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    • 92. 发明申请
    • 圧電センサ
    • 压电传感器
    • WO2009031590A1
    • 2009-03-12
    • PCT/JP2008/065899
    • 2008-09-03
    • 株式会社クレハ須藤 隆一森山 信宏小川 智幸
    • 須藤 隆一森山 信宏小川 智幸
    • G01L1/16H01L41/08
    • H01L41/1132G01L1/16H01L41/053
    •  基材の貼合せ時の空気の混入を防止し、浮遊容量の影響を抑えた高感度な圧電センサを実現する。加圧されることにより電位を生じる、第1の面a1と第1の面a1に対して表裏の関係にある第2の面a2を有する圧電体1と、圧電体1の第1の面a1と対向するシグナル電極4をその一方の面g1に有し、シグナル電極4を有する面g1が圧電体1の第1の面a1に貼接されるように配設された第1の基材5と、圧電体1の第2の面a2と対向する第1のグランド電極7をその一方の面d1に有し、第1のグランド電極7を有する面d1が圧電体1の第2の面a2に貼接されるように配設された第2の基材8と、一方の面b1が第1の基材5のシグナル電極4を有する面g1に貼接し、他方の面b2が第2の基材8の第1のグランド電極7を有する面d1に貼接され、圧電体1が配設された部分(例えば、h)以外に配設されたスペーサ部材6とを備える。  
    • 具有浮动电容效应的高灵敏度压电传感器通过防止在基材层压期间截留空气而受到抑制。 压电体(1)在施加压力时产生电位,每个压电体具有与第一表面(a1)相对的第一表面(a1)和第二表面(a2),第一基材(5)的一个表面(g1 )承载面向第一压电体(1)的第一表面(a1)的信号电极(4),具有信号电极(4)的表面(g1)设置成与第一压电体(1)的第一表面(a1)接合, 压电体(1),一个表面(d1)承载面对压电体(1)的第二表面(a2)的第一接地电极(7)的第二基材(8),表面(d1)具有 所述第一接地电极(7)被设置成与所述压电体(1)的第二表面(a2)接合,以及一个表面(b1)与表面(g1)结合的间隔件(6) 所述第一基材(5)的信号电极(4)和其另一表面(b2)与具有所述第一基材的表面(d1)接合 第二基底材料(8)的第二电极(7),隔离构件(6)设置在除了压电体(1)设置的区域以外的区域中。 H)。
    • 94. 发明申请
    • ULTRASCHALLSENSOR
    • 换能器
    • WO2008152058A1
    • 2008-12-18
    • PCT/EP2008/057293
    • 2008-06-11
    • ENDRESS+HAUSER FLOWTEC AGBERGER, AndreasWIEST, Achim
    • BERGER, AndreasWIEST, Achim
    • H01L41/08H01L41/24B06B1/06G03F7/00G10K11/02
    • H01L41/08G10K11/02H01L41/25
    • Die Erfindung betrifft einen Ultraschallsensor (1) mit einer im Schallstrahl (7) des Ultraschallsensors (1) angeordneten Anpassungsschicht (3), die zwischen zwei Schichten (2, 6) aus unterschiedlichen Materialien angeordnet ist, wobei es sich bei der ersten Schicht um ein piezoelektrisches Element (2) handelt, wobei an dem piezoelektrischen Element (2) Elektroden (4a, 4b) derart angebracht sind, dass es Ultraschall-Messsignale entlang des Schallstrahls (7) aussendet und empfängt. Zur Optimierung der Transmission der Ultraschall-Messsignale ist die Anpassungsschicht (3) über ein Siebdruckverfahren, ein Pulverbeschichtungsverfahren, ein Sputterverfahren, ein CVD-Beschichtungsverfahren, ein PVD-Beschichtungsverfahren oder über ein galvanisches Beschichtungsverfahren aufgebracht.
    • 本发明涉及(1)具有的声束(7)的超声波传感器(1),其设置匹配层(3)的两个层之间插置(2,6)由不同材料制成,其中所述第一层是一个超声波传感器 压电元件(2)是,在该压电元件(2)的电极(图4a,4b)被安装使得其发射的超声波的测量信号沿声束(7)和接收。 为了优化的超声波测量信号的传输中,匹配层(3)通过丝网印刷法,粉末涂敷法,溅射法,CVD法,PVD涂层法或电沉积涂覆方法应用于。