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    • 32. 发明申请
    • ACHSENKALIBRIEREN EINER STRAHLBEARBEITUNGSMASCHINE
    • 波束机的轴标定
    • WO2017153408A1
    • 2017-09-14
    • PCT/EP2017/055325
    • 2017-03-07
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • HAGENLOCHER, TobiasKIEWELER, Thomas
    • B25J9/16B23Q17/22G05B19/401
    • In einem Verfahren zur Bestimmung einer Abweichung einer räumlichen Ausrichtung einer Strahlachse (S) einer Strahlbearbeitungsmaschine von einer räumlichen Soll- Ausrichtung (SO) der Strahlachse (S) werden Konturabschnitte (KAI, KB2) mit einem Bearbeitungsstrahl (5) in ein Testwerkstück (31) von zwei Seiten geschnitten, wobei die Konturabschnitte (KA1, KB2) zu einer Soll- Ausrichtung einer zu kalibrierenden Rotationsachse (B, C) parallel verlaufen. Die Konturabschnitte (KA1, KA2) werden mit einem Messmittel von einer Seite zur Ermittlung der räumlichen Lage der Konturabschnitte (KA1, KB1) detektiert, insbesondere angetastet, und die Abweichung der räumlichen Ausrichtung der Strahlachse (S) der Strahlbearbeitungsmaschine von der räumlichen Soll- Ausrichtung (S0) wird basierend auf den räumlichen Lagen der Konturabschnitte (KA1, KB1) bestimmt.
    • 在用于确定一个R&AUML的偏差的方法;从A R AUML束加工机的光束轴线(S)的umlichen对准;射束轴线(S)的umlichen期望取向(SO)是轮廓段(KAI,KB2) 从两侧CK切口(31),该轮廓部分(KA1,KB2)平行地延伸的一所期望的定向要被校准旋转轴线(B,C);具有在Testwerkst导航中使用的加工光束(5)。 轮廓部分(KA1,KA2)与测量混合从一个侧是指,以确定RÄ检测到的轮廓部分(KA1,KB1),特别是触摸的umlichen位置,和R&AUML的偏差;的射流加工机的光束轴线(S)的umlichen对准 RÄ umlichen期望取向(S0)是基于R&AUML计算;确定umlichen轮廓部分(KA1,KB1)的位置。

    • 34. 发明申请
    • INITIALE ABSTANDSEINNAHME FÜR DIE LASERBEARBEITUNG
    • 初始间隙为了用于激光加工
    • WO2016139177A1
    • 2016-09-09
    • PCT/EP2016/054218
    • 2016-02-29
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • HAGENLOCHER, Tobias
    • B23K26/38B23K26/04
    • B23K26/048B23K26/0342B23K26/0853B23K26/0884B23K26/21B23K26/361B23K26/38B23K37/0235B23K37/04B23K37/0461
    • Es wird ein Verfahren zum Anfahren einer in einem Arbeitsabstand von einer Oberfläche (5A) eines Werkstücks (5) vorgesehenen Startposition (27) für eine Laserbearbeitung mit einem eine Abstandssensorik aufweisenden Laserbearbeitungskopf (11) offenbart, wobei der Laserbearbeitungskopf (11) einen an einer Werkstückkante (33) des Werkstücks (5) beginnenden Konturbeschnitt des Werkstücks (5) bewirken soll. Ausgehend von einer Startposition (27) und von einem vorbestimmten Eingangsbereichs (25), der von der Startposition (27) eine Mindestentfernung aufweist, die ein Anpassen des Abstands des Laserbearbeitungskopfes (11) auf den Arbeitsabstand während eines Bewegens des Laserbearbeitungskopfes (11) von dem Eingangsbereich (25) zur Startposition (27) ermöglicht, wird der Laserbearbeitungskopfs (11) durch den Eingangsbereich (25) in Richtung Startposition (27) bewegt, wobei eine auf der Abstandssensorik basierenden Abstandsregelung nach Eintritt des Laserbearbeitungskopfes (11) in den Eingangsbereich (25) aktiviert wird. Die Bewegung des Laserbearbeitungskopfes (11) wird vom Eingangsbereich (25) zur Startposition (27) unter Anpassung des Abstands des Laserbearbeitungskopfes (11) vom Werkstück (5) auf den Arbeitsabstand durch die Abstandsregelung fortgesetzt, so dass der Laserbearbeitungskopf (11) die Startposition (27) im Arbeits- abstand passiert. Die Bewegung des Laserbearbeitungskopfes (11) wird dann zur Werkstückkante (33) und über die Werkstückkante (33) hinaus fortgesetzt, wobei ein Deaktivieren der auf der Abstandssensorik basierenden Abstandsregelung und ein Aktivieren einer Abstands einfrierung z.B. an der Startposition (27) durchgeführt wird. Anschließend wird der Laserbearbeitungskopf (11) zur Werkstückkante (33) und über das Werkstück (5) in Richtung Start- position (27) zurückbewegt, wobei ein Einschalten einer Laseremission aus dem Laserbearbeitungskopf (11) vor Passieren der Werkstückkante (33) durchgeführt wird. Somit wird die Startposition (27) mit dem Laserbearbeitungskopf (11) im Arbeitsabstand unter Laseremission passiert, wobei ein Reaktivieren der auf der Abstandssensorik basierenden Abstandsregelung und ein Deaktivieren der Abstandseinfrierung z.B. beim Passieren der Startposition (27) durchgeführt werden.
    • 它是用于从工件的表面(5A)开始在工作距离的方法(5)所规定的起始位置(27),用于激光加工用一个具有距离传感器激光加工头(11)中公开了,其中,所述激光加工头(11)一次一个工件边缘 工件以引起初期(33)(5)所述工件的Konturbeschnitt(5)。 从一个起始位置(27)和从从起始位置(27),最小距离的间隙的激光加工头(11)的移动期间,通过调整上的工作距离将激光加工头(11)具有预定的输入区域(25)开始 输入区域(25)的起始位置(27)允许通过朝开始位置(27),其中,基于所述激光加工头(11)发生之后的距离传感器的距离控制所述输入部分(25)的激光加工头(11)(在入口区域25 )被激活。 从入口(25)到起始位置(27)的激光加工头(11)通过从所述工件(5)适配所述激光加工头(11)的距离的运动继续由距离控制工作距离,使得激光加工头(11)(起始位置 27)在工作距离发生。 激光加工头(11)的运动是然后到工件边缘(33)和工件边缘出(33)继续,其中基于所述距离传感器的距离控制和例如激活的距离冷冻的禁用 在起始位置(27)中进行。 接着,将激光加工头(11)向工件边缘(33),并在开始位置(27)的方向上的工件(5)向后移动,其中进行从激光加工头(11)的激光发射的穿过所述工件边缘(33)之前的切换。 因此,该起始位置(27)与激光加工头(11)在激光发射下面的工作距离,被传递,由此基于所述间隔距离控制所述传感器的激活和Abstandseinfrierung例如的去激活 因为它传递的开始位置(27)来进行。
    • 36. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TEMPERATURKOMPENSIERTEN INTERFEROMETRISCHEN ABSTANDSMESSUNG BEIM LASERBEARBEITEN VON WERKSTÜCKEN
    • 用于温度的设备和方法补偿的干涉式测距激光加工WORKPIECES
    • WO2016030246A1
    • 2016-03-03
    • PCT/EP2015/069028
    • 2015-08-19
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • DORSCH, FriedhelmHARRER, ThomasHAUG, PatrickPFITZNER, DieterKESSLER, Steffen
    • G01B9/02G01B11/24
    • G01B11/2441G01B5/0014G01B9/02019G01B9/0205
    • Bei einer Vorrichtung (3) zur Messung des Abstands (A) zwischen einer reflektierenden Werkstückoberfläche (2a) eines Werkstücks (2) und einer reflektierenden Referenzfläche (2b) bei der Laserbearbeitung des Werkstücks (2) weist ein Interferometer (5) einen Strahlteiler (6), der Interferometerlicht (7) auf einen Messarm (9) als Messstrahl (10) und auf einen Referenzarm (11) als Referenzstrahl (12) aufteilt, und einen Detektor (13) auf, der den an der Werkstückoberfläche (2a) reflektierten Messstrahl (10) und den an der Referenzfläche (2b) reflektierten Referenzstrahl (12) detektiert, wobei der Messarm (9) und der Referenzarm (11) innerhalb der Kohärenzlänge des Interferometerlichts (7) gleich lang sind. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der Messarm (9) eine Messfaser (14) und der Referenzarm (11) eine Referenzfaser (15) aufweisen und die Messfaser (14) und die Referenzfaser (15) auf ihrer gesamten Länge oder einer Teillänge, insbesondere bei unterschiedlich langen Fasern (14, 15) auf der gesamten Länge der kürzeren Faser, parallel nebeneinander verlaufen und in thermischem Kontakt miteinander stehen, dass der Messarm (9) als reflektierende Werkstückoberfläche einen ersten Oberflächenbereich (2a) und der Referenzarm (11) als reflektierende Referenzfläche einen zweiten Oberflächenbereich (2b) des Werkstücks (2) aufweisen und dass zwischen dem Werkstück (2) und dem werkstückseitigen Ende der Messfaser (14) und/oder der Referenzfaser (15) eine Ablenkoptik (16) angeordnet ist, die den Messstrahl (10) und/oder den Referenzstrahl (15) gemeinsam oder jeweils getrennt über die Mess- und/oder Referenzfläche (2a, 2b) bewegt.
    • 在用于工件(2)和反射基准面的该工件(2a)的一个反射表面之间测量的距离(A)的装置(3)(图2b),用于工件的激光处理(2)包括一个干涉仪(5)的光束分离器(6 ),则Interferometerlicht(7)上的测量臂(9),为测量光束(10)和参考臂(11)(作为基准光束12)被划分,以及检测器(13),反射的测量束的(在工件表面2a) (10)与相对于基准表面(2b)中检测到反射参考光束(12)的,其中,所述测量臂(9)和所述Interferometerlichts的相干长度内的参考臂(11)是同样长(7)。 本发明的特征在于,所述滑动件(9)的测量纤维(14)和具有参考光纤(15)和所述传感纤维(14)和在其整个长度或部分长度的参考光纤(15)的参考臂(11),特别是在不同的 长纤维(14,15),彼此平行地延伸过短纤维的整个长度,并与彼此热接触,所述滑动件(9)作为工件的第一表面区域(2a)和所述参考臂(11)作为反射基准面的的反射面 所述工件(2),并且测量纤维(14)和/或参考光纤(15)的那(2)和工件侧的端部具有一个偏转光学系统(16)被布置在所述工件之间,其中所述测量光束(10)的第二表面区域(2b)的 和/或所述参考光束(15)一起或单独地通过测量和/或参考面(2A,2B)移动。
    • 37. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM ERMITTELN VON ABSTANDSKORREKTURWERTEN BEIM LASERBEARBEITEN EINES WERKSTÜCKS UND ZUGEHÖRIGE LASERBEARBEITUNGSMASCHINE
    • 方法确定距离修正值在激光编辑工件和相关激光加工机
    • WO2016023893A1
    • 2016-02-18
    • PCT/EP2015/068439
    • 2015-08-11
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • HAGENLOCHER, TobiasKIEWELER, ThomasREYER, MichaelWADEHN, Wolf
    • B23K26/04G05B19/19
    • B23K26/048G05B19/19G05B2219/37281G05B2219/37397G05B2219/45165
    • Bei einem Verfahren zum Ermitteln von Abstandskorrekturwerten (∆A) eines Sollabstandes zwischen einer an einem Laserbearbeitungskopf (3) angeordneten Laserbearbeitungsdüse (8) und einem Werkstück (6) beim Laserbearbeiten des Werkstücks (6), wobei beim Laserbearbeiten der Abstand (A) der entlang einer Soll-Bewegungsbahn bewegten Laserbearbeitungsdüse (8) zum Werkstück (6) kapazitiv gemessen und auf den korrigierten Sollabstand geregelt wird, wird erfindungsgemäß das Werkstück (6) sowohl mit der Laserbearbeitungsdüse (8) als auch mit einem anstelle der Laserbearbeitungsdüse (8) an dem Laserbearbeitungskopf (3) angeordneten Messkopf (11), welcher eine geringere laterale Empfindlichkeit der Kapazitätsmessung als die Laserbearbeitungsdüse (8) aufweist, jeweils unter Vorgabe eines Sollabstands abgefahren und dabei die abgefahrene Bewegungsbahn der Laserbearbeitungsdüse (8) bestimmt. Aus den mit der Laserbearbeitungsdüse (8) und mit dem Messkopf (11) bestimmten Bewegungsbahnen werden dann die Abstandskorrekturwerte (∆A) für den Sollabstand der Laserbearbeitungsdüse (8) entlang der SollBewegungsbahn beim Laserbearbeiten des Werkstücks (6) ermittelt.
    • 在用于确定距离的校正值(.DELTA.A)的方法,设置于激光加工头之间的所需距离(3)的激光加工用喷嘴(8)和工件(6)与工件(6)的激光加工,在其中激光加工沿着所述距离(A)的过程 移动所述激光加工用喷嘴(8)的目标移动路径到工件(6)是电容性地测量和控制,以校正后的目标的距离,根据该工件来实现(6)同时与激光加工用喷嘴(8),并在一个地方的激光加工用喷嘴(8)的 具有电容测量的作为激光加工喷嘴(8)的下侧的灵敏度设置激光加工头(3)测量头(11),穿过在每种情况下与一个目标距离的规范,并由此确定该激光加工用喷嘴(8)的磨损移动路径。 从激光加工用喷嘴(8),并与测量头(11)的某些轨迹是然后工件(6)的激光加工过程中计算用于激光加工用喷嘴(8)沿预定运动路径的所希望的距离的间隙的校正值(.DELTA.A)。
    • 40. 发明申请
    • STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG MIT EINER ÜBERLAGERUNGSEINRICHTUNG
    • 具有覆盖FACILITY光束导引装置及EUV辐射产生设备
    • WO2015036024A1
    • 2015-03-19
    • PCT/EP2013/068939
    • 2013-09-12
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • ENZMANN, Andreas
    • H05G2/00
    • H05G2/008G02B1/11G02B7/08G02B13/146G02B27/1006G02B27/142H01S3/005H01S3/2391H05G2/005H05H7/14
    • Die Erfindung betrifft eine Strahlführungseinrichtung (6), umfassend: eine Vakuum-Kammer (12), in der zur Erzeugung von EUV-Strahlung ein Target-Material (8) in einem Zielbereich (7) einbringbar ist, wobei die Vakuum-Kammer (12) eine erste Öffnung (13) zum Eintritt eines ersten Laserstrahls (3) sowie einen zweite Öffnung (14) zum Eintritt eines zweiten Laserstrahls (5) aufweist, wobei der erste Laserstrahl (3) und der zweite Laserstrahl (5) unterschiedliche Wellenlängen (λ 1 , λ 2 ) aufweisen, sowie eine Überlagerungseinrichtung (18) zur Überlagerung der beiden durch die erste und die zweite Öffnung (13, 14) in die Vakuum-Kammer (12) eintretenden Laserstrahlen (3, 5) zur gemeinsamen Strahlführung in Richtung auf den Zielbereich (7). Bevorzugt ist ein die erste Öffnung (13) der Vakuum-Kammer (12) gasdicht abschließendes, den ersten Laserstrahl (3) transmittierendes optisches Element (22) oder ein die zweite Öffnung (14) der Vakuum-Kammer (12) gasdicht abschließendes, den zweiten Laserstrahl (5) transmittierendes optisches Element (19) als Überlagerungseinrichtung (18) ausgebildet. Die Erfindung betrifft auch eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (1) mit einer derartigen Strahlführungseinrichtung (6).
    • 本发明涉及一种光束导向装置(6),其包括:一个真空室(12),其中,用于EUV辐射的产生,靶材料(8)中的目标区域(7)可被引入,其中所述真空腔室(12 ),具有用于第一激光束(3)的输入和用于第二激光束(5),其中,所述第一激光束(3)和所述第二激光束(5)具有不同波长(λ1的条目的第二开口(14)的第一开口(13) ,λ2),其,以及一个叠加装置(18),用于叠加所述两个(通过第一和第二开口(13,14)插入到真空腔室12)进入的激光束(3,5),以朝向所述目标区域的共同光束引导 (7)。 优选真空室的第一开口(13)(12)气密最终,第一激光束(3)透射的光学元件(22)或所述真空室的第二开口(14)(12)气密最后,该 第二激光束(5)透射光学元件(19)和叠加装置(18)。 本发明还涉及一种EUV辐射产生装置(1)具有这样的束引导装置(6)。