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1. 发明授权

US08025775B2 Vacuum plasma generator 有权
标题翻译：真空等离子发生器
公开(公告)号：US08025775B2
公开(公告)日：2011-09-27
申请号：US10507095
申请日：2003-02-19
申请人： Gerhard Tuymer , Andreas Schutze
发明人： Gerhard Tuymer , Andreas Schutze
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/32 , C25B9/00 , C25B11/00 , C25B13/00 , H01J7/24 , H05B31/26 , H05B41/16 , H05B41/24 , H02M7/00
CPC分类号： H01J37/32027 , H01J37/32045 , H01J37/34 , H01J37/3444
摘要： A vacuum plasma generator with an output for feeding a plasma discharge for treatment of workpieces in a vacuum chamber has a connection for the junction to AC voltage mains, a rectifier connected to a converter with a control input for the setting and/or regulation of the converter output voltage, and a controlled full bridge circuit connected to the converter output with a potential-free generator output, which transposes the converter output voltage into pulses of 1 to 500 kHz. A potential-isolating transformer is switched into the bridge for the galvanic decoupling of the generator output.
摘要翻译：具有用于馈送用于处理真空室中的工件的等离子体放电的输出的真空等离子体发生器具有用于连接到交流电压电源的连接，连接到具有用于设置和/或调节的电压的控制输入的转换器的整流器转换器输出电压，以及与无电压发生器输出连接到转换器输出的受控全桥电路，其将转换器输出电压转换为1至500kHz的脉冲。电隔离变压器切换到桥接器，用于发电机输出的电流去耦。

2. 发明申请

US20050121321A1 Ignition device 审中-公开
标题翻译：点火装置
公开(公告)号：US20050121321A1
公开(公告)日：2005-06-09
申请号：US10991047
申请日：2004-11-17
申请人： Andreas Schutze
发明人： Andreas Schutze
IPC分类号： C23C14/24 , H01J37/32 , H05H1/48 , C23C14/32
CPC分类号： H01J37/32055 , H01J37/32064 , H05H1/48
摘要： Ignition device for igniting a high-current discharge of an electric arc vaporizer in a vacuum coating installation with a target (9) with target surface (20), a counterelectrode (6) as well as an arc supply (4) for maintaining an arc discharge between target (9) and counterelectrode (6), the ignition device (1) comprising an ignition finger (1′), switchable to a different ignition potentials with respect to the target (9), with a tip (10) and a switch (2), the tip (10) being comprised of a material with a high melting point and in continuous electric contact with the target surface (20).
摘要翻译：点火装置，用于在具有目标表面（20）的靶（9），反电极（6）以及用于维持电弧的电弧源（4）中点燃真空镀膜装置中的电弧蒸发器的大电流放电目标（9）和反电极（6）之间的放电，包括点火指（1'）的点火装置（1）可相对于目标（9）切换到不同的点火电位，具有尖端（10）和开关（2），所述尖端（10）由具有高熔点的材料构成并与所述目标表面（20）连续电接触。

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