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11. 发明申请

WO2007052370A1 圧電薄膜共振子审中-公开
标题翻译：压电薄膜共振器
公开(公告)号：WO2007052370A1
公开(公告)日：2007-05-10
申请号：PCT/JP2006/302264
申请日：2006-02-09
申请人：株式会社村田製作所 , 梅田圭一 , 河村秀樹
发明人：梅田圭一 , 河村秀樹
IPC分类号： H03H9/17 , H03H9/54 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/18
CPC分类号： H03H9/02086 , H03H9/02157 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/584 , H03H9/587
摘要：　短い波長のスプリアスを抑制することができる圧電薄膜共振子を提供する。　薄膜部は、その一部が基板１２に支持され、基板１２から音響的に分離されている部分に、ａ）圧電膜１６を挟んでいる一対の電極１４，１８が平面視で重なっている振動部２４と、ｂ）振動部２４の外周の少なくとも一部分に沿って圧電膜１６又は電極１８上に設けられた付加膜２０とを含む。ｘ（ＭＮ・秒／ｍ３）を密度とヤング率の積の平方根で定義される付加膜２０の音響インピーダンス、付加膜２０の密度と厚さの積をＡ、電極１４，１８の密度と厚さの積をＢ、ｙ＝Ａ／Ｂとすると、（ｉ）９．０≦ｘ＜４４．０のとき、０．００９２・ｘ＋０．８８≦ｙ＜０．０６７・ｘ＋０．６０　・・・（１ａ）（ii）４４．０≦ｘ＜７９．０のとき、－０．００３５・ｘ＋１．４５≦ｙ＜０．０１５・ｘ＋２．９　・・・（１ｂ）を満たす。
摘要翻译：可以抑制短波长的杂散的压电薄膜谐振器。在部分地支撑在基底上的薄膜部分的一部分，同时隔离其上，a）由平面图叠加的一对电极组成的振荡部分（24），同时夹着压电薄膜 16），以及b）至少沿振荡部分（24）的外圆周的一部分设置在压电薄膜（16）或电极（18）上的额外的薄膜（20）。假设由密度积和杨氏模量的根产生的额定膜（20）的声阻抗是x（MN sec / m 3），则额外膜的密度和厚度的乘积 20）是A，电极（14,18）的密度和厚度的乘积为B，y = A / B，满足关系; （i）对于9.0 = x <44.0,0.0092×x 0.88 = y <0.067×x0.60（1a），（ii）对于44.0 = x <79.0，-0.0035×x 1.45 = y <0.015× +2.9（1b）。

12. 发明申请

WO2015178178A1 圧電部品审中-公开
标题翻译：压电元件
公开(公告)号：WO2015178178A1
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：PCT/JP2015/062823
申请日：2015-04-28
申请人：京セラ株式会社
发明人：毎原　俊介
IPC分类号： H03H9/10 , H03H9/17
CPC分类号： H03H9/17 , H03H9/02062 , H03H9/02086 , H03H9/02157 , H03H9/05 , H03H9/0504 , H03H9/0514 , H03H9/1014 , H03H9/177
摘要：　【課題】　発振周波数領域のリップルを抑え、安定した発振周波数を発現する圧電部品を提供する。　【解決手段】　本発明の圧電部品は、支持基板１と、一方主面および他方主面に互いに対向するように振動電極２１が設けられた長尺状の圧電素子２と、圧電素子２の長軸方向の両端部と支持基板１との間に設けられた第１の支持部３１および第２の支持部３２と、圧電素子２の両端部と第１の支持部３１および第２の支持部３２とを接合する導電性接合材４とを含み、平面視で、第１の支持部３１と第２の支持部３２との中間点Ｃ１に対して、圧電素子２の中心Ｃ２がずれている。
摘要翻译：提供抑制振荡频率区域的波纹的压电元件，实现稳定的振荡频率。 [解决方案]该压电部件包括：支撑基板（1）; 一个在一个主表面上具有振荡电极（21）的长压电元件（2），另一个主表面使主表面彼此面对; 第一支撑部（31）和第二支撑部（32），其设置在所述支撑基板（1）与压电元件的长轴方向的两个压电元件（2）端部之间; 以及将压电元件（2）端部和第一支撑部（31）和第二支撑部（32）两者彼此接合的导电接合材料（4）。在平面图中，压电元件（2）的中心点（C2）偏离第一支撑部分（31）和第二支撑部分（32）之间的中点（C1）。

13. 发明申请

WO2013068652A1 LATERALLY COUPLED BULK ACOUSTIC WAVE FILTER WITH IMPROVED PASSBAND CHARACTERISTICS 审中-公开
标题翻译：具有改进的通道特性的侧联式大声波滤波器
公开(公告)号：WO2013068652A1
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：PCT/FI2012/051096
申请日：2012-11-09
申请人： TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT
发明人： MELTAUS, Johanna , PENSALA, Tuomas
IPC分类号： H03H9/56 , H03H9/17 , H03H9/02 , H03H3/04
CPC分类号： H03H9/54 , H03H9/02086 , H03H9/02228 , H03H9/175 , H03H9/564
摘要： The invention relates to a laterally coupled bulk acoustic wave (LBAW) filter (70) comprising a vibration layer (73) for carrying bulk acoustic waves, electrode means (71, 72, 74) comprising a first electrode (71) coupled to the vibration layer (73) for exciting to the vibration layer (73) at least one longitudinal wave mode having a first frequency band and one shear wave mode having a second frequency band, and a second electrode (72) coupled to the vibration layer (73) for sensing the filter pass signal, the first and second electrodes (71, 72) being laterally arranged with respect to each other, and an acoustic reflector structure (75) in acoustic connection with the vibration layer(73). According to the invention, the reflector structure (75) is adapted to acoustically isolate the vibration layer (73) from its surroundings at the first frequency band more efficiently than at the second frequency band for suppressing the effect of the shear wave mode at the second frequency band from the filter pass signal. The invention helps to improve the quality of LBAW filter passbands.
摘要翻译：本发明涉及一种包括用于承载体声波的振动层（73）的横向耦合的体声波（LBAW）滤波器（70），电极装置（71,72,74）包括耦合到振动的第一电极（71）用于向所述振动层（73）激励具有第一频带和具有第二频带的一个剪切波模式的至少一个纵波模式的层（73）和耦合到所述振动层（73）的第二电极（72）为了感测滤波器通过信号，第一和第二电极（71,72）相对于彼此横向布置，以及与振动层（73）声学连接的声反射器结构（75）。根据本发明，反射器结构（75）适于比第二频带更有效地将振动层（73）与其周围的第一频带隔离，以抑制第二频段处的剪切波模式的影响滤波器通过信号的频带。本发明有助于提高LBAW滤波器通带的质量。

14. 发明申请

WO2011105313A1 弾性波デバイス审中-公开
标题翻译：声波设备
公开(公告)号：WO2011105313A1
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：PCT/JP2011/053627
申请日：2011-02-21
申请人：太陽誘電株式会社 , 谷口眞司 , 横山剛 , 西原時弘 , 上田政則
发明人：谷口　眞司 , 横山　剛 , 西原　時弘 , 上田　政則
IPC分类号： H03H9/17 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H03H9/54
CPC分类号： H03H9/605 , H03H9/02086 , H03H9/587
摘要：【課題】共振特性の劣化を抑制すること。【解決手段】基板１０と、前記基板上に設けられた圧電薄膜１４と、前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電薄膜を挟み前記下部電極および上部電極が対向する共振領域５０と、前記共振領域に複数の島パターンを備える第１質量負荷膜２８と、前記共振領域に前記複数の島パターンに対応する位置にそれぞれ設けられた複数の開口パターンを備える第２質量負荷膜２９と、を具備する弾性波デバイス。
摘要翻译：为了最小化共振特性的劣化，声波装置设置有基板（10），设置在基板上的压电薄膜（14），底部电极（12）和顶部电极（16），夹在压电薄膜的至少一部分，压电薄膜夹在其中的谐振区域（50）以及底部电极和顶部电极彼此面对的第一质量加载膜（28），第一质量加载膜（28）共振区域和配备有分别对应于共振区域中的多个岛状图案的位置的多个开口图案的第二质量加载区域（29）。

15. 发明申请

WO2011036995A1 弾性波デバイス审中-公开
标题翻译：声波设备
公开(公告)号：WO2011036995A1
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：PCT/JP2010/065098
申请日：2010-09-03
申请人：太陽誘電株式会社 , 横山剛 , 谷口眞司 , 西原時弘 , 上田政則
发明人：横山　剛 , 谷口　眞司 , 西原　時弘 , 上田　政則
IPC分类号： H03H9/17 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22 , H03H9/02 , H03H9/54
CPC分类号： H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/0095 , H03H9/02086 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/568 , H03H9/605 , H03H2003/0471
摘要：【課題】同一チップ内に各々異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振子からなる弾性波デバイスの形成を可能とし、高価な装置を使用することなく、スプリアスを低減した優れた特性を得る。【解決手段】周波数制御膜５１は、複数の凸形状の島パターン１５１または複数のホールパターンを備えている。島パターン１５１は、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる面積で配置されている。ホールパターンは、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる開口面積としている。
摘要翻译：其目的在于，能够形成由多个压电薄膜谐振器组成的声波器件，每个压电薄膜谐振器在同一芯片内各具有不同的谐振频率，并获得优异的特性，其中不需要昂贵的器件即可减少杂散。频率控制膜（51）设置有多个凸形条纹图案（151）或多个孔图案。条形图案151布置在每个谐振器之间，以具有共同的杂散调节间距并具有不同的面积。孔图案布置在每个谐振器之间，以具有共同的虚假调节间距并具有不同的开口面积。

16. 发明申请

WO2010054099A1 CRYSTAL OSCILLATOR WITH REDUCED ACCELERATION SENSITIVITY 审中-公开
标题翻译：具有降低加速灵敏度的晶体振荡器
公开(公告)号：WO2010054099A1
公开(公告)日：2010-05-14
申请号：PCT/US2009/063422
申请日：2009-11-05
申请人： GREENRAY INDUSTRIES, INC. , FRY, Steven , BOLTON, Wayne , ESTERLINE, John
发明人： FRY, Steven , BOLTON, Wayne , ESTERLINE, John
IPC分类号： H03H9/02 , H03B5/36 , H03B5/30
CPC分类号： H03B5/32 , H01L41/08 , H03B5/04 , H03B5/30 , H03H9/02086 , H03H9/02433 , H03H9/02818 , H03H9/205 , H03L1/02 , H03L1/028
摘要： A crystal oscillator (30) having a plurality of quartz crystals (10, 12) that are manufactured so that the directional orientation of the acceleration sensitivity vector (14, 16) is essentially the same for each crystal. This enables convenient mounting of the crystals to a circuit assembly (18) with consistent alignment of the acceleration vectors. The crystals are aligned with the acceleration vectors in an essentially anti -parallel relationship (14, 16) and can be coupled to the oscillator circuit in either a series or parallel arrangement. Mounting the crystals in this manner substantially cancels the acceleration sensitivity of the composite resonator (15) and oscillator, rendering it less sensitive to vibrational forces and shock events.
摘要翻译：具有多个石英晶体（10,12）的晶体振荡器（30）被制造成使得每个晶体的加速度灵敏度矢量（14,16）的方向取向基本相同。这使得能够将晶体方便地安装到电路组件（18），并且具有一致的对齐加速度矢量。晶体与基本上反平行关系（14,16）中的加速度矢量对准，并且可以串联或并联布置耦合到振荡器电路。以这种方式安装晶体基本上抵消了复合谐振器（15）和振荡器的加速度灵敏度，使其对振动力和冲击事件的敏感性降低。

17. 发明申请

WO2008008151A3 BULK ACOUSTIC WAVE FILTER WITH REDUCED NONLINEAR SIGNAL DISTORTION 审中-公开
标题翻译：具有减少非线性信号失真的大容量声波滤波器
公开(公告)号：WO2008008151A3
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/US2007014121
申请日：2007-06-15
申请人： SKYWORKS SOLUTION INC , BARBER BRADLEY , KENCHAPPA SAHANA , REISNER RUSS
发明人： BARBER BRADLEY , KENCHAPPA SAHANA , REISNER RUSS
IPC分类号： H03H9/52 , H03H9/54
CPC分类号： H03H9/605 , H03H9/02086
摘要： A filter circuit (200) includes at least one series resonator (204,206,208,210) having a first terminal and a second terminal, where the first and second terminals of the at least one series resonator are coupled to an input (202) and an output (232) of the filter circuit, respectively. The filter circuit further includes at least one shunt resonator (212,214,216,218,220) having a first terminal and a second terminal, where the first terminal of the at least one shunt resonator is coupled to the input of the filter circuit and the second terminal of the at least one shunt resonator is coupled to ground. A polarity of the first terminal of the at least one series resonator and a polarity of the first terminal of t at least one shunt resonator are selected so as to reduce harmonic signal generation and other types o distortion in the filter circuit.
摘要翻译：滤波器电路（200）包括具有第一端子和第二端子的至少一个串联谐振器（204,206,208,210），其中至少一个串联谐振器的第一和第二端子耦合到输入端（202）和输出端（232））。滤波器电路还包括具有第一端子和第二端子的至少一个并联谐振器（212,214,216,218,220），其中所述至少一个并联谐振器的第一端子耦合到所述滤波器电路的输入端并且所述至少一个并联谐振器的第二端子一个并联谐振器耦合到地。选择至少一个串联谐振器的第一端子的极性和至少一个并联谐振器的第一端子的极性，以便减少滤波器电路中的谐波信号产生和其它类型的失真。

18. 发明申请

WO2007037455A9 QUARTZ SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译： QUARTZ基板
公开(公告)号：WO2007037455A9
公开(公告)日：2007-05-24
申请号：PCT/JP2006319630
申请日：2006-09-25
申请人： EPSON TOYOCOM CORP , SATO KENJI
发明人： SATO KENJI
IPC分类号： H03H9/19 , H01L41/18 , H01L41/337 , H01L41/39
CPC分类号： H03H9/19 , H03H9/02086 , H03H9/02157
摘要： A means is provided to solve a problem that uniform width beveling is not performed, and to perform uniform beveling to an rectangular flat AT cut quartz substrate, by placing the rectangular flat quartz substrate in a cylindrical container with an abrasive for beveling the quartz substrate and rotating the container at a prescribed rotating speed for a prescribed time. The four corners of the rectangular flat AT cut quartz are previously cut out, the substrate is placed in the cylindrical container with the abrasive and rotated at the prescribed rotating speed, and beveling is performed to a circumference section of the quartz substrate.
摘要翻译：提供了一种用于解决不执行均匀宽度斜切的问题的方法，并且通过将矩形扁平石英基板放置在具有用于使石英基板倾斜的研磨剂的圆柱形容器中，并且对矩形扁平的AT切割石英基板进行均匀的斜切，以规定的转速将容器旋转规定时间。预先切出矩形扁平的AT切割石英的四个角部，将基板与磨料一起放置在圆筒形容器中并以规定的转速旋转，并且对石英基板的圆周部分进行斜切。

19. 发明申请

WO2014135379A1 MIKROAKUSTISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：微声学部件及其制造方法
公开(公告)号：WO2014135379A1
公开(公告)日：2014-09-12
申请号：PCT/EP2014/053350
申请日：2014-02-20
申请人： EPCOS AG
发明人： HENN, Gudrun , BADER, Bernhard
IPC分类号： H03H9/10 , H03H9/02 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/05
CPC分类号： H03H9/25 , H01L41/331 , H01L41/332 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02007 , H03H9/02086 , H03H9/02118 , H03H9/02818 , H03H9/02858 , H03H9/02984 , H03H9/0542 , H03H9/105 , H03H9/1092 , H03H9/14544
摘要： Es wird ein mikroakustisches Bauelement (MAC) mit einer Abdeckung (CAP), die ein hermetisches Verschließen erlaubt, sowie mit verbesserten akustischen Eigenschaften, z. B. durch das Platzieren der Abdeckung, angegeben. Das Bauelement umfasst einen funktionalen akustischen Bereich (FAS), einen inneren Randbereich (IRS) und einen äußeren Randbereich (ORS). Die Abdeckung (CAP) deckt den funktionalen akustischen Bereich (CAP) ab und weist eine dünne Schicht und eine Auflagefläche (RS) auf. Der innere Randbereich (IRS) ist mit dem funktionalen akustischen Bereich (FAS) akustisch gekoppelt und die Auflagefläche (RS) liegt zumindest auf einem Teil des inneren Randbereichs (IRS) direkt auf.
摘要翻译：它是一种微声学装置（MAC）与盖（CAP），其允许气密密封，以及具有改进的声学特性，例如。例如，通过将盖指示。该组件包括功能声学范围（FAS），内缘部（IRS）和外边缘区域（ORS）。盖（CAP）覆盖所述功能声音范围（CAP）并且包括薄的层和支撑表面（RS）到。内缘区（IRS）被连接到所述功能声音范围（FAS）声学耦合和支撑表面（RS）位于至少上直接内缘区域（IRS）的一部分。

20. 发明申请

WO2013175985A1 バルク波共振子审中-公开
标题翻译：大容量波共振器
公开(公告)号：WO2013175985A1
公开(公告)日：2013-11-28
申请号：PCT/JP2013/063303
申请日：2013-05-13
申请人：株式会社村田製作所
发明人：梅田　圭一
IPC分类号： H03H9/17 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187
CPC分类号： H03H9/171 , H03H9/02015 , H03H9/02086 , H03H9/0211 , H03H9/173 , H03H9/547
摘要：　Ｑ値が高く、共振周波数以下の周波数域におけるスプリアスを抑圧し得るバルク波共振子を提供する。　基板２上に、基板２の上面から音響的に分離されている部分を有するようにスカンジウム含有窒化アルミニウム膜３が積層されており、スカンジウム含有窒化アルミニウム膜３の一方面に第１の電極４が、他方面に第２の電極５が形成されており、第１の電極４に対し、スカンジウム含有窒化アルミニウム膜３を介して第２の電極５が重なり合って圧電振動部が構成されており、スカンジウム含有窒化アルミニウム膜３におけるＳｃとＡｌの合計を１００原子％としたときに、スカンジウム含有濃度が５原子％以上、４３原子％以下の範囲にある、バルク波共振子１。
摘要翻译：本发明提供一种具有高Q因子并能够抑制低于共振频率的频率范围内的杂散发射的体波谐振器。在该体波谐振器（1）中，将含钪的氮化铝膜（3）层压在基板（2）上，使得含钪的氮化铝膜（3）具有从顶部的声学分离的部分基板（2），第一电极（4）形成在含钪的氮化铝膜（3）的一个面上，第二电极（5）形成在含钪的氮化铝膜的另一面上（3）。通过使第二电极（5）跨越含钪的氮化铝膜（3）与第一电极（4）重叠而形成压电振荡单元。如果含有钪的氮化铝膜（3）中的Sc和Al的总和为100原子％，则钪含量浓度在5〜43原子％的范围内。

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