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    • 35. 发明申请
    • 圧電素子の駆動方法及び装置並びに微動機構の制御装置
    • 用于驱动压电器件的方法和装置以及微机器的控制器
    • WO2004081684A1
    • 2004-09-23
    • PCT/JP1992/001569
    • 1992-11-30
    • 高田 龍二羽崎 栄市
    • 高田 龍二羽崎 栄市
    • G05D3/00
    • B82Y15/00H01L41/042H02N2/062Y10S977/85Y10S977/872
    • An approximation formula is prepared for representing the relation of an amplitude ( DELTA V) within a range of voltage to be applied to a piezoelectric device (1), a reference voltage (Vo) relating to the voltage range, and the strain (G) per unit voltage of the piezoelectric device, and a target strain ( DELTA X) and the reference voltage (Vo) are inputted. The amplitude ( DELTA V) in the range of voltage for generating a target strain at the reference voltage is determined using the approximation formula, and a range (Vmin to Vmax) of voltage for generating the target strain is determined from the range of voltage thus determined and from the inputted reference voltage. A voltage is applied to the piezoelectric device on the basis of the voltage range thus determined, so that a precise strain can be generated without using any special strain measuring instrument. An approximation formula utilizing a linear or quadratic equation is prepared as the approximation formula in accordance with required accuracy.
    • 准备一个近似公式来表示在施加到压电装置(1)的电压范围内的振幅(DELTA V),与电压范围有关的参考电压(Vo)和应变(G)之间的关系, 输入压电元件的单位电压,目标应变(DELTA X)和基准电压(Vo)。 使用近似公式确定在基准电压下产生目标应变的电压范围内的幅度(DELTA V),根据电压范围求出用于产生目标应变的电压的范围(Vmin〜Vmax) 从输入的参考电压确定。 基于这样确定的电压范围,对压电元件施加电压,从而可以在不使用任何特殊的应变测量仪器的情况下产生精确的应变。 使用线性或二次方程的近似公式根据所需精度准备为近似公式。
    • 37. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ANSTEUERUNG EINES ELEKTROMECHANISCHEN ELEMENTS
    • 用于操作机电元件的方法和设备
    • WO2017137044A1
    • 2017-08-17
    • PCT/DE2017/100105
    • 2017-02-10
    • PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG
    • REITH, Jeremias
    • H01L41/04H02N2/06
    • H02N2/062H02N2/025
    • Die Erfindung betrifft ein Ansteuerverfahren für ein elektromechanisches Element zur Positionierung eines zumindest zeitweise mit dem elektromechanischen Element in Kontakt stehenden anzutreibenden Elements, wobei in einem Schrittmodus an dem elektromechanischen Element elektrische Spannungspulse anliegen und jeder Spannungspuls wenigstens zwei Zeitabschnitte aufweist, wobei in einem der Zeitabschnitte eine durchschnittlich langsamere zeitliche Änderung der elektrischen Spannung und in dem anderen Zeitabschnitt eine durchschnittlich schnellere zeitliche Änderung der elektrischen Spannung stattfindet, und zumindest in einem Teil des Zeitabschnitts der durchschnittlich langsameren zeitlichen Änderung der elektrischen Spannung, welcher einen Antriebszeitabschnitt definiert, durch Haftreibung zwischen dem sich in Antriebsrichtung expandierenden oder kontrahierenden elektromechanischen Element und dem anzutreibenden Element dieses von dem elektromechanischen Element mitbewegt wird, und zumindest in einem Teil des Zeitabschnitts der durchschnittlich schnelleren zeitlichen Änderung der elektrischen Spannung, welcher einen Relativbewegungszeitabschnitt definiert, durch Gleitreibung zwischen dem sich entgegengesetzt zur Antriebsrichtung kontrahierenden oder expandierenden elektromechanischen Element und dem anzutreibenden Element eine Relativbewegung zwischen elektromechanischem Element und anzutreibendem Element stattfindet, so dass das anzutreibende Element mit jedem Spannungspuls einen diskreten Schritt in Antriebsrichtung ausführt, und das Verfahren weiterhin das Vorsehen eines Reglers und eines damit elektrisch verbundenen Treibers umfasst. Erfindungsgemäß übergibt der Regler einen zeitkontinuierlichen Strom an den Treiber, und der Treiber gibt einen entsprechenden Ladestrom an das mit diesem elektrisch verbundene elektromechanische Element aus, wobei der Regler den zeitkontinuierlichen Strom abhängig von der Differenz zwischen der Ist-Position und der Zielposition des anzutreibenden Elements stetig anpasst, und der Treiber unabhängig vom Regler und abhängig von der am elektromechanischen Element anliegenden Spannung eine elektrische Trennung des Treibers von dem Regler vornimmt. Die Erfindung betrifft weiterhin eine entsprechende Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
    • 本发明涉及在跨越所述机电元件电电压脉冲的步骤模式被驱动构件,抵接于导航用R,用于在接触与所述机电元件至少暂时定位的机电元件的驱动方法,并且每个电压脉冲的至少两个 具有时间段,其中,在所述时间段中的一个的平均慢颞BEAR取电电压的地方的变化,并至少在平均慢颞BEAR的期间的一部分;改变在电电压,并在其他时间段的更快速的时间&AUML变化的平均 通过驱动方向扩展或收缩机电元件与机电元件的驱动元件之间的静摩擦来限定驱动时段的电应力 N元素被移动,并且至少在电动电压,其定义的时间的相对运动期间,由所述相对之间的滑动摩擦,以驱动方向收缩或膨胀机电元件和从动元件,机电元件之间的相对运动的平均速度快颞BEAR变化的周期的一部分 和anzutreibendem元件发生,从而使与每个从动元件的电压脉冲在驱动方向上的离散步骤执行导航使用引线,并且所述方法还包括:提供控制器和与其电连接的驱动器。 发明Ä大街 导航使用控制器HANDS时间连续流至驱动器,且所述驱动器是相应的充电电流提供给电 - 机械与此电连接条,其中,所述控制器取决于所述实际位置和所述目标位置之间的差的时间连续流BEAR ngig的 不管控制器和取决于施加到机电元件的电压如何,驱动器都使驱动器与控制器电分离。 本发明还涉及用于执行根据本发明的方法的相应装置

    • 38. 发明申请
    • DISPOSITIF DE MICROPOSITIONNEMENT A MULTI DEGRES DE LIBERTE POUR ACTIONNEURS PIEZOELECTRIQUES ET PROCEDE ASSOCIE
    • 用于压电致动器和相关方法的多自由度微型装置
    • WO2013140102A1
    • 2013-09-26
    • PCT/FR2013/050622
    • 2013-03-22
    • UNIVERSITE DE FRANCHE COMTEECOLE NATIONALE SUPERIEURE DE MECANIQUE ET DES MICROTECHNIQUES
    • IVAN, Ioan AlexandruAGNUS, JoëlRAKOTONDRABE, Manitrarivo
    • H02N2/00
    • G01R29/22G01B7/004H01L41/09H01L41/092H02N2/062
    • Un dispositif de micropositionnement (100) d'un actionneur piézoélectrique (200) est divulgué. Le dispositif comprend : des moyens de commande d'un champ électrique appliqué audit actionneur piézoélectrique (200) de sorte à déformer le matériau piézoélectrique (201) et, des moyens de mesure simultanée d'une variation de charge électrique accumulée sur l'actionneur piézoélectrique (200) résultant de la déformation; et des moyens d'acquisition des mesures de la variation de charge électrique, de traitement de ces acquisitions et d'estimation d'un déplacement (x, y, z) de l'actionneur piézoélectrique (200) et/ou d'une force appliquée, comprenant : un générateur de tension connecté en parallèle à : un pont diviseur composé d'une première résistance et d'une seconde résistance en série, et à une première capacité connectée en série à l'actionneur piézo-électrique, un amplificateur de charges ayant une première entrée connectée à un noeud entre les deux résistances formant une masse virtuelle à haut potentiel flottant et une seconde entrée connectée à un noeud entre la première capacité et l'actionneur piézo-électrique.
    • 本发明涉及一种用于压电致动器(200)的微定位装置(100),该装置包括:用于控制施加到所述压电致动器(200)以使压电材料(201)变形的电场的装置,以及用于 同时测量由变形引起的在压电致动器(200)上累积的电荷变化; 以及用于获取电荷变化的测量值,用于处理这些采集并估计压电致动器(200)的位移(x,y,z)和/或施加的力的装置,包括:并联连接的电压发生器 至:由串联的第一电阻器和第二电阻器以及与压电致动器串联连接的第一电容器组成的分压器电桥;电荷放大器,具有连接到两个电阻器之间的节点的第一输入端, 高浮动电位和连接到第一电容器和压电致动器之间的节点的第二输入。