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11. 发明申请

WO2012069251A1 MIKRO-MAGNETFELDSENSOR, MIKRO-MAGNETFELDSENSORVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微磁传感器，微磁传感器设备和方法
公开(公告)号：WO2012069251A1
公开(公告)日：2012-05-31
申请号：PCT/EP2011/067889
申请日：2011-10-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , REICHENBACH, Frank , PATAK, Christian , WEISS, Stefan , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHATZ, Frank , FARBER, Paul
发明人： REICHENBACH, Frank , PATAK, Christian , WEISS, Stefan , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHATZ, Frank , FARBER, Paul
IPC分类号： G01R33/02 , G01R33/00
CPC分类号： G01R33/0005 , G01R33/0206
摘要： Die Erfindung betrifft einen Mikro-Magnetfeldsensor zur Detektion von dreidimensionalen Magnetfeldern. Der Sensor umfasst zumindest drei Sensorelemente jeweils zur Messung zumindest einer Richtung des Magnetfeldes, wobei zumindest zwei Sensorelemente in einer ersten Ebene angeordnet sind und wobei zumindest das dritte Sensorselement in einer zweiten Ebene angeordnet ist,die senkrecht zur ersten Ebene angeordnet ist, und wobei zumindest eines der Sensorelemente zu einer dritten Ebene, welche senkrecht zu der ersten und zweiten Ebene angeordnet ist, in einem spitzen oder stumpfen Winkel angeordnet ist. Die Erfindung betrifft ebenfalls eine Mikro-Magnetfeldsensorvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种微磁传感器，用于检测三维磁场。该传感器包括各自至少三个传感器元件，用于测量磁场，其特征在于，至少两个传感器元件被布置在第一平面中，并且其中至少所述第三传感器元件被布置在垂直于所述第一平面的第二平面中，并且其中至少一个的至少一个方向上传感器元件被布置在第三平面垂直于所述第一平面和第二平面以锐角或钝角。本发明还涉及一种微磁传感器设备。

12. 发明申请

WO2011092406A1 MAGNETOMETRE INTEGRE ET SON PROCEDE DE FABRICATION 审中-公开
标题翻译：集成磁铁计及其制造工艺
公开(公告)号：WO2011092406A1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：PCT/FR2011/000058
申请日：2011-01-28
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , SCHUHL, Alain , GAUDIN, Gilles , SABON, Philippe , ZERMATTEN, Pierre-Jean , MONTAIGNE, François
发明人： SCHUHL, Alain , GAUDIN, Gilles , SABON, Philippe , ZERMATTEN, Pierre-Jean , MONTAIGNE, François
IPC分类号： G01R33/00 , G01R33/02 , G01R33/09
CPC分类号： G01R33/093 , G01R33/0005 , G01R33/0029 , G01R33/02 , G01R33/0206 , G01R33/098
摘要： Magnétomètre intégré comportant une pluralité de capteurs magnétorésistifs multicouches déposés sur une surface dite supérieure d'un substrat sensiblement planaire, caractérisé en ce que : ladite surface supérieure du substrat présente au moins une cavité ou protubérance pourvue d'une pluralité de faces inclinées; et en ce que : au moins quatre dits capteurs magnétorésistifs sont déposés sur quatre dites faces inclinées, présentant des orientations différentes et opposées deux à deux, chaque capteur étant sensible à une composante d'un champ magnétique externe parallèle à la face sur lequel il est déposé. Procédé de fabrication d'un tel magnétomètre.
摘要翻译：集成磁力计包括沉积在基本上平面的基板的称为顶表面的表面上的多个多层磁阻传感器，其特征在于，所述基板的所述顶表面具有设置有多个倾斜面的至少一个空腔或突起，以及因为至少四个所述磁阻传感器被放置在四个所述倾斜面上，具有不同的取向并且成对地相对，每个传感器对平行于其放置的面的外部磁场的一个分量敏感。制造这种磁力计的方法。

13. 发明申请

WO2010043433A1 VORRICHTUNG ZUR MESSUNG VON RICHTUNG UND/ODER STÄRKE EINES MAGNETFELDES 审中-公开
标题翻译：用于测量方向和/或强度的磁场
公开(公告)号：WO2010043433A1
公开(公告)日：2010-04-22
申请号：PCT/EP2009/060490
申请日：2009-08-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SCHATZ, Frank
发明人： SCHATZ, Frank
IPC分类号： G01R33/02 , G01R33/04 , G01R33/07
CPC分类号： G01R33/07 , G01R33/0206 , G01R33/04
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Richtung und/oder Stärke eines Magnetfeldes, enthaltend einen ersten Sensor zur Erfassung einer ersten Komponente des Magnetfeldes in einer ersten Raumrichtung, einen zweiten Sensor zur Erfassung einer zweiten Komponente des Magnetfeldes in einer zweiten Raumrichtung und einen dritten Sensor zur Erfassung einer dritten Komponente des Magnetfeldes in einer dritten Raumrichtung, wobei der erste Sensor zumindest einen Hall-Sensor enthält und der zweite und/oder der dritte Sensor zumindest einen Fluxgate-Sensor enthalten.
摘要翻译：本发明涉及一种设备，用于测量磁场的方向和/或强度，包括用于在第一空间方向，用于在第二空间方向检测磁场的第二部件的第二传感器检测磁场的第一分量的第一传感器和第三传感器在空间检测的磁场的第三部件中的第三方向，其中所述第一传感器包括至少一个霍尔传感器和所述第二和/或第三传感器包括至少一个磁通门传感器。

14. 发明申请

WO2008123964A1 RESISTIVE POSITION-SENSING SYSTEM INCLUDING A STACKED SWITCH ARRAY, AND COMPONENTS THEREOF 审中-公开
标题翻译：包括堆叠式开关阵列的电阻位置传感系统及其组件
公开(公告)号：WO2008123964A1
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/US2008/004203
申请日：2008-03-31
申请人： UNIVERSAL BUILDING CONTROLS, INC. , DIVICINO, Andrew, Thomas , MADER, Philip, J.
发明人： DIVICINO, Andrew, Thomas , MADER, Philip, J.
IPC分类号： G01R33/00
CPC分类号： G01R33/0206 , G01D5/2515
摘要： The position-monitoring system consists of cooperating arrays in the form of an assembly of switch/resistance element units, serving as a sensor component, and an assembly of magnet units, serving as an actuator component, each switch unit including a switching device that is magnetically operated for connecting or disconnecting an associated resistance element to or from a common circuit through the switch stack. The resultant change of resistance in the common circuit is detected and utilized for determining the position of a movable member, to which one of the stacks is operatively attached, relative to another member to which the other stack is attached.
摘要翻译：位置监视系统由用作传感器部件的开关/电阻元件单元的组合的形式的协作阵列和用作致动器部件的磁体单元的组件组成，每个开关单元包括开关装置，该开关装置是磁性操作用于通过开关堆叠将相关联的电阻元件连接或断开与公共电路的连接或断开。所检测到的公共电路中所产生的电阻变化被用于确定相对于另一个堆叠件附接到另一个堆叠的另一个构件，可移动构件的位置，其中一个堆叠件可操作地附接到该活动构件。

15. 发明申请

WO2008123432A1 測定により場を取得する装置および方法审中-公开
标题翻译：通过测量获取场地的装置和方法
公开(公告)号：WO2008123432A1
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/JP2008/056137
申请日：2008-03-28
申请人：国立大学法人京都大学 , 木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美 , 堀内喬 , 佐藤宣夫 , 中井章文
发明人：木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美 , 堀内喬 , 佐藤宣夫 , 中井章文
IPC分类号： G01N13/10 , G01N13/22 , G01N27/90 , G01R29/12 , G01R33/02
CPC分类号： G01R33/10 , G01Q30/04 , G01Q60/50 , G01R33/0206 , G01R33/0385
摘要：　磁区を有する試料（９）の上方において、ＭＦＭを用いて測定面（９１）での磁気力の分布が磁気力画像として取得され、測定面（９１）から微小距離ｄだけ離れた測定面（９２）にて測定を行って補助磁気力画像が取得され、これらの差分を微小距離ｄで除算して磁気力勾配画像が取得される。磁気力画像および補助磁気力画像はフーリエ変換されてラプラス方程式の一般解から導かれる３次元場取得式に代入され、磁気力を示す３次元場が高精度に取得される。３次元場の取得により、試料（９）の表面９３における磁区の様子も高精度に得ることができる。３次元場取得式を利用する３次元場取得方法は、ラプラス方程式を満たす磁位、電位、温度、重力ポテンシャル等の様々な場に利用することができる。また、３次元場の取得は高次のｎ次元場の取得に拡張することができる。
摘要翻译：通过使用MFM，获得测量平面（91）上的磁力分布作为具有磁畴的样品（9）上方的磁力图像。在距离测量平面（91）的测量平面（92）上执行小距离d的测量，以获得辅助磁力图像。将它们之间的差除以小的距离d，以获得磁力梯度图像。对磁力图像和辅助磁力图像进行傅里叶变换，并将其代入由拉普拉斯表达式的一般解导出的三次场获取表达式。因此，可以以高精度获得表示磁力的三次磁场。通过获取第三场，也可以高精度地获得样品（9）的表面（93）上的磁畴的状态。使用第三场获取表达式的三次场获取方法可以应用于满足诸如磁性位置，电位，温度和重力的拉普拉斯表达式的各种场。此外，三次场采集可以扩展到获取较高的n维场。

16. 发明申请

WO2008017348A2 IM MESSBETRIEB KALIBRIERBARER MAGNETISCHER 3D-PUNKTSENSOR 审中-公开
标题翻译：测量操作校准磁三维点传感器的
公开(公告)号：WO2008017348A2
公开(公告)日：2008-02-14
申请号：PCT/EP2007/005690
申请日：2007-06-27
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HOHE, Hans-Peter , HACKNER, Michael , STAHL-OFFERGELD, Markus
发明人： HOHE, Hans-Peter , HACKNER, Michael , STAHL-OFFERGELD, Markus
IPC分类号： G01R33/02 , G01R33/07
CPC分类号： G01R33/0206 , G01R15/202 , G01R33/0017 , G01R33/0035 , G01R33/07 , G01R33/075
摘要： Ein im Messbetrieb kalibrierbarer Magnetfeldsensor 100 zur Erfassung einer ersten, zweiten und dritten räumlichen Komponente B z , B y und B x eines Magnetfeldes in einem Referenzpunkt 101, wobei das Magnetfeld eine erste, zweite und dritte Messfeldkomponente B Mz , B My , B Mx und eine erste, zweite und dritte Kalibrierungsfeldkomponente B Kz , B Ky und B Kx aufweist. Der Magnetfeldsensor 100 umfasst eine erste Sensorelementanordnung 102 zur Erfassung der ersten Magnetfeldkomponente B z , die eine erste Messfeldkomponente B Mz und eine erste Kalibrierungsfeldkomponente B Kz aufweist, bezuglich einer ersten Raumachse z im Referenzpunkt 101, eine zweite Sensorelementanordnung 104 zur Erfassung der zweiten Magnetfeldkomponente B y , die eine zweite Messfeldkomponente B My und eine zweite Kalibrierungsfeldkomponente B Ky aufweist, bezuglich einer zweiten Raumachse y im Referenzpunkt 101 und eine dritte Sensorelementanordnung 106 zur Erfassung der dritten Magnetfeldkomponente B x , die eine dritte Messfeldkomponente B Mx und eine dritte Kalibrierungsfeldkomponente B Kx aufweist, bezuglich einer dritten Raumachse x im Referenzpunkt 101. Der Magnetfeldsensor 100 umfasst ferner eine Erregerleitung, die so bezuglich der ersten 102, zweiten 104 und dritten Sensorelementanordnung 106 angeordnet ist, dass bei einer Einprägung eines vorgegebenen Stroms in die Erregerleitung 108 eine erste vorgegebene Kalibrierungsfeldkomponente B Kz bezuglich der ersten Raumachse z in der ersten Sensorelementanordnung erzeugt wird, eine zweite vorgegebene Kalibrierungsfeldkomponente B Ky bezuglich der zweiten Raumachse y in der zweiten Sensorelementanordnung erzeugt wird und eine dritte vorgegebene Kalibrierungsfeldkomponente B Kx bezüglich der dritten Raumachse x in der dritten Sensorelementanordnung erzeugt wird, wobei die drei Raumachsen z, y und x entlang linear unabhängiger Ortsvektoren verlaufen.
摘要翻译：用于检测第一，第二和第三空间组分B _{ž，B _{Y测量操作磁场传感器100期间可校准和B _{X的磁场在基准点 101，磁场的第一，第二和第三测量场组分B _{的Mz ，B _{我，B _{的Mx 和第一，第二和第三校准场B成分 _{Kz的，B _{的Ky 和B _{Kx的了。磁场传感器100包括第一传感器元件布置102，用于检测第一磁场成分B _{ž，具有第一测量区的组分B _{的Mz 和第一校准场B成分_{Kz的，贴到第一空间轴z在参考点101，用于检测所述第二磁场成分B _{ý，第二测量场组分B的第二传感器元件布置104 _{我和第二校准场B成分_{KY 其中发布为在参考点101的第二空间轴y和用于检测所述第三磁场成分B _{X ，第三测量场分量乙_{的Mx 和一个第三传感器元件布置106 第三校准场B成分_{Kx的其张贴到第三空间轴x在参考点101的磁场传感器100还包括如此张贴用于第一102的激发线，第二104和第三Sensorelementanor dnung，106被布置成在第一预定校准场B成分_{Kz的发布到在第一传感器元件布置压印预定的电流流入激励线108，第二预定校准场B成分_{的Ky当产生所述第一空间轴z 张贴在第二传感器元件布置产生的第二空间轴y和第三预定校准场B成分_{Kx的产生在所述第三传感器元件布置X相对于所述第三空间轴，其中，所述三个空间轴Z，y和x 运行沿着线性无关位置矢量。}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}

17. 发明申请

WO2007126164A1 THIN FILM 3 AXIS FLUXGATE AND THE IMPLEMENTATION METHOD THEREOF 审中-公开
标题翻译：薄膜3轴氟石及其实施方法
公开(公告)号：WO2007126164A1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/KR2006/001602
申请日：2006-04-28
申请人： MICROGATE, INC. , CHANG, HANSUNG
发明人： CHANG, HANSUNG
IPC分类号： H01L43/00 , G01R33/04
CPC分类号： G01R33/04 , G01R33/0206
摘要： There is provided a thin film tri-gate fluxgate for detecting a component of a magnetic field in directions of three axes, the thin film tri-gate fluxgate comprising: two first thin film fluxgates of a bar-type disposed on a plane for detecting horizontal components of the magnetic field in direction of dual axis; and a plurality of second thin film fluxgates for detecting a vertical component of the magnetic field, wherein each of the first thin film fluxgates and the plurality of the second thin film fluxgates comprises a drive coil for applying a power, a pickup coil for detecting a voltage and, a magnetic thin film, and wherein the plurality of the second thin film fluxgates are substantially perpendicular to each of the first thin film fluxgates wherein a length of the magnetic thin film of each of the plurality of the second thin film fluxgates is shorter than that of each of the two first thin film fluxgates, and wherein two end portions of each of the plurality of the second thin film fluxgates is wider than a center portion thereof.
摘要翻译：提供了用于检测三轴方向上的磁场分量的薄膜三栅极光栅，薄膜三栅极光栅包括：设置在用于检测水平面的平面上的棒状的两个第一薄膜磁通门磁场分量在双轴方向; 以及用于检测所述磁场的垂直分量的多个第二薄膜磁通门板，其中所述第一薄膜磁通门和所述多个第二薄膜磁通门组中的每一个包括用于施加电力的驱动线圈，用于检测磁场的拾波线圈电压和磁性薄膜，并且其中所述多个所述第二薄膜磁通门板基本垂直于所述第一薄膜磁通门阵列中的每一个，其中所述多个所述第二薄膜磁通门板中的每一个的所述磁性薄膜的长度较短两个第一薄膜磁通门板中的每一个的两个端部比其中心部分宽。

18. 发明申请

WO2006001978A3 Integrated three-dimensional magnetic sensing device and fabrication method 审中-公开
标题翻译：集成三维磁感应装置及其制造方法
公开(公告)号：WO2006001978A3
公开(公告)日：2006-05-18
申请号：PCT/US2005019331
申请日：2005-06-02
申请人： HONEYWELL INT INC , PECZALSKI ANDRZEJ , WITCRAFT WILLIAM F , WAN HONG , DETRY JAMES F
发明人： PECZALSKI ANDRZEJ , WITCRAFT WILLIAM F , WAN HONG , DETRY JAMES F
IPC分类号： G01R33/02
CPC分类号： G01R33/02 , B82Y25/00 , G01R33/0206 , G01R33/093
摘要： An integrated three-dimensional magnetic or any field sensing device and a method to fabricate an integrated three-dimensional magnetic sensing device is presented. An integrated three-dimensional magnetic sensing device comprises an apparatus that defines at least a first surface area and at least one sloped surface which is sloped with respect to the first surface area. Two magnetic sensing units could be arranged on the first surface area to provide first and second orthogonal sensing directions, and a third magnetic sensing unit could be arranged on the at least one sloped surface to provide sensing in at least a third sensing direction which is orthogonal to the first and second orthogonal sensing directions. Bias could be applied to the third magnetic sensing unit to cancel a component of the magnetic field sensed by the third magnetic sensing unit so that the third magnetic sensor unit only provides sensing in the third direction.
摘要翻译：提出了一种集成的三维磁场或任何场感测装置以及制造集成的三维磁感测装置的方法。集成的三维磁感测装置包括限定至少第一表面区域和相对于第一表面区域倾斜的至少一个倾斜表面的装置。两个磁感测单元可以布置在第一表面区域上以提供第一和第二正交感测方向，并且第三磁感测单元可布置在至少一个倾斜表面上，以在至少第三感测方向上提供感测，该感测方向是正交的到第一和第二正交感测方向。可以将偏压施加到第三磁感测单元以抵消由第三磁感测单元感测的磁场的分量，使得第三磁传感器单元仅在第三方向上提供感测。

19. 发明申请

WO2004051298A1 磁気センサ、及び磁気センサの温度依存特性補償方法审中-公开
标题翻译：磁传感器及其温度依赖性特征补偿方法
公开(公告)号：WO2004051298A1
公开(公告)日：2004-06-17
申请号：PCT/JP2002/012476
申请日：2002-11-29
申请人：ヤマハ株式会社 , 佐藤秀樹
发明人：佐藤秀樹
IPC分类号： G01R33/09
CPC分类号： G01R33/02 , B82Y25/00 , G01C17/38 , G01R33/0005 , G01R33/0064 , G01R33/0206 , G01R33/09 , G01R33/091 , G01R33/093 , H01L24/05 , H01L2224/04042 , H01L2224/45144 , H01L2224/48463 , H01L2924/14 , H01L2924/00
摘要： A magnetic sensor (10) includes GMR elements (11-18) and heating coils (21-24) as heat generating bodies. Elements (11-14) and elements (15-18) are connected by bridge and constitute X-axis and Y-axis magnetic sensor. The heating coil (21) is arranged in the vicinity of the elements (11, 12), the heating coil (22) is arranged in the vicinity of the elements (13, 14), the heating coil (23) is arranged in the vicinity of the elements (15, 16), and the heating coil (24) is arranged in the vicinity of the elements (17, 18). The heating coils (21-24) mainly heat the elements in their vicinities when power is supplied. Accordingly, it is possible to heat and cool the elements within a short period of time during which the earth magnetism can be guaranteed to be constant. According to the element temperatures before and after heating of the elements and the respective magnetic sensor outputs, the temperature dependency characteristic compensation data (ratio of the sensor output value change against the element temperature change) is acquired and according to the data, the element temperature characteristic is compensated.
摘要翻译：磁传感器（10）包括作为发热体的GMR元件（11-18）和加热线圈（21-24）。元件（11-14）和元件（15-18）通过桥连接构成X轴和Y轴磁传感器。加热线圈（21）配置在元件（11,12）的附近，加热线圈（22）配置在元件（13,14）附近，加热线圈（23）配置在元件（15,16）和加热线圈（24）的附近布置在元件（17,18）附近。当供电时，加热线圈（21-24）主要加热附近的元件。因此，可以在可以保证地磁力恒定的短时间内对元件进行加热和冷却。根据元件和各个磁传感器输出的加热前后的元件温度，获取温度依赖特性补偿数据（传感器输出值变化与元件温度变化的比率），根据该数据，元件温度特性得到补偿。

20. 发明申请

WO2002091626A1 MINIATURIZED POSITIONAL ASSEMBLY AND METHOD OF MANUFACTURING 审中-公开
标题翻译：微型定位装置及其制造方法
公开(公告)号：WO2002091626A1
公开(公告)日：2002-11-14
申请号：PCT/US2002/014727
申请日：2002-05-07
申请人： MICROHELIX, INC. , DAVIS, Larry, L.
发明人： DAVIS, Larry, L.
IPC分类号： H04B7/10
CPC分类号： H05K1/189 , G01R33/0206
摘要： A method of producing a miniaturized set of orthogonal inductive coils (12, 14, 16) set inside a tube (10). The method includes providing a platform (10), attaching the coils to the platform (10) and providing a tube (10), encompassing the coils.
摘要翻译：一种制造设置在管（10）内的正交感应线圈（12,14,16）的小型化集合的方法。该方法包括提供平台（10），将线圈附接到平台（10）并提供包围线圈的管（10）。

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