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    • 7. 发明授权
    • Photo-imageable compositions of norbornene and acrylate copolymers and use thereof
    • 降冰片烯和丙烯酸酯共聚物的可光成像组合物及其用途
    • US07087691B2
    • 2006-08-08
    • US10614502
    • 2003-07-07
    • Larry F. RhodesLarry SegerAyusman SenApril Hennis Marchetti
    • Larry F. RhodesLarry SegerAyusman SenApril Hennis Marchetti
    • G03C1/492
    • C08F32/08C08F4/80C08F20/12C08F232/08C08G61/08C08F2220/1825C08F220/14
    • Embodiments in accordance with the present invention encompass photo-imageable compositions that include polymers of acrylate-type monomers and norbornene-type monomers. In some embodiments a catalyst system comprising a cationic or a neutral Pd(II) dimer component having the formula (Allyl)Pd(P(R21)3) or (L′)[(L)Pd(R)(X)]2, respectively is employed to effect polymerization. In other embodiments a free radical or living free radical catalyst is employed to effect polymerization. At least one of the acrylate-type monomers and norbornene-type monomers of the polymer embodiments of the present invention encompass an acid labile moiety. Some polymer embodiments of the present invention include more than one type of acrylate-type monomer and norbornene-type monomer. Embodiments of the present invention include forming a patterned layer on a substrate and some embodiments include transferring the patterned structure to a material layer first formed on the substrate.
    • 根据本发明的实施方案包括可包含丙烯酸酯类单体和降冰片烯型单体的聚合物的光可成像组合物。 在一些实施方案中,包含具有式(烯丙基)Pd(P(R 21)3))的阳离子或中性Pd(II)二聚体组分的催化剂体系或(L ')[(L)Pd(R)(X)] 2 N 2分别用于进行聚合。 在其它实施方案中,使用自由基或活性自由基催化剂来进行聚合。 本发明的聚合物实施方案中的至少一种丙烯酸酯类单体和降冰片烯型单体包括酸不稳定部分。 本发明的一些聚合物实施方案包括多于一种类型的丙烯酸酯型单体和降冰片烯型单体。 本发明的实施例包括在衬底上形成图案化层,并且一些实施例包括将图案化结构转移到首先形成在衬底上的材料层。