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    • 4. 发明申请
    • 太陽電池の製造方法
    • 太阳能电池制造方法
    • WO2006087786A1
    • 2006-08-24
    • PCT/JP2005/002456
    • 2005-02-17
    • 三菱電機株式会社岩田 高明冨永 尚史筈見 公一
    • 岩田 高明冨永 尚史筈見 公一
    • H01L31/04
    • H01L31/18H01L31/022425Y02E10/50
    •  メンテナンスが容易な製造装置を用いることが可能であると共に、電気的なリークが生じ難い太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。  この発明の太陽電池の製造方法では、パルス幅が100nsec以下のパルスレーザビームを用いて、結晶シリコン系太陽電池のP型電極形成領域とN型電極形成領域とを電気的に絶縁加工し、PN分離を実現する。また、YAGレーザまたはYVO 4 レーザ装置を用いて上記パルスレーザビームを得ることにより、廉価で、メンテナンスが容易であると共に、設置スペースをとらないレーザ装置を用いて太陽電池を製造することができる。
    • 可以使用容易维护的制造设备的太阳能电池制造方法,并且产生不容易产生漏电的太阳能电池。 在太阳能电池制造方法中,使用脉冲宽度为100nsec以下的脉冲激光束将P型电极形成区域与晶体硅系太阳能电池中的N型电极形成区域电绝缘,并且使用PN隔离 实现了。 太阳能电池可以通过使用低价格的激光设备,通过使用YAG激光器或YVO 4激光器获得脉冲激光束,可以容易地维护并且不需要太多的安装空间来制造 设备。
    • 5. 发明申请
    • マルチワイヤソー
    • 多线表
    • WO2005039824A1
    • 2005-05-06
    • PCT/JP2004/015705
    • 2004-10-22
    • 三菱電機株式会社河嵜 貴文鶴田 明三西田 博一三村 誠一濱保 昌之冨永 尚史
    • 河嵜 貴文鶴田 明三西田 博一三村 誠一濱保 昌之冨永 尚史
    • B24B27/06
    • B28D5/007B24B27/0633B28D5/045H01L21/304Y02P70/179
    •  この発明に係るワイヤソーは、被加工物とワイヤとの切断界面にアルカリまたは混酸を含むスラリを供給しながら前記被加工物を切断するマルチワイヤソーであって、前記スラリを貯蔵加熱するための加熱機構付貯蔵タンクと、前記加熱機構付貯蔵タンクから前記ワイヤが前記被加工物に繰り込まれる手前の位置までポンプにより送出された前記スラリを所定の温度に維持しながら搬送する保温パイプと、ステージに固定された前記被加工物の近傍の温度を前記所定の温度に維持する恒温槽と、前記ワイヤを前記所定の温度に加熱するワイヤ加熱機構とを備えている。その結果、シリコンインゴット切断加工時の切断抵抗が低減されるとともにそのばらつきが小さくなり、高品質のウエハを高効率・低コストで得ることができる。
    • 一种用于在将包含碱或混合酸的浆料供应到工件和线之间的切割边界面的同时切割工件的多线锯。 多线锯包括具有用于储存和加热浆料的加热机构的储罐,隔热管,其在保持特定温度的同时将由泵通过加热机构从储罐排出的浆料运送到位置 在将电线传送到工件之前,将保持工件附近的温度固定在规定温度的工作台上的恒温炉,以及将电线加热到指定温度的线加热机构。 因此,由于减少了切割硅锭的切割阻力并且其变化减小,所以可以以高效率和低成本提供高质量的晶片。