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热词
    • 3. 发明专利
    • 閃光燈同步器
    • 闪光灯同步器
    • TW201349938A
    • 2013-12-01
    • TW101119904
    • 2012-06-04
    • 鴻海精密工業股份有限公司HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
    • 李佳LI, JIA
    • H05B41/30G03B15/03
    • 一種閃光燈同步器,包括一熱靴插口、一穩壓電路、第一至第三電阻、第一及第二電容、一三極體及一矽光電池,該穩壓電路的一端接地,另一端與熱靴插口的正端相連,以為熱靴插口提供工作電壓,該穩壓電路還透過第一電阻與三極體的基極相連,該三極體的基極與第一電阻之間的節點依序透過第一電容及第二電容與矽光電池的陽極相連,該三極體的基極與第一電阻之間的節點還依序透過第二電阻及第三電阻與第一及第二電容之間的節點相連,該矽光電池的陰極與熱靴插口的負端相連,該熱靴插口的負端接地。
    • 一种闪光灯同步器,包括一热靴插口、一稳压电路、第一至第三电阻、第一及第二电容、一三极管及一硅光电池,该稳压电路的一端接地,另一端与热靴插口的正端相连,以为热靴插口提供工作电压,该稳压电路还透过第一电阻与三极管的基极相连,该三极管的基极与第一电阻之间的节点依序透过第一电容及第二电容与硅光电池的阳极相连,该三极管的基极与第一电阻之间的节点还依序透过第二电阻及第三电阻与第一及第二电容之间的节点相连,该硅光电池的阴极与热靴插口的负端相连,该热靴插口的负端接地。
    • 10. 发明专利
    • 熱處理方法及熱處理裝置
    • 热处理方法及热处理设备
    • TW201642323A
    • 2016-12-01
    • TW105114332
    • 2016-05-09
    • 思可林集團股份有限公司SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
    • 布施和彥FUSE, KAZUHIKO
    • H01L21/265H01L21/324H05B41/30
    • H01L21/324H01L21/67115H01L21/67248H01L21/68742H05B1/0233H05B3/0047
    • 本發明提供一種可防止基板之周緣部之相對性溫度降低之熱處理方法及熱處理裝置。 對半導體晶圓照射閃光式光之複數個閃光燈FL係平面狀地排列。將複數個閃光燈FL之排列分割為包含與成為處理對象之半導體晶圓之中央部對向之區域之中央區域Z1及較其更靠外側之周緣區域Z2之2個區域。於閃光式光照射時,使屬於周緣區域Z2之閃光燈FL之發光時間較屬於中央區域Z1之閃光燈FL之發光時間長。藉此,照射至相對上容易產生溫度降低之半導體晶圓W之周緣部之閃光式光之光量較中央部變多,可防止閃光燈加熱時之半導體晶圓之周緣部之相對性溫度降低。
    • 本发明提供一种可防止基板之周缘部之相对性温度降低之热处理方法及热处理设备。 对半导体晶圆照射闪光式光之复数个闪光灯FL系平面状地排列。将复数个闪光灯FL之排列分割为包含与成为处理对象之半导体晶圆之中央部对向之区域之中央区域Z1及较其更靠外侧之周缘区域Z2之2个区域。于闪光式光照射时,使属于周缘区域Z2之闪光灯FL之发光时间较属于中央区域Z1之闪光灯FL之发光时间长。借此,照射至相对上容易产生温度降低之半导体晶圆W之周缘部之闪光式光之光量较中央部变多,可防止闪光灯加热时之半导体晶圆之周缘部之相对性温度降低。