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    • 23. 发明申请
    • DIE BONDING DEVICE
    • DIE结合设备
    • WO01091174A1
    • 2001-11-29
    • PCT/JP2001/004323
    • 2001-05-23
    • H01L21/52H01L21/00
    • H01L21/67144H01L21/67121Y10T156/17
    • A die bonding device for mounting an electronic part (S) on a metal stem, comprising a bonding nozzle for sucking the electronic part (S) and placing the electronic part (S) on the part mounting surface of the stem, a stem mounting head allowing the stem to be mounted thereon, a heater part heating the electronic part (S) in the state where the electronic part (S) is disposed on the part mounting surface of the stem, and an imaging camera having an optical axis (L) extending so as to pass the part mounting surface of the stem disposed in the heater part and reciprocating along the direction of the optical axis (L).
    • 一种用于将电子部件(S)安装在金属杆上的管芯接合装置,包括用于吸收电子部件(S)的接合喷嘴并将电子部件(S)放置在杆的部件安装表面上,杆安装头 允许所述杆安装在其上,加热器部分在电子部件(S)设置在杆的部件安装表面上的状态下加热电子部件(S)和具有光轴(L)的成像相机, 延伸以使设置在加热器部分中的杆的部件安装表面沿着光轴(L)的方向往复运动。
    • 28. 发明申请
    • 接合装置
    • 绑定装置
    • WO2007043254A1
    • 2007-04-19
    • PCT/JP2006/317455
    • 2006-09-04
    • 株式会社村田製作所平田 篤彦
    • 平田 篤彦
    • H01L21/02H01L21/603H05K3/36
    • H01L21/67092H01L21/67121H01L21/67144H01L24/75H01L24/81H01L2224/75H01L2224/75301H01L2224/75981H01L2224/81203H01L2224/81801H01L2924/01004H01L2924/01005H01L2924/01006H01L2924/01013H01L2924/01033H01L2924/01042H01L2924/01047H01L2924/014
    •  熱の影響を受けることなく接合対象となるウエーハの平行度を維持して両者の接合精度を高めかつ安定させることができる接合装置を提供する。  第1ブロック部材12と第1加圧軸22の間に第1空間部M1を介在させ、第2ブロック部材28と第2加圧軸42の間に第2空間部M2を介在させることで、第1ブロック部材12及び第2ブロック部材28から第1加圧軸22と第2加圧軸42には熱がほとんど伝達されないため、第1ブロック部材12内部と第2ブロック部材28内部が略均一な温度になる。第1ブロック部材12及び第2ブロック部材28の熱膨張と第1加圧軸22及び第2加圧軸42の熱膨張の違いにより発生する応力を第1支柱部材20、第2支柱部材40が撓んで吸収させることで、第1ブロック部材12の第1ウエーハW1把持面と第2ブロック部材28の第2ウエーハW2把持面の平面度を維持できる。
    • 提供了一种粘合装置,通过使两晶片的接合精度得到改善和稳定,通过保持晶片之间的平行度而不受热量的影响。 第一空间部(M1)设置在第一块构件(12)和第一加压轴(22)之间,第二空间部(M2)设置在第二块构件(28)和第二加压轴 42)。 因此,由于几乎没有热量从第一块构件(12)和第二块构件(28)传递到第一加压轴(22)和第二加压轴(42),所以第一块构件(12)内部的温度 并且第二块构件(28)变得基本均匀。 由于第一块构件(12)和第二块构件(28)的热膨胀和第一加压轴(22)和第二加压轴(42)的热膨胀系数之间的差异产生的应力被弯曲吸收 第一柱状构件(20)和第二柱状构件(40)的平行度与第一块构件(12)的第一晶片(W1)的保持平面和第二晶片(W2)的保持平面之间的平行度, 的第二块构件(28)。