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    • 11. 发明申请
    • X線発生装置のターゲットと、その加工方法
    • 用于X射线发生装置的目标及其加工方法
    • WO2010109912A1
    • 2010-09-30
    • PCT/JP2010/002204
    • 2010-03-26
    • 株式会社リガク野々口雅弘青木省三田村巧
    • 野々口雅弘青木省三田村巧
    • H01J35/08G21K5/08H01J35/10H01J35/12H05G1/52
    • H01J35/08H01J2235/086
    •  数μm程度の微小幅の縞状X線(マルチライン状X線)を形成するX線発生装置に好適なターゲットとその加工方法を提供する。  内部が真空可能な管本体内において、電子ビームを発生する電子源と対向して配置され、電子源から出射される電子ビームが照射されることによりマルチライン状X線を発生するためのターゲットであって、ターゲットを構成する部材の表面には、複数の微小幅のライン状ターゲットが、微小幅の溝を挟んで、繰り返し形成され、電子源からの電子ビームを、溝の延長方向に対して垂直な方向から、所定の角度(α)で傾斜して照射されるように配置され、電子源からの電子ビームが、前記溝の複数を跨ぐように照射され、かつ、当該溝の間に形成される複数のライン状のターゲットからのマルチライン状X線を、所定の取り出し角度(β)から出射するように構成した。
    • 公开了一种优选用于形成具有约几微米的宽度的条纹X射线(多线X射线)的X射线产生装置及其加工方法的目标。 目标设置在管体中,其内部可以被抽空到真空状态,与用于产生电子束的电子源相对,并且适于在用从电子束发射的电子束照射时产生多线X射线 电子源。 目标配置如下。 具有小宽度的多线靶具有在具有小宽度的槽之间重复形成的线。 靶被配置成从与电子源的电子束以垂直于凹槽以倾斜的预定角度(a)延伸的方向垂直的方向被照射。 来自电子源的电子束被施加到一些槽的范围。 以规定的输出角(β)输出来自具有在槽之间形成的线的多线靶的多线X射线。