts a state variable value x(t+Ld) at a future point in time after an idle time based on the current output value y, the idle time, the time constant and the process gain set value. A gain-scheduled sliding mode control unit (212) performs a gain-scheduled sliding mode control operation based on the state variable value x(t+Ld) at a predicted future point in time, an output deviation z(t+Ld) at a future point in time, the time constant and a process gain set value at a future point in time to determine the manipulated variable uT of the control object (200).
摘要翻译：为了精确地控制具有空闲时间的时变系统控制对象，例如Czochralski方法单晶产生装置（CZ设备）。设置控制对象（CZ设备）（200）的空闲时间，时间常数和过程增益值。过程增益设置值具有指定的时变特征。使用输出值y及其一阶和二阶时间微分值作为控制对象（200）的状态变量x。非线性状态预测单元（206）基于当前输出值y，空闲时间，时间常数和处理增益来预测空闲时间之后的未来时间点的状态变量值x（t + Ld）设定值。增益调度滑动模式控制单元（212）根据预测的未来时间点的状态变量值x（t + Ld），基于状态变量值x（t + Ld），输出偏差z（t + Ld）未来时间点，时间常数和未来时间点的过程增益设定值，以确定控制对象（200）的操纵变量uT。

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