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    • 42. 发明申请
    • BRIGHT AND DURABLE FIELD EMISSION SOURCE DERIVED FROM REFRACTORY TAYLOR CONES
    • 明亮和耐久的场地排放源由炼铁塔发出
    • WO2015070109A1
    • 2015-05-14
    • PCT/US2014/064697
    • 2014-11-07
    • HIRSCH, Gregory
    • HIRSCH, Gregory
    • H01J49/04
    • H01J37/073H01J1/304H01J1/3044H01J9/025H01J37/08H01J37/3178H01J2201/30411H01J2237/0805
    • A method of producing field emitters having improved brightness and durability relying on the creation of a liquid Taylor cone from electrically conductive materials having high melting points. The method calls for melting the end of a wire substrate with a focused laser beam, while imposing a high positive potential on the material. The resulting molten Taylor cone is subsequently rapidly quenched by cessation of the laser power. Rapid quenching is facilitated in large part by radiative cooling, resulting in structures having characteristics closely matching that of the original liquid Taylor cone. Frozen Taylor cones thus obtained yield desirable tip end forms for field emission sources in electron beam applications. Regeneration of the frozen Taylor cones in-situ is readily accomplished by repeating the initial formation procedures. The high temperature liquid Taylor cones can also be employed as bright ion sources with chemical elements previously considered impractical to implement.
    • 一种制造具有改善的亮度和耐久性的场致发射体的方法,其依赖于具有高熔点的导电材料产生液体泰勒锥。 该方法要求用聚焦激光束熔化线基底的端部,同时在材料上施加高的正电位。 随后通过停止激光功率使所得的熔融泰勒锥快速淬火。 在很大程度上通过辐射冷却促进快速淬火,导致具有与原始液体泰勒锥的特征密切相似的特征的结构。 因此获得的冷冻泰勒锥在电子束应用中产生用于场发射源的期望的尖端形式。 通过重复初始形成程序容易地实现冷冻泰勒锥的原位再生。 高温液体泰勒锥也可用作具有以前认为不实际实施的化学元素的明亮离子源。
    • 44. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON NANOSPITZEN
    • 方法和装置的制备纳米TIPS
    • WO2014198944A1
    • 2014-12-18
    • PCT/EP2014/062462
    • 2014-06-13
    • IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS / LEIBNIZ-INSTITUT FÜR INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK
    • MEHR, WolfgangWOLFF, André
    • H01J37/073
    • C23F4/00B81C1/00111C23C16/50H01J1/3044H01J9/025H01J37/073H01J37/32963H01J37/32981H01J2201/30411H01J2209/0226H01J2237/334H01L21/3065H01L21/3081
    • Verfahren zur Herstellung von mindestens einer Nanospitze aus einem Spitzenmaterial, umfassend das Bereitstellen eines Substrates (210), das aus dem Spitzenmaterial besteht oder dieses in Form einer Beschichtung aufweist, das Herstellen einer Maske aus einem Maskenmaterial (220), wobei das Maskenmaterial so gewählt ist, dass in einem vorbestimmten reaktiven lonenatzprozess das Maskenmaterial mit einer geringeren Ätzrate entfernt wird als das Spitzenmaterial und das Durchführen des reaktiven lonenätzprozesses in einer Ätzkammer, wobei Maskenmaterials zusätzlich derart ausgewählt wird, dass beim reaktiven lonenätzprozess aus dem Maskenmaterial eine gasförmige Komponente (230) freigesetzt wird, die beim reaktiven lonenätzprozess aus dem Spitzenmaterial nicht freigesetzt wird und wobei das Verfahren weiterhin die Schritte Detektieren der gasförmigen Komponente während der Durchführung des lonenätzprozesses, wiederholtes Ermitteln während des lonenätzprozesses, ob eine Menge der gasförmigen Komponente in der Ätzkammer einen vorbestimmten unteren Schwellwert erreicht, und sobald der untere Schwellwert erreicht ist: Stoppen des reaktiven lonenätzprozesses, umfasst.
    • 一种用于至少产生一个顶材料的纳米尖端,其包括:提供衬底(210),它由尖端的材料制成,或该具有涂层的形式,制备由掩模材料(220),的掩模,其中所述掩模材料被选择,以便处理 的是,在预定的反应性lonenatzprozess掩模材料被以较慢的蚀刻速度比所述顶部材料取出,并在蚀刻室,其中,所述掩模材料的反应离子蚀刻的气体成分时的掩模材料被进一步选择,使得进行所述反应性lonenätzprozesses(230)被释放 未在反应性离子蚀刻工艺从尖端材料释放,并且其中所述方法还包括lonenätzprozesses的执行期间检测所述气态组分,lonenätzprozesses期间反复确定是否量的步骤 气体成分达到在蚀刻室的预定下阈值,并且当达到所述下阈值时:停止所述反应性lonenätzprozesses包括。
    • 46. 发明申请
    • METHOD FOR MANUFACTURING NANOSTRUCTURES AND CATHODE FOR FIELD EMISSION LIGHTING ARRANGEMENT
    • 用于制造场发射照明装置的纳米结构和阴极的方法
    • WO2013050570A1
    • 2013-04-11
    • PCT/EP2012/069787
    • 2012-10-05
    • LIGHTLAB SWEDEN AB
    • HU, Qiu-HongYANG, Shang-RayBOHLIN, Kjell
    • H01J9/02H01J63/04H01J1/304
    • H01J1/304C30B7/10C30B29/16H01J1/3044H01J1/36H01J9/025H01J63/02H01J63/04H01J2201/30496
    • The present invention relates to a method for manufacturing a plurality of nanostructures comprising the steps of providing a plurality of protruding base structures (104) arranged on a surface of a first substrate (102), providing a seed layer mixture, comprising a solvent/dispersant and a seed material, in contact with the protruding base structures, providing a second substrate arranged in parallel with the first substrate adjacent to the protruding base structures, thereby enclosing a majority of the seed layer mixture between the first and second substrates, evaporating the solvent, thereby forming a seed layer (110) comprising the seed material on the protruding base structures, removing the second substrate, providing a growth mixture, comprising a growth agent, in contact with the seed layer, and controlling the temperature of the growth mixture so that nanostructures (114) are formed on the seed layer via chemical reaction in presence of the growth agent.
    • 本发明涉及一种用于制造多个纳米结构的方法,包括以下步骤:提供布置在第一基底(102)的表面上的多个突出的基底结构(104),提供种子层混合物,其包含溶剂/分散剂 以及与所述突出的基部结构接触的种子材料,提供与所述第一基板平行布置的与所述突出的基部结构相邻的第二基板,从而在所述第一和第二基板之间封闭所述种子层混合物的大部分,蒸发所述溶剂 ,从而在突出的基部结构上形成包含种子材料的种子层(110),去除第二基底,提供包含与种子层接触的生长剂并且控制生长混合物的温度的生长混合物 纳米结构(114)通过生长剂存在下的化学反应在种子层上形成。
    • 50. 发明申请
    • METHOD OF FORMING GATED, SELF-ALIGNED MICRO-STRUCTURES AND NANO-STRUCTURES
    • 形成选通,自对准微结构和纳米结构的方法
    • WO2007092499A3
    • 2007-12-27
    • PCT/US2007003256
    • 2007-02-05
    • UNIV WAYNE STATEBAIRD RONALD JGEORGIEV DANIEL GAVRUTSKY IVANNEWAZ GOLAMAUNER GREGORY W
    • BAIRD RONALD JGEORGIEV DANIEL GAVRUTSKY IVANNEWAZ GOLAMAUNER GREGORY W
    • H01J1/02H01L21/00
    • H01J9/025B82Y10/00H01J1/3044Y10T428/24802
    • Methods of forming a gated, self-aligned nano-structures for electron extraction are disclosed. One method of forming the nano-structure comprises irradiating a first surface of a thermally conductive laminate to melt an area across the first surface of the laminate. The laminate comprises a thermally conductive film and a patterned layer disposed on the first surface of the film. The patterned layer has a pattern formed therethrough, defining the area for melting. The film is insulated at a second surface thereof to provide two-dimensional heat transfer laterally in plane of the film. The liquid density of the film is greater than the solid density thereof. The method further comprises cooling the area inwardly from the periphery thereof to form the nano-structure having an apical nano-tip for electron emission centered in an electrically isolated aperture that serves as a gate electrode to control electron extraction in a gated field emitter device.
    • 公开了形成用于电子提取的门控自对准纳米结构的方法。 一种形成纳米结构的方法包括照射导热层压材料的第一表面以熔化层压材料的第一表面上的区域。 该层压板包括导热膜和设置在膜的第一表面上的图案化层。 图案化层具有穿过其形成的图案,限定用于熔化的区域。 该膜在其第二表面处被绝缘以在膜的平面内侧向地提供二维热传递。 该膜的液体密度大于其固体密度。 该方法进一步包括从其周边向内冷却该区域以形成具有用于电子发射的顶端纳米尖端的纳米结构,该顶端纳米尖端以电隔离孔隙为中心,该电隔离孔隙用作门电极以控制门控场发射器装置中的电子提取。