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    • 1. 发明授权
    • Charged particle beam drawing method and apparatus
    • 带电粒子束的绘制方法和装置
    • US08188449B2
    • 2012-05-29
    • US12816773
    • 2010-06-16
    • Hayato ShibataHitoshi HigurashiAkihito AnpoJun YashimaShigehiro HaraSusumu Oogi
    • Hayato ShibataHitoshi HigurashiAkihito AnpoJun YashimaShigehiro HaraSusumu Oogi
    • G21K5/10G06F19/00
    • H01J37/3026B82Y10/00B82Y40/00H01J37/3174
    • A charged particle beam drawing apparatus for drawing patterns corresponding to figures in a drawing data, has a portion for dividing a drawing area on the workpiece into block frames, a portion for combining at least a first block frame and a second block frame into a virtual block frame, and a portion for transferring a data of the virtual block frame from an input data dividing module to a common memory of a first converter and a second converter. The first converter converts a data of a first figure included in the first block frame into a first drawing apparatus internal format data. The second converter converts a data of a second figure included in the second block frame into a second drawing apparatus internal format data. The first figure and the second figure are included in a cell extending over the first block frame and the second block frame.
    • 用于绘制与绘图数据中的图形对应的图案的带电粒子束描绘装置具有用于将工件上的绘图区域划分成块框架的部分,用于将至少第一块框架和第二块框架组合成虚拟的部分 以及用于将虚拟块帧的数据从输入数据划分模块传送到第一转换器和第二转换器的公共存储器的部分。 第一转换器将包括在第一块帧中的第一图形的数据转换成第一绘图装置内部格式数据。 第二转换器将包括在第二块帧中的第二图形的数据转换为第二绘图装置内部格式数据。 第一图和第二图被包括在延伸超过第一块帧和第二块帧的单元中。