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热词
    • 1. 发明申请
    • BEHANDLUNGSVORRICHTUNG FÜR SUBSTRATE UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER SOLCHEN BEHANDLUNGSVORRICHTUNG
    • WO2019038327A1
    • 2019-02-28
    • PCT/EP2018/072666
    • 2018-08-22
    • CENTROTHERM INTERNATIONAL AG
    • SCHULZ, Sebastian HubertusGUGGOLZ, LarsPERNAU, Thomas
    • C23C16/44H01L21/67H01J37/32F04C28/02F04D25/16B01D53/74F04D25/00
    • Es wird eine Vorrichtung zum Bereitstellen von Vakuum an unterschiedliche Vakuumeinheiten, insbesondere eine Behandlungsvorrichtung für Substrate, insbesondere Halbleitersubstrate und Substrate für die Photovoltaik sowie ein Verfahren zum Betrieb einer solchen Vorrichtung beschrieben. Die Behandlungsvorrichtung weist folgendes auf: wenigstens drei voneinander getrennte Vakuumeinheiten, eine erste Pumpe und ein erstes Leitungssystem welches die erste Pumpe mit jeder der Vakuumeinheiten verbindet, eine zweite Pumpe und ein zweites Leitungssystem welches die zweite Pumpe mit jeder der Vakuumeinheiten verbindet, wenigstens eine der Anzahl der Vakuumeinheiten entsprechende Anzahl von ersten Ventilen, die derart im ersten Leitungssystem angeordnet sind, dass jeder Vakuumeinheit ein erstes Ventil zugeordnet ist, um die Verbindung zwischen der entsprechenden Vakuumeinheit und der ersten Pumpe zu steuern, wenigstens eine der Anzahl der Vakuumeinheiten entsprechende Anzahl von zweiten Ventilen, die derart im zweiten Leitungssystem angeordnet sind, dass jeder Vakuumeinheit ein zweites Ventil zugeordnet ist, um die Verbindung zwischen der entsprechenden Vakuumeinheit und der zweiten Pumpe zu steuern, und eine Steuereinheit zum Ansteuern wenigstens der ersten und zweiten Ventile, um individuell ein Abpumpen der Vakuumeinheiten über die erste und/oder die zweite Pumpe zu steuern. Beim Betrieb der Behandlungsvorrichtung werden die jeweiligen Vakuumeinheiten bevorzugt über die zweite Pumpe auf einen vorbestimmten Druck abgepumpt und während einer Prozessierung über die erste Pumpe auf einem vorbestimmten Druck gehalten, wobei während des Abpumpens die Verbindung zwischen der jeweiligen Vakuumeinheit und der ersten Pumpe geschlossen ist, und während der Prozessierung die Verbindung zwischen der jeweiligen Vakuumeinheiten und der zweiten Pumpe geschlossen ist.
    • 7. 发明申请
    • MACHINE EQUIPÉE D'UN COMPRESSEUR D'AIR OU POMPE À EAU
    • 机器配备空气压缩机或水泵
    • WO2016165906A1
    • 2016-10-20
    • PCT/EP2016/055828
    • 2016-03-17
    • BELENOS CLEAN POWER HOLDING AG
    • GASHI, Rexhep
    • F04D29/046F04D29/049F04D29/056F04D29/059F04D1/00F04D17/10F04D13/00F04D25/00
    • F04D29/0467F04D1/00F04D13/00F04D13/06F04D13/16F04D17/10F04D25/00F04D25/06F04D29/046F04D29/049F04D29/056F04D29/059F04D29/40
    • L'invention se rapporte à une machine (50) comprenant un châssis (52) comprenant au moins un élément fonctionnel (53) et une unité de pilotage (54). Ladite machine comprend un compresseur d'air ou pompe à eau (1) intégré dans le châssis (52), ledit compresseur d'air ou pompe à eau (1) comprenant un bâti (2) dans lequel sont montés un stator (4), un rotor (5) interagissant avec ledit stator (4) et comprenant un arbre (6), au moins une turbine (12) portée par ledit arbre (6), un canal d'amenée de fluide (14) vers la turbine (12), et un canal de sortie de fluide comprimé (16), l'arbre (6) du rotor (5) étant monté en rotation sur le bâti (2) autour d'un axe (A) au moyen d'un premier (7) et d'un second (8) paliers, ledit premier (7), respectivement ledit second (8), palier comprenant un premier (18), respectivement un second (22), élément sphérique prévu à une première (9), respectivement une seconde (10), extrémité de l'arbre et disposé de manière centrée par rapport à l'axe (A) de l'arbre (6), et un premier (20), respectivement un deuxième (24), logement prévu dans le bâti (2) présentant la forme d'une calotte disposée de manière centrée par rapport à l'axe (A) de l'arbre (6) et agencée pour supporter ledit premier (18), respectivement ledit second (22), élément sphérique. Ledit châssis (52) comporte une entrée de fluide agencée pour alimenter le compresseur d'air ou pompe à eau (1) et un circuit d'alimentation (56) agencé pour apporter le fluide comprimé à l'élément fonctionnel (53).
    • 本发明涉及一种机器(50),其包括包括至少一个功能元件(53)和控制单元(54)的底架(52)。 所述机器包括集成在底盘(52)中的空气压缩机或水泵(1),所述空气压缩机或水泵(1)包括框架(2),其中安装有定子(4),转子(5) 与所述定子(4)相互作用并且包括轴(6),由所述轴(6)承载的至少一个涡轮机(12),向所述涡轮机(12)承载流体的供应管道(14) 用于压缩流体的管道(16),转子(5)的轴(6)被安装成能够通过第一(7)和第二(7)绕轴线(A)在框架(2)上旋转的能力 (8)轴承,所述第一(7)和第二(8)轴承分别包括分别设置在所述轴的第一(9)和第二(10)端部处的相应的第一(18)和第二(22)球形元件,以及 布置成使得其相对于轴(6)的轴线(A)居中,并且设置在框架(2)中的相应的第一(20)和第二(24)壳体具有杯形状,使得其 以...为中心 与轴(6)的轴线(A)相对并且设计成支撑所述相应的第一(18)和第二(22)球形元件。 所述底盘(52)包括设计成供应空气压缩机或水泵(1)的流体入口和设计成将压缩流体运送到功能元件(53)的供应回路(56)。