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    • 92. 发明申请
    • Lithographic apparatus and method for calibrating the same
    • 平版印刷设备及其校准方法
    • US20060023178A1
    • 2006-02-02
    • US11179665
    • 2005-07-13
    • Erik LoopstraLeon LevasierRene Oesterholt
    • Erik LoopstraLeon LevasierRene Oesterholt
    • G03B27/42
    • G03F7/70775G03F7/70458G03F7/70516G03F9/7011G03F9/7019
    • Lithographic apparatus includes a substrate table and a motion control system for controlling a movement of the substrate table. The motion control system includes at least 3 position detectors constructed for detecting a position of the substrate table. For measuring a position and orientation of the substrate table, each position detector comprises an optical encoder of a single dimensional or multi dimensional type, the optical encoders being arranged for providing together at least 6 position values, at least one position value being provided for each of the 3 dimensions. Some of the optical encoders may be connected to the substrate table at different locations in the 3 dimensional coordinate system. The motion control system is arranged to calculate the position of the substrate table in the 3 dimensional coordinate system from a subset of at least 3 of the 6 position values and to calculate an orientation of the substrate table with respect to the coordinate system from another subset of at least 3 of the 6 position values. Further, a method for calibrating the position detectors is presented.
    • 光刻设备包括用于控制衬底台的移动的衬底台和运动控制系统。 运动控制系统包括构造用于检测衬底台的位置的至少3个位置检测器。 为了测量衬底台的位置和取向,每个位置检测器包括一维或多维类型的光学编码器,光学编码器被布置为一起提供至少6个位置值,为每个位置值提供至少一个位置值 的三维。 一些光学编码器可以在三维坐标系中的不同位置处连接到基板台。 运动控制系统被布置为从6个位置值中的至少3个的子集计算三维坐标系中的衬底台的位置,并且从另一个子集计算相对于坐标系的衬底台的取向 至少6个位置值中的3个。 此外,提出了一种用于校准位置检测器的方法。