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    • 13. 发明申请
    • 磁気ランダムアクセスメモリ
    • 磁性随机存取存储器
    • WO2009104427A1
    • 2009-08-27
    • PCT/JP2009/050185
    • 2009-01-09
    • 日本電気株式会社深見 俊輔石綿 延行鈴木 哲広大嶋 則和永原 聖万
    • 深見 俊輔石綿 延行鈴木 哲広大嶋 則和永原 聖万
    • H01L21/8246H01L27/105H01L43/08
    • H01L43/08G11C11/161G11C11/1655G11C11/1659G11C11/1673G11C11/1675H01L27/222Y10S977/933Y10S977/935
    •  MRAMは、第1磁気抵抗素子を含むメモリセルと第2磁気抵抗素子を含むリファレンスセルを備える。第1磁気抵抗素子は、第1磁化固定層と、第1磁化自由層と、第1磁化固定層と第1磁化自由層とに挟まれた第1非磁性層と、第2磁化固定層と、第2磁化自由層と、第2磁化固定層と第2磁化自由層とに挟まれた第2非磁性層とを備える。第1磁化固定層と第1磁化自由層は、垂直磁気異方性を有し、第2磁化固定層と第2磁化自由層は、面内磁気異方性を有する。第1磁化自由層と第2磁化自由層は、互いに磁気的に結合している。各層に平行な平面において、第2磁化自由層の重心は、第1磁化自由層の重心から第1方向にずれている。一方、第2磁気抵抗素子は、磁化容易軸が第2方向に平行な第3磁化自由層と、磁化方向が第2方向と直交する第3方向に固定された第3磁化固定層と、第3磁化固定層と第3磁化自由層とに挟まれた第3非磁性層とを備える。第3磁化固定層と第3磁化自由層は、面内磁気異方性を有する。
    • MRAM具有包括第一磁阻元件和包括第二磁阻元件的参考元件的存储单元。 第一磁阻元件设置有第一磁化固定层,第一磁化自由层,介于第一磁化固定层和第一磁化自由层之间的第一非磁性层,第二磁化固定层,第二磁化自由层和 介于第二磁化固定层和第二磁化自由层之间的第二非磁性层。 第一磁化固定层和第一磁化自由层具有垂直的磁各向异性,第二磁化固定层和第二磁化自由层具有面内磁各向异性。 第一磁化自由层和第二磁化自由层彼此磁耦合。 在与各层平行的平面中,第二磁化自由层的重心从第一磁化自由层的重心沿第一方向位移。 同时,第二磁阻元件设置有具有平行于第二方向的易磁化轴的第三磁化自由层,具有固定在与第二方向正交的第三方向的磁化方向的第三磁化固定层和第三非磁性层 介于第三磁化固定层和第三磁化自由层之间的层。 第三磁化固定层和第三磁化自由层具有面内磁各向异性。