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    • 10. 发明专利
    • 蒸鍍遮罩
    • 蒸镀遮罩
    • TW201921099A
    • 2019-06-01
    • TW107144160
    • 2016-02-05
    • 日商大日本印刷股份有限公司DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
    • 池永知加雄IKENAGA,CHIKAO
    • G03F1/68G03F1/50C23C14/24
    • 提供將形成有具有複雜形狀的貫通孔的蒸鍍 遮罩利用鍍層處理而製造的方法。 蒸鍍遮罩製造方法,係具備:在具有絕 緣性的基板上形成依既定圖案設有第1開口部的第1金屬層的第1成膜程序;以及將設有連通於第1開口部的第2開口部的第2金屬層形成於第1金屬層上的第2成膜程序。第2成膜程序,係包含:在基板上及第1金屬層上,騰出既定間隙而形成抗蝕圖案的抗蝕層形成程序;以及於抗蝕圖案之間隙在第1金屬層上使第2金屬層的鍍層處理程序。抗蝕層形成程序,係實施成:第1金屬層的第1開口部由抗蝕層圖案所覆蓋,同時抗蝕圖案之間隙位於第1金屬層上。
    • 提供将形成有具有复杂形状的贯通孔的蒸镀 遮罩利用镀层处理而制造的方法。 蒸镀遮罩制造方法,系具备:在具有绝 缘性的基板上形成依既定图案设有第1开口部的第1金属层的第1成膜进程;以及将设有连通于第1开口部的第2开口部的第2金属层形成于第1金属层上的第2成膜进程。第2成膜进程,系包含:在基板上及第1金属层上,腾出既定间隙而形成抗蚀图案的抗蚀层形成进程;以及于抗蚀图案之间隙在第1金属层上使第2金属层的镀层处理进程。抗蚀层形成进程,系实施成:第1金属层的第1开口部由抗蚀层图案所覆盖,同时抗蚀图案之间隙位于第1金属层上。