会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 56. 发明授权
    • Metal-semiconductor intermixed regions
    • 金属半导体混合区域
    • US08278200B2
    • 2012-10-02
    • US13012043
    • 2011-01-24
    • Christian LavoieTak H. NingAhmet S. OzcanBin YangZhen Zhang
    • Christian LavoieTak H. NingAhmet S. OzcanBin YangZhen Zhang
    • H01L21/20
    • H01L21/28518
    • In one exemplary embodiment, a program storage device readable by a machine, tangibly embodying a program of instructions executable by the machine for performing operations, said operations including: depositing a first layer having a first metal on a surface of a semiconductor structure, where depositing the first layer creates a first intermix region at an interface of the first layer and the semiconductor structure; removing a portion of the deposited first layer to expose the first intermix region; depositing a second layer having a second metal on the first intermix region, where depositing the second layer creates a second intermix region at an interface of the second layer and the first intermix region; removing a portion of the deposited second layer to expose the second intermix region; and performing at least one anneal on the semiconductor structure.
    • 在一个示例性实施例中,一种可由机器读取的程序存储设备,其有形地体现了可由机器执行的用于执行操作的指令程序,所述操作包括:在半导体结构的表面上沉积具有第一金属的第一层, 第一层在第一层和半导体结构的界面处形成第一混合区; 去除沉积的第一层的一部分以暴露第一混合区; 在所述第一混合区域上沉积具有第二金属的第二层,其中沉积所述第二层在所述第二层和所述第一混合区的界面处产生第二混合区; 去除沉积的第二层的一部分以暴露第二混合区; 以及在所述半导体结构上执行至少一个退火。