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1. 发明申请

WO2005039824A1 マルチワイヤソー审中-公开
标题翻译：多线表
公开(公告)号：WO2005039824A1
公开(公告)日：2005-05-06
申请号：PCT/JP2004/015705
申请日：2004-10-22
申请人：三菱電機株式会社 , 河嵜貴文 , 鶴田明三 , 西田博一 , 三村誠一 , 濱保昌之 , 冨永尚史
发明人：河嵜貴文 , 鶴田明三 , 西田博一 , 三村誠一 , 濱保昌之 , 冨永尚史
IPC分类号： B24B27/06
CPC分类号： B28D5/007 , B24B27/0633 , B28D5/045 , H01L21/304 , Y02P70/179
摘要：　この発明に係るワイヤソーは、被加工物とワイヤとの切断界面にアルカリまたは混酸を含むスラリを供給しながら前記被加工物を切断するマルチワイヤソーであって、前記スラリを貯蔵加熱するための加熱機構付貯蔵タンクと、前記加熱機構付貯蔵タンクから前記ワイヤが前記被加工物に繰り込まれる手前の位置までポンプにより送出された前記スラリを所定の温度に維持しながら搬送する保温パイプと、ステージに固定された前記被加工物の近傍の温度を前記所定の温度に維持する恒温槽と、前記ワイヤを前記所定の温度に加熱するワイヤ加熱機構とを備えている。その結果、シリコンインゴット切断加工時の切断抵抗が低減されるとともにそのばらつきが小さくなり、高品質のウエハを高効率・低コストで得ることができる。
摘要翻译：一种用于在将包含碱或混合酸的浆料供应到工件和线之间的切割边界面的同时切割工件的多线锯。多线锯包括具有用于储存和加热浆料的加热机构的储罐，隔热管，其在保持特定温度的同时将由泵通过加热机构从储罐排出的浆料运送到位置在将电线传送到工件之前，将保持工件附近的温度固定在规定温度的工作台上的恒温炉，以及将电线加热到指定温度的线加热机构。因此，由于减少了切割硅锭的切割阻力并且其变化减小，所以可以以高效率和低成本提供高质量的晶片。

2. 发明申请

WO2005037968A1 シリコンインゴット切断用スラリー及びそれを用いるシリコンインゴットの切断方法审中-公开
标题翻译：用于切削硅芯的浆料以及使用其来切割硅芯的方法
公开(公告)号：WO2005037968A1
公开(公告)日：2005-04-28
申请号：PCT/JP2004/015030
申请日：2004-10-12
申请人：三菱電機株式会社 , 鶴田明三 , 濱保昌之 , 河嵜貴文 , 西田博一 , 冨永尚史
发明人：鶴田明三 , 濱保昌之 , 河嵜貴文 , 西田博一 , 冨永尚史
IPC分类号： C10M173/02
CPC分类号： C09K3/1463 , B28D5/007 , Y02P70/179 , Y10T83/04
摘要：　この発明に係るシリコンインゴット切断用スラリーでは、塩基性物質の含有量を、スラリーの液体成分全体の質量に対して少なくとも３．５質量％とし、スラリーの液体成分中の水分に対して質量比で０．５～５．０の有機アミンを含有させ、且つスラリーのｐＨを１２以上としている。また、この発明に係るシリコンインゴットの切断方法では、上記シリコンインゴット切断用スラリーを６５°C～９５°Cで使用している。その結果、シリコンインゴット切断加工時の切断抵抗が低減され、高品質のウエハを効率よく得ることができる。
摘要翻译：公开了一种用于切片不小于12的硅锭切片的浆料，其中碱性物料相对于浆料液体组分总质量的含量为至少3.5质量％，并且有机胺的含量为其浆液的液体成分中的水的质量比为0.5-5.0。还公开了一种用于切割硅锭的方法，其中这种浆料在65-95℃下使用。利用这种方法，硅锭切片期间的切割阻力降低，因此可以有效地获得高质量的晶片。

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