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    • 5. 发明授权
    • Alignment stage
    • 对准阶段
    • US09548638B2
    • 2017-01-17
    • US13988430
    • 2011-11-25
    • Takafumi KomatsuKatsuya Fukushima
    • Takafumi KomatsuKatsuya Fukushima
    • H02K7/14H02K41/03B23Q1/44B23Q1/62
    • H02K7/14B23Q1/44B23Q1/623H02K41/03H02K41/031H02K2201/18
    • An alignment stage including: a base plate; one or more X direction thrust generation guide mechanisms for generating thrust and performing guidance in the direction of a straight line X; a pair of lower plates disposed above the X direction thrust generation guide mechanisms; a pair of upper plates provided corresponding to the lower plates, respectively; a pair of rotatable bearings disposed between the lower plates and the upper plates; one or more Y direction thrust generation guide mechanisms for generating thrust and performing guidance in the direction of a straight line Y perpendicular to the straight line X; and a table plate disposed above the Y direction thrust generation guide mechanisms. With this configuration, it is possible for the alignment stage to be compact and easy to assemble.
    • 一种对准台,包括:底板; 一个或多个X方向推力产生引导机构,用于在直线X的方向上产生推力和执行引导; 设置在X方向推力产生引导机构上方的一对下板; 分别对应于下板设置的一对上板; 设置在所述下板和所述上板之间的一对可旋转轴承; 一个或多个Y方向推力产生导向机构,用于在垂直于直线X的直线Y的方向上产生推力和执行引导; 以及设置在Y方向推力产生引导机构上方的台板。 利用这种构造,对准台可以紧凑且容易组装。