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    • 3. 发明授权
    • Electrostatic chuck
    • 静电吸盘
    • US08848334B2
    • 2014-09-30
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    • Sung-Won Doh
    • Sung-Won Doh
    • H01L21/683H01T23/00H01L21/687
    • H01L21/6875H01L21/6833
    • An electrostatic chuck for manufacturing a flat panel display is disclosed. In one embodiment, the electrostatic chuck includes i) a base substrate, ii) an insulating layer formed on the base substrate and iii) a conductive layer formed on the insulating layer and electrically connected to a power device. The electrostatic chuck further includes a dielectric layer formed on the conductive layer and including an emboss part and a trench part surrounding the emboss part. The emboss part comprises a plurality of contact parts and at least one protrusion. The trench part includes at least one channel. The contact parts and the protrusion have different shapes. The electrostatic chuck further includes a cooling gas line extending through the base substrate, the insulating layer, the conductive layer, and the dielectric layer.
    • 公开了一种用于制造平板显示器的静电卡盘。 在一个实施例中,静电卡盘包括i)基底基板,ii)形成在基底基板上的绝缘层,以及iii)形成在绝缘层上并电连接到功率器件上的导电层。 静电卡盘还包括形成在导电层上并包括压花部分的电介质层和围绕压花部分的沟槽部分。 压花部分包括多个接触部分和至少一个突起。 沟槽部分包括至少一个通道。 接触部分和突起具有不同的形状。 静电吸盘还包括延伸穿过基底基板,绝缘层,导电层和电介质层的冷却气体管线。