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1. 发明授权

US08267486B2 Apparatus and method of detecting microchip hermeticity 有权
标题翻译：检测微芯片气密性的装置和方法
公开(公告)号：US08267486B2
公开(公告)日：2012-09-18
申请号：US12342140
申请日：2008-12-23
申请人： Firas Sammoura , Kuang Yang
发明人： Firas Sammoura , Kuang Yang
IPC分类号： B60T8/88
CPC分类号： G01M3/226 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C99/0045
摘要： A microchip system has a package forming a hermetically sealed interior, and MEMS structure within the interior. The system also has a gas sensor for detecting the concentration of at least one of oxygen or hydrogen within the interior.
摘要翻译：微芯片系统具有形成密封内部的封装和内部的MEMS结构。该系统还具有用于检测内部的氧气或氢气中的至少一种的浓度的气体传感器。

2. 发明授权

US08438923B2 MEMS device with opposite polarity spring bimorph 有权
标题翻译：具有相反极性的微机电装置弹簧双压电晶片
公开(公告)号：US08438923B2
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：US12413196
申请日：2009-03-27
申请人： Firas Sammoura , Kuang Yang
发明人： Firas Sammoura , Kuang Yang
IPC分类号： G01P15/09
CPC分类号： G01P15/0922 , G01C19/5642 , G01P15/18 , G01P2015/084
摘要： A MEMS device has a mass supported at least in part by a spring. Among other things, the spring has first and second layers, and first and a second electrodes. The first and second layers are between the first and second electrodes, and the first and second layers, which are oppositely polarized, form a bimorph.
摘要翻译： MEMS器件具有至少部分由弹簧支撑的质量。其中，弹簧具有第一和第二层，以及第一和第二电极。第一和第二层位于第一和第二电极之间，并且相反极化的第一和第二层形成双压电晶片。

3. 发明申请

US20090294879A1 Method for Capping a MEMS Wafer 有权
标题翻译：封装MEMS晶圆的方法
公开(公告)号：US20090294879A1
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：US12468185
申请日：2009-05-19
申请人： Milind Bhagavat , Erik Tarvin , Firas Sammoura , Kuang Yang , Andrew Sparks
发明人： Milind Bhagavat , Erik Tarvin , Firas Sammoura , Kuang Yang , Andrew Sparks
IPC分类号： H01L29/84 , H01L21/50
CPC分类号： H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C1/00293 , B81C2203/0109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A method for capping a MEMS wafer to form a hermetically sealed device. The method includes applying a glass bonding agent to the cap wafer and burning off organic material in the glass bonding agent. The cap wafer/glass bonding agent combination is then cleaned to reduce lead in the combination. The cleaning is preferably accomplished using an oxygen plasma. The MEMS device is coated with a WASA agent. The cap wafer is then bonded to the MEMS wafer by heating this combination in a capping gas atmosphere of hydrogen molecules in a gas such as nitrogen, argon or neon. This method of capping the MEMS wafer can reduce stiction in the MEMS device.
摘要翻译：一种用于封装MEMS晶片以形成密封装置的方法。该方法包括将玻璃粘合剂施加到盖晶片上并在玻璃粘合剂中烧掉有机材料。然后清洁盖片/玻璃粘合剂组合以减少组合中的铅。清洁优选使用氧等离子体实现。 MEMS器件涂覆有WASA试剂。然后通过在诸如氮气，氩气或氖气体中的氢分子的封盖气体气氛中加热该组合，将盖晶片结合到MEMS晶片。这种封装MEMS晶片的方法可以降低MEMS器件中的静电。

4. 发明授权

US08058144B2 Method for capping a MEMS wafer 有权
标题翻译：封装MEMS晶圆的方法
公开(公告)号：US08058144B2
公开(公告)日：2011-11-15
申请号：US12468185
申请日：2009-05-19
申请人： Milind Bhagavat , Erik Tarvin , Firas Sammoura , Kuang Yang , Andrew Sparks
发明人： Milind Bhagavat , Erik Tarvin , Firas Sammoura , Kuang Yang , Andrew Sparks
IPC分类号： H01L21/46 , C03B29/00
CPC分类号： H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C1/00293 , B81C2203/0109 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A method for capping a MEMS wafer to form a hermetically sealed device. The method includes applying a glass bonding agent to the cap wafer and burning off organic material in the glass bonding agent. The cap wafer/glass bonding agent combination is then cleaned to reduce lead in the combination. The cleaning is preferably accomplished using an oxygen plasma. The MEMS device is coated with a WASA agent. The cap wafer is then bonded to the MEMS wafer by heating this combination in a capping gas atmosphere of hydrogen molecules in a gas such as nitrogen, argon or neon. This method of capping the MEMS wafer can reduce stiction in the MEMS device.
摘要翻译：一种用于封装MEMS晶片以形成密封装置的方法。该方法包括将玻璃粘合剂施加到盖晶片上并在玻璃粘合剂中烧掉有机材料。然后清洁盖片/玻璃粘合剂组合以减少组合中的铅。清洁优选使用氧等离子体实现。 MEMS器件涂覆有WASA试剂。然后通过在诸如氮气，氩气或氖气体中的氢分子的封盖气体气氛中加热该组合，将盖晶片结合到MEMS晶片。这种封装MEMS晶片的方法可以降低MEMS器件中的静电。

5. 发明申请

US20100242604A1 MEMS Device with Opposite Polarity Spring Bimorph 有权
标题翻译：具有相反极性的MEMS器件弹簧双压电晶片
公开(公告)号：US20100242604A1
公开(公告)日：2010-09-30
申请号：US12413196
申请日：2009-03-27
申请人： Firas Sammoura , Kuang Yang
发明人： Firas Sammoura , Kuang Yang
IPC分类号： G01P15/09 , H01L29/66
CPC分类号： G01P15/0922 , G01C19/5642 , G01P15/18 , G01P2015/084
摘要： A MEMS device has a mass supported at least in part by a spring. Among other things, the spring has first and second layers, and first and a second electrodes. The first and second layers are between the first and second electrodes, and the first and second layers, which are oppositely polarized, form a bimorph.
摘要翻译： MEMS器件具有至少部分由弹簧支撑的质量。其中，弹簧具有第一和第二层，以及第一和第二电极。第一和第二层位于第一和第二电极之间，并且相反极化的第一和第二层形成双压电晶片。

6. 发明授权

US09045328B2 Method for wafer-level surface micromachining to reduce stiction 有权
标题翻译：晶圆级微机械加工技术降低静摩擦的方法
公开(公告)号：US09045328B2
公开(公告)日：2015-06-02
申请号：US13331582
申请日：2011-12-20
申请人： Fang Liu , Kuang Yang
发明人： Fang Liu , Kuang Yang
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0005 , B81B3/0018 , B81C2201/112 , Y10T428/24355 , Y10T428/24521
摘要： An array of microbumps with a layer or coating of non-superhydrophobic material yields a superhydrophobic surface, and may also have a contact angle hysteresis of 15 degrees or less. A surface with such an array may therefore be rendered superhydrophobic even though the surface structure and materials are not, by themselves, superhydrophobic.
摘要翻译：具有非超疏水材料层或涂层的微丸阵列产生超疏水表面，并且还可具有15度或更小的接触角滞后。因此，即使表面结构和材料本身不是超疏水的，具有这种阵列的表面也可能变得超疏水。

7. 发明申请

US20050015373A1 Object management system and method 审中-公开
标题翻译：对象管理系统和方法
公开(公告)号：US20050015373A1
公开(公告)日：2005-01-20
申请号：US10712089
申请日：2003-11-14
申请人： Kuang Yang
发明人： Kuang Yang
IPC分类号： G06F7/00 , G06F15/163 , G06Q10/00
CPC分类号： G06Q10/00
摘要： An object management system and method. The system includes an object access interface, a resource management module, an access management module and an object management module. The object access interface receives an access request, from an entity, including at least identification of the entity, a source port, object information and access content. The resource management module assigns a command handler to the access request. The access management module determines authority for the access request. The object management module performs a procedure corresponding to the access content on the object designated by the object information. After the procedure is finished, the command handler is released.
摘要翻译：一种对象管理系统和方法。该系统包括对象访问接口，资源管理模块，访问管理模块和对象管理模块。对象访问接口从实体接收至少包括实体的标识，源端口，对象信息和访问内容的访问请求。资源管理模块为访问请求分配一个命令处理程序。访问管理模块确定访问请求的权限。对象管理模块执行与由对象信息指定的对象上的访问内容相对应的过程。程序完成后，命令处理程序将被释放。

8. 发明申请

US20130157005A1 Method for Wafer-Level Surface Micromachining to Reduce Stiction 有权
标题翻译：晶圆表面微机械加工技术降低线性度的方法
公开(公告)号：US20130157005A1
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：US13331582
申请日：2011-12-20
申请人： Fang Liu , Kuang Yang
发明人： Fang Liu , Kuang Yang
IPC分类号： B32B3/30 , B05D3/10
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0005 , B81B3/0018 , B81C2201/112 , Y10T428/24355 , Y10T428/24521
摘要： An array of microbumps with a layer or coating of non-superhydrophobic material yields a superhydrophobic surface, and may also have a contact angle hysteresis of 15 degrees or less. A surface with such an array may therefore be rendered superhydrophobic even though the surface structure and materials are not, by themselves, superhydrophobic.
摘要翻译：具有非超疏水材料层或涂层的微丸阵列产生超疏水表面，并且还可具有15度或更小的接触角滞后。因此，即使表面结构和材料本身不是超疏水的，具有这种阵列的表面也可能变得超疏水。

9. 发明申请

US20110073967A1 APPARATUS AND METHOD OF FORMING A MEMS ACOUSTIC TRANSDUCER WITH LAYER TRANSFER PROCESSES 审中-公开
标题翻译：使用层传输方法形成MEMS声学传感器的装置和方法
公开(公告)号：US20110073967A1
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：US12870266
申请日：2010-08-27
申请人： Li Chen , Kuang Yang
发明人： Li Chen , Kuang Yang
IPC分类号： H01L29/84 , H01L21/02
CPC分类号： H01L29/84 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2207/015 , B81C1/00246 , H01L21/2007 , H01L27/1203 , H01L28/10 , H04R19/005 , H04R2201/003
摘要： A method of forming a MEMS microphone forms circuitry and first MEMS microstructure on a first wafer in a first process, and second MEMS microstructure on a second wafer in a second process. The first process is thermally isolated from the second process. The method also layer transfers the second MEMS microstructure onto the first wafer. The first MEMS microstructure and second MEMS microstructure thus form a variable capacitor that communicates with the circuitry on the first wafer.
摘要翻译：形成MEMS麦克风的方法在第一工艺中在第一晶片上形成电路和第一MEMS微结构，并且在第二工艺中在第二晶片上形成第二MEMS微结构。第一个过程与第二个过程热隔离。该方法还将第二MEMS微结构转移到第一晶片上。因此，第一MEMS微结构和第二MEMS微结构形成与第一晶片上的电路通信的可变电容器。

10. 发明申请

US20050287740A1 System and method of forming a split-gate flash memory cell 审中-公开
标题翻译：形成分闸快闪存储单元的系统和方法
公开(公告)号：US20050287740A1
公开(公告)日：2005-12-29
申请号：US10875429
申请日：2004-06-24
申请人： Michael Wu , Eugene Chu , Fei Chen , Yuh-Hwa Chang , David Ho , Kuang Yang , Eric Chao
发明人： Michael Wu , Eugene Chu , Fei Chen , Yuh-Hwa Chang , David Ho , Kuang Yang , Eric Chao
IPC分类号： H01L21/28 , H01L21/336 , H01L29/423
CPC分类号： H01L29/42324 , H01L29/40114
摘要： A system and method for forming a split-gate flash memory cell is disclosed. In one example, a method for forming a semiconductor device includes: supplying a substrate; forming a floating gate with alternate etch and passivation steps; and forming a control gate proximate to and partially overlying the floating gate.
摘要翻译：公开了一种用于形成分裂栅极闪存单元的系统和方法。在一个示例中，形成半导体器件的方法包括：提供衬底; 用交替的蚀刻和钝化步骤形成浮栅; 以及形成靠近并部分地覆盖浮置栅极的控制栅极。

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