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    • 21. 发明申请
    • GAS LASER
    • 气体激光
    • WO1988000765A1
    • 1988-01-28
    • PCT/JP1987000509
    • 1987-07-15
    • FANUC LTDKARUBE, Norio
    • FANUC LTD
    • H01S03/097
    • H01S3/036H01S3/03
    • A gas laser wherein a laser medium gas is circulated inside an air-tight vessel and a laser beam is generated from the gas excited by discharge. A main device portion (10) comprising a gas circulating blower (13), a heat exchanger (12a, 12b) for cooling and a discharge power source (11) is separated from a laser beam emitting portion (20) comprising a discharge portion (23) and a resonator reflection mirror (21b, 21a). The operating pressure of the laser medium gas is adjusted to at least 1/2 atm and the main device portion (10) and the laser beam emitting portion (20) are connected to each other with a gas piping portion (30) having a high flexibility.
    • 在所描述的气体激光器中,激光气体介质在气密容器内循环,并且由放电激发的气体产生激光束。 包括气体循环风扇(13),用于冷却的热交换器(12a,12b)和排出能量源(11)的装置的主要部分(10)与 所述激光束的发射部分(20)包括放电部分(23)和谐振反射镜(21b,21a)。 激光气态介质的操作压力设定为至少1/2大气压,激光束的主要部分(10)和发射器部分(20)通过 气体壳体部分(30)具有高柔性。
    • 22. 发明申请
    • HYBRID LASER
    • 混合激光
    • WO1981002955A1
    • 1981-10-15
    • PCT/DE1981000022
    • 1981-01-24
    • ELTRO GMBH FUER STRAHLUNGSTECHNIKKARNING HPREIN F
    • ELTRO GMBH FUER STRAHLUNGSTECHNIK
    • H01S03/23
    • H01S3/10092H01S3/03H01S3/041H01S3/076H01S3/0812H01S3/2383H01S3/2391
    • Hybrid laser comprised of two lasers, e.g. a reference laser (4) or an injection laser or an amplifyer laser and one TE laser (5) or a longitudinally pulsed laser or a laser switched by a continuous wave overvoltage factor modulator. The assembly is housed into one same box. The first laser is comprised of a pipe surrounding a low pressure housing cooled by a refrigerant which flows around the pipe. The second laser is comprised of an electrode system (14, 15) surrounding a high pressure chamber. To obtain a uniform temperature and to provide for a non-variability of the wavelength, the two lasers have a common resonant cavity (3) and are strongly coupled to each other. While the reference laser is appropriate for use as measurement laser for adjusting the frequency of the resonator or simultaneously as a local oscillator, the continuous wave laser is used to generate a laser pulse.
    • 混合激光器由两个激光器组成,例如 参考激光器(4)或注入激光器或放大器激光器和一个TE激光器(5)或纵向脉冲激光器或由连续波过电压因子调制器切换的激光器。 组件安装在同一个盒子中。 第一激光器由围绕围绕管道的制冷剂冷却的低压壳体的管道组成。 第二激光器包括围绕高压室的电极系统(14,15)。 为了获得均匀的温度并提供波长的不变性,两个激光器具有公共谐振腔(3)并且彼此强耦合。 虽然参考激光器适合用作用于调节谐振器的频率或同时作为本地振荡器的测量激光器,但是连续波激光器用于产生激光脉冲。
    • 24. 发明申请
    • レーザ装置及び極端紫外光生成装置
    • 激光器件和超极紫外线发光器件
    • WO2016171158A1
    • 2016-10-27
    • PCT/JP2016/062480
    • 2016-04-20
    • 三菱電機株式会社
    • 船岡 幸治成瀬 正史
    • H01S3/02H01S3/13
    • H01S3/03H01S3/0071H01S3/02H01S3/034H01S3/041H01S3/2232H01S3/2366H05G2/00H05G2/008
    • ベースフレーム上にキネマティックマウントを介して増幅装置が搭載されるレーザ装置とこれを使用した極端紫外(EUV)装置において、キネマティックマウントの構造に熱膨張・収縮が生じても、光軸が変化せず、レーザの品質が悪化することが無いようにする。キネマティックマウント(31~33)が、0自由度、1自由度、及び2自由度を有する3点(O,A,B)で構成され、これら3点で構成される平面に垂直な方向から見て、レーザ光(18)の増幅装置(28)への入射光軸又は増幅装置からの射出光軸の延長線(SU,CT)が0自由度の点(O)を向いており、1自由度の点(A)の並進方向が0自由度の点(O)を向いており、光軸の延長線は、1自由度の点(A)の側より前記2自由度の点(B)の側を通る。
    • 提供如下:通过运动学安装将放大装置安装到基架的激光装置; 以及使用该激光装置的极紫外(EUV)装置,其中,即使在运动支架的结构中发生热膨胀和收缩,该装置被配置为确保光轴不改变并且激光质量不劣化 。 运动座(31-33)包括具有零自由度,一个自由度和两个自由度的三个点(O,A,B)。 当从垂直于由所述三个点形成的平面的方向观察时,进入放大装置(28)或离开放大装置的激光束(18)的光轴的延伸线(SU,CT)朝向 (O)具有零度自由度。 具有一个自由度的点(A)的平移方向定向为具有零自由度的点(O),并且光轴的延伸线在具有两个自由度的点(B)侧具有两个以上的自由度 点(A)具有一个自由度。
    • 27. 发明申请
    • 直交励起型ガスレーザ発振装置
    • 正交激发型气体激光振荡器件
    • WO2015093076A1
    • 2015-06-25
    • PCT/JP2014/063901
    • 2014-05-27
    • 三菱電機株式会社
    • 船岡 幸治松本 康成
    • H01S3/0971H01S3/041
    • H01S3/041H01S3/03H01S3/0326H01S3/036H01S3/038H01S3/0407H01S3/073H01S3/0971H01S3/2232
    •  レーザ媒体ガスの冷却能力を高めることで、小型で高出力の直交励起型ガスレーザ発振装置を得ることを目的としている。直交励起型ガスレーザ発振装置は、一対の放電電極を有する放電部と、複数の動翼を有し永久磁石式モータで動作する軸流送風器と、複数の冷却フィンが光軸と直交する平面上に配置されている第1熱交換器と、複数の冷却フィンが光軸と直交する平面上に配置されている第2熱交換器と、放電部と第1熱交換器の間に架設され、ガス通路に軸流送風器が配設されているガスダクトと、を備えている。軸流送風器は第1熱交換器よりも風上側に配置されている。第2熱交換器は軸流送風器よりも風上側に配置されている。
    • 目的是获得通过提高冷却激光介质气体的能力而尺寸小并具有高输出的正交激励型气体激光振荡装置。 正交激励型气体激光振荡装置包括具有一对放电电极的放电单元,轴向鼓风机,每个具有由永磁电动机操作的多个动叶片,第一热交换器,多个冷却 翅片设置在与光轴正交的平面中;第二热交换器,其中多个冷却翅片设置在与光轴正交的平面中;以及气体管道,其构造在排出单元和第一热交换器之间 ,其中所述轴向鼓风机设置在气体通道中。 轴流鼓风机设置在第一热交换器的上游侧。 第二热交换器设置在轴向鼓风机的上游侧。
    • 30. 发明申请
    • CERAMIC GAS LASER HAVING AN INTEGRATED BEAM SHAPING WAVEGUIDE
    • 具有整体波束形状波形的陶瓷气体激光器
    • WO2012071161A2
    • 2012-05-31
    • PCT/US2011/059540
    • 2011-11-07
    • IRADION LASER, INC.MORROW, Clifford, E.WEINGARTNER, Wendelin
    • MORROW, Clifford, E.WEINGARTNER, Wendelin
    • H01S3/03
    • H01S3/0315H01S3/005H01S3/03H01S3/032H01S3/0323H01S3/034H01S3/08081H01S3/0971
    • A laser (10) may comprise a ceramic body (16) defining a chamber therein containing a laser gas. The ceramic body (16) may include a plurality of parallel walls (28, 30) that partially define a first section (12) of the chamber, the first section (12) of the chamber defining a waveguide. The ceramic body (16) may further include a plurality of oblique walls (32, 34) that partially define a second section (14) of the chamber, the second section (14) of the chamber being shaped to modify a transverse profile of a laser beam (38) traveling through the second section (14) of the chamber. The laser (10) may further comprise a plurality of electrodes (18, 20) positioned outside the ceramic body (16) and adjacent to the plurality of parallel walls (28, 30) such that only laser gas within the first section (12) of the chamber is excited when an excitation signal is applied to the plurality of electrodes (18, 20).
    • 激光器(10)可以包括限定其中包含激光气体的室的陶瓷体(16)。 陶瓷体(16)可以包括部分地限定腔室的第一部分(12)的多个平行壁(28,30),腔室的第一部分(12)限定波导。 陶瓷体(16)还可以包括多个部分地限定腔室的第二部分(14)的倾斜壁(32,34),腔室的第二部分(14)成形为修改腔室的横向轮廓 激光束(38)穿过腔室的第二部分(14)。 激光器(10)还可以包括位于陶瓷体(16)外部并且邻近多个平行壁(28,30)的多个电极(18,20),使得仅第一部分(12)内的激光气体 当激励信号被施加到多个电极(18,20)时,腔室被激发。