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41. 发明申请

WO2008031819A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2008031819A1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：PCT/EP2007/059521
申请日：2007-09-11
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , GIEBMANNS, Wolfgang
发明人： GIEBMANNS, Wolfgang
IPC分类号： F04D17/02 , F04D17/16 , F04D19/04 , F04D29/40
CPC分类号： F04D17/168 , F04D17/02 , F04D19/046 , F04D29/403
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine schnelidrehende Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Hochvakuums. Schnelldrehende Vakuumpumpen könnten zusammen mit schnelidrehenden Hochvakuumpumpen, beispielsweise Turbomolekularpumpen, zu einwelligen Vakuumpumpen zusammengesetzt werden, die von Hochvakuum- bzw. Ultrahochvakuum auf Atmosphärendruck verdichten können. Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe (10) weist hierzu eine Saugstufe (12) und eine nachgelagerte Zentripetal-Verdichterstufe (21) mit radial verlaufenden Verdichterkammern (33) auf, deren Auslassquerschnitt kleiner als das 0,4-fache ihres Einlassquerschnittes ist. Da die Zentripetal-Verdichterstufe keine Verdrängermaschine ist, kann sie mit hohen Drehzahlen betrieben werden und Gase von Vorvakuumdrücken auf Atmosphärendruck mit hohen Drehzahlen verdichten. Hierdurch ist die Möglichkeit geschaffen, mit einer einzigen einwelligen schnelldrehenden Vakuumpumpe Hochvakuum bzw. Uitrahochvakuum zu erzeugen.
摘要翻译：本发明涉及一种schnelidrehende真空泵用于产生高真空。快速移动的真空泵可以与schnelidrehenden高真空泵，如涡轮分子泵配合，组装成单螺杆真空泵能缩合到高真空或超高真空的大气压力。为了这个目的，根据本发明（10）中的真空泵具有吸入叶轮（12）和具有径向延伸的压缩室（33），其出口部分是其入口的横截面小于0.4倍的下游心式压缩机级（21）。由于心式压缩机阶段是没有位移，它可以以高的速度运转，并从压缩Vorvakuumdrücken气体以高速大气压。从而，创建的可能性，以产生单个轴与单个快速旋转的真空泵或高真空Uitrahochvakuum。

42. 发明申请

WO2006060275A3 FORE-LINE PRECONDITIONING FOR VACUUM PUMPS 审中-公开
标题翻译：真空泵的前线预处理
公开(公告)号：WO2006060275A3
公开(公告)日：2006-08-17
申请号：PCT/US2005042730
申请日：2005-11-23
申请人： BOC GROUP INC , BAILEY CHRISTOPHER M , BOGER MICHAEL S
发明人： BAILEY CHRISTOPHER M , BOGER MICHAEL S
IPC分类号： F04B25/00 , F04B37/16 , F04D19/04 , F04D25/00 , F04D25/16 , H01L21/02
CPC分类号： F04D19/04 , C23C16/4412 , F04D19/00 , F04D19/046 , F04D25/00 , F04D27/00 , H01L21/67017 , H01L21/67155
摘要： The present invention is an apparatus and method for evacuating a number of vacuum processing chambers containing incompatible gases. The gases are directed to a subatmospheric abatement chamber containing preconditioning devices. The gases are treated in the abatement chamber to render them compatible. The compatible gases are then drawn from the abatement chamber as a single stream 6 through a backing pump.
摘要翻译：本发明是用于抽空多个含有不相容气体的真空处理室的装置和方法。气体被引导到包含预处理装置的低于大气压的减压室。在减排室中处理气体以使它们相容。然后将相容的气体作为单一流6通过背衬泵从减排室中抽出。

43. 发明申请

WO2005033522A1 VACUUM PUMP 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2005033522A1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：PCT/GB2004/004131
申请日：2004-09-23
申请人： THE BOC GROUP PLC , STONES, Ian, David
发明人： STONES, Ian, David
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046
摘要： A vacuum pump (100) comprises a first set (106) of turbo-molecular stages, a molecular drag stage (112), a first inlet (120) through which fluid can pass through the first set (106) of stages and the molecular drag stage (112) towards a pump outlet (116), second and third sets (108, 110) of turbo-molecular stages located between the first set (106) and the molecular drag stage (112), a second inlet (122), the second and third sets (108, 110) being arranged such that fluid entering the pump through the second inlet (122) is separated into two streams each flowing through a respective one of the second and third sets (108, 110), and conduit means (126) for conveying fluid passing through the first set (106) and one of the second and third sets (108, 110) towards the outlet (116).
摘要翻译：真空泵（100）包括涡轮分子级的第一组（106），分子阻滞级（112），第一入口（120），流体可以通过该第一入口穿过第一组（106）和分子拖曳台（112）朝向泵出口（116），位于第一组（106）和分子拖曳台（112）之间的涡轮分子级的第二组和第三组（108,110），第二入口（122）第二组和第三组（108,110）被布置成使得通过第二入口（122）进入泵的流体被分成两股流，每个流流过第二组和第三组（108,110）中的相应一个，以及导管装置（126），用于将通过第一组（106）的流体和第二组和第三组（108,110）中的一个朝向出口（116）输送。

44. 发明申请

WO2005033521A1 VACUUM PUMP 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2005033521A1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：PCT/GB2004/004114
申请日：2004-09-23
申请人： THE BOC GROUP PLC , STONES, Ian, David , GOODWIN, David, John
发明人： STONES, Ian, David , GOODWIN, David, John
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046
摘要： A vacuum pump comprises a first pumping section (106), and, downstream therefrom, a second pumping section (108), The pump comprises a first pump inlet (120) through which fluid can enter the pump and pass through both the first and second pumping sections towards a pump outlet, and a second pump inlet (122) through which fluid can enter the pump and pass through only the second pumping section towards the outlet. The second pumping section (108) comprises an externally threaded rotor (109).
摘要翻译：真空泵包括第一泵送部分（106）和其下游的第二泵送部分（108）。泵包括第一泵入口（120），流体可以通过第一泵入口进入泵并且穿过第一和第二泵泵送部分朝向泵出口，以及第二泵入口（122），流体可以通过所述第二泵入口进入泵并仅通过第二泵送部分朝向出口。第二泵送部分（108）包括外螺纹转子（109）。

45. 发明申请

WO2005031169A1 DETECTION OF CONTAMINANTS WITHIN FLUID PUMPED BY A VACUUM PUMP 审中-公开
标题翻译：在真空泵泵送的流体中检测污染物
公开(公告)号：WO2005031169A1
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：PCT/GB2004/003983
申请日：2004-09-16
申请人： THE BOC GROUP PLC , BREWSTER, Barrie, Dudley
发明人： BREWSTER, Barrie, Dudley
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： G01M3/205 , F04B37/14 , F04B2205/50 , F04D19/046 , F04D27/001 , F05D2260/607
摘要： A vacuum pump has, in fluid communication with a location intermediate an inlet thereof for receiving fluid and an outlet thereof for exhausting pumped fluid, a sensor for receiving at least part of the fluid received by the pump and for sensing the presence of one or more contaminants therein.
摘要翻译：真空泵与其入口之间的位置流体连通，用于接收流体和用于排出泵送流体的出口;传感器，用于接收由泵接收的至少一部分流体并用于感测一个或多个污染物。

46. 发明申请

WO2005014892A2 COATING 审中-公开
标题翻译：涂层
公开(公告)号：WO2005014892A2
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/GB2004003010
申请日：2004-07-12
申请人： BOC GROUP PLC , OKOROAFOR EMMANUEL UZOMA
发明人： OKOROAFOR EMMANUEL UZOMA
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/02 , C25D11/02 , F04D7/00
CPC分类号： F04D19/046 , F04D19/044 , F04D29/023 , F05D2230/31 , F05D2230/90 , F05D2260/95 , F05D2300/10 , F05D2300/21 , F05D2300/611 , Y10T428/12611 , Y10T428/30
摘要： A method of forming a coating on a plastics component of a vacuum pump comprises the steps of applying a metallic layer to the component and forming the coating from the metallic layer by subjecting the metallic layer to electrolytic plasma oxidation.
摘要翻译：在真空泵的塑料部件上形成涂层的方法包括以下步骤：通过对金属层进行电解等离子体氧化，将金属层施加到部件上并从金属层形成涂层。

47. 发明申请

WO2004055378A1 VACUUM PUMPING ARRANGEMENT AND METHOD OF OPERATING SAME 审中-公开
标题翻译：真空抽吸装置及其操作方法
公开(公告)号：WO2004055378A1
公开(公告)日：2004-07-01
申请号：PCT/GB2003/005377
申请日：2003-12-09
申请人： THE BOC GROUP PLC , SCHOFIELD, Nigel, Paul
发明人： SCHOFIELD, Nigel, Paul
IPC分类号： F04D27/02
CPC分类号： F04D19/046 , F04D27/0261
摘要： A vacuum pumping arrangement (10) for controlling pressure in a chamber, the arrangement comprising a molecular pumping mechanism (12) and a backing pumping mechanism (14). The backing pumping mechanism (14) is rotatable by a motor (34), the motor being arranged to rotate the molecular pumping mechanism (12) simultaneously with the backing pumping mechanism (14). Means are provided for controlling the rotational speeds of the backing pumping mechanism and the molecular pumping mechanism.
摘要翻译：一种用于控制腔室中的压力的真空泵送装置（10），该装置包括分子泵送机构（12）和背衬泵送机构（14）。背衬泵送机构（14）可通过马达（34）旋转，马达被布置成与分离泵送机构（12）同时与背衬泵送机构（14）旋转。提供了用于控制背衬泵送机构和分子泵送机构的转速的装置。

48. 发明申请

WO2003078845A1 VACUUM PUMPS WITH IMPROVED IMPELLER CONFIGURATIONS 审中-公开
标题翻译：真空泵与改进的叶轮配置
公开(公告)号：WO2003078845A1
公开(公告)日：2003-09-25
申请号：PCT/US2003/005621
申请日：2003-02-24
申请人： VARIAN, INC.
发明人： HABLANIAN, Marsbed
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D17/168 , F04D19/046 , F04D23/008
摘要： A vacuum pump includes a housing 10 having an inlet port 14 and an exhaust port 16, a plurality of vacuum pumping stages 30,32...,46 located within the housing 10 and disposed between the inlet port 14 and the exhaust port 16, and a motor 52. The vacuum pumping stages include gas drag stages, each including a stator and an impeller. The impellers of successive ones of the gas drag stages are configured for efficient operation at progressively higher pressures. The impellers of the gas drag stages may have pumping surfaces with a surface topography for efficient operation at progressively higher pressures. The motor 52 rotates the impellers such that gas is pumped from the inlet port 14 to the exhaust port 16.
摘要翻译：真空泵包括具有入口端口14和排气口16的壳体10，位于壳体10内并设置在入口端口14和排气口16之间的多个真空泵送级30,32 ...，46，和电动机52.真空泵送阶段包括气体拖动级，每个包括定子和叶轮。连续的气体拖动级的叶轮构造成在逐渐更高的压力下有效地操作。气体拖动级的叶轮可以具有表面形貌的泵送表面，以在逐渐更高的压力下有效地操作。马达52使叶轮旋转，使得气体从入口端口14泵送到排气口16。

49. 发明申请

WO02021230A2 METHOD AND DEVICE FOR REGULATING A VACUUM IN A CHAMBER 审中-公开
标题翻译：方法和装置在室真空控
公开(公告)号：WO02021230A2
公开(公告)日：2002-03-14
申请号：PCT/EP2001/010057
申请日：2001-08-31
IPC分类号： F04C28/02 , F04C28/08 , F04D19/04 , G05D16/20 , G05D16/00
CPC分类号： F04C28/02 , F04C25/02 , F04C28/08 , F04D19/046 , G05D16/2073
摘要： The invention relates to a chamber (10) wherein a vacuum (pHv) is maintained in a regulated manner. Said chamber is connected to a suction line (14) comprising a plurality of pumps (15, 16, 17) arranged in a series. The regulation of the vacuum (pHv) is achieved by a regulator (21) which alters by a suction parameter, for example the pre-vacuum pressure (pVv) or the speed of a pump (16). As the control range is large, it is divided into sections wherein different regulating parameters are active. The sections are selected by means of the pressure of the vacuum (pHv) measured by a pressure sensor (22). The respectively active regulating parameter is, subsequently, determined according to the pressure of the vacuum, resulting in quicker and more reliable regulation.
摘要翻译：的腔室（10），其中一个真空（PHV）要保持调节的，被连接到抽吸线（14），在串联的多个泵（15，16，17）。真空（PHV）的调节是由控制器（21）改变Saugparameter实现，例如，脱颖而出真空压力（PVV）或泵（16）的速度。由于该控制范围的大的控制范围被分成多个部分，其中不同的控制参数是有效的。的部分从一个压力传感器（22）的基础上选择的感测到的真空压力（PHV）。因此根据真空压力所确定的主动控制参数。通过这种方式，控制速度更快，更安全。

50. 发明申请

WO99060275A1 FRICTION VACUUM PUMP WITH A STATOR AND A ROTOR 审中-公开
标题翻译：摩擦真空泵定子和转子
公开(公告)号：WO99060275A1
公开(公告)日：1999-11-25
申请号：PCT/EP1998/005802
申请日：1998-09-11
IPC分类号： F04D17/16 , F04D19/04
CPC分类号： F04D17/168 , F04D19/046
摘要： A friction vacuum pump (1) with a stator (3) and a rotor (4) forming at least two pump stages (12, 13, 14) each with one gas inlet (23, 28), in addition to connecting means for the pump stages, whereby said means are fitted with connecting openings (36, 37) and are used to connect the gas inlets of the (23, 28) of the pump stages to devices that are to be emptied. In order to avoid high losses in conductance, the connecting openings (36, 37) are located on a single plane which is to the side of and close to the pump stages (12, 13, 14), whereby the distance between the connecting openings (36, 37) and the axis (15) of the rotor is as short as possible.
摘要翻译：本发明涉及一种摩擦真空泵（1）与定子（3）和（4）具有至少两个泵级的转子（12，13，14），每个具有气体入口（23，28）的形式，以及连接装置，用于将泵级，其与连接开口（36,37）被装配和气体入口的连接（23，28）被用于与装置被排空泵级; 避免高电导，所以建议的连接开口（36,37）位于一个平面，该平面横向邻近于泵级为（12，13，14），使得所述连接开口（36，37）之间的距离转子轴（15）是尽可能的小。

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