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1. 发明专利

TW202014679A 可多重模式組態之光譜儀、其操作方法及包括其之光學監測系統审中-公开
简体标题：可多重模式组态之光谱仪、其操作方法及包括其之光学监测系统
公开(公告)号：TW202014679A
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：TW109100071
申请日：2018-03-31
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：布洛克賴瑞阿洛斯 , BULLOCK, LARRY ARLOS , 柯雷斯約翰 D , CORLESS, JOHN D. , 達紐爾特理查 J 二世 , DAIGNAULT, RICHARD J., JR. , 梅洛尼馬克安東尼 , MELONI, MARK ANTHONY , 威廉麥克 , WHELAN, MIKE
IPC分类号： G01J3/10 , G01J3/28 , H04N5/30
摘要：本發明提供一種可多重模式組態之光譜儀、一種操作一可多重模式組態之光譜儀之方法及一種光學監測系統。在一實施例中，該可多重模式組態之光譜儀包含：(1)一光學感測器，其經組態以接收一光學輸入且將該光學輸入轉換成電信號，其中該光學感測器包含用於將該光學輸入轉換成該等電信號之多個主動像素區域；及(2)轉換電路系統，其具有多個可選擇轉換電路，該轉換電路系統經組態以接收該等電信號且根據該等可選擇轉換電路之一選定者將該等電信號轉換成一數位輸出。
简体摘要：本发明提供一种可多重模式组态之光谱仪、一种操作一可多重模式组态之光谱仪之方法及一种光学监测系统。在一实施例中，该可多重模式组态之光谱仪包含：(1)一光学传感器，其经组态以接收一光学输入且将该光学输入转换成电信号，其中该光学传感器包含用于将该光学输入转换成该等电信号之多个主动像素区域；及(2)转换电路系统，其具有多个可选择转换电路，该转换电路系统经组态以接收该等电信号且根据该等可选择转换电路之一选定者将该等电信号转换成一数码输出。

2. 发明专利

TWI684749B 可多重模式組態之光譜儀、其操作方法及包括其之光學監測系統有权
简体标题：可多重模式组态之光谱仪、其操作方法及包括其之光学监测系统
公开(公告)号：TWI684749B
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：TW107111430
申请日：2018-03-31
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：布洛克賴瑞阿洛斯 , BULLOCK, LARRY ARLOS , 柯雷斯約翰 D , CORLESS, JOHN D. , 達紐爾特理查 J 二世 , DAIGNAULT, RICHARD J., JR. , 梅洛尼馬克安東尼 , MELONI, MARK ANTHONY , 威廉麥克 , WHELAN, MIKE
IPC分类号： G01J3/10 , G01J3/28 , H04N5/30

3. 发明专利

TWI673488B 用於對與一處理腔室相關聯之光學信號進行腔室內校準之光學校準裝置及用於電漿處理腔室之表徵系統有权
简体标题：用于对与一处理腔室相关联之光学信号进行腔室内校准之光学校准设备及用于等离子处理腔室之表征系统
公开(公告)号：TWI673488B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：TW106139259
申请日：2017-11-14
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫尼安德魯維克斯 , KUENY, ANDREW WEEKS , 威廉麥克 , WHELAN, MIKE , 梅洛尼馬克安東尼 , MELONI, MARK ANTHONY , 柯雷斯約翰 D , CORLESS, JOHN D. , 戴格諾特瑞克 , DAIGNAULT, RICK , 萊諾斯尚恩 , LYNES, SEAN
IPC分类号： G01N21/27 , G01N21/66 , G01J3/28 , G01J3/443 , H01J37/32 , H05H1/00 , H01L21/66 , H01L21/68

4. 发明专利

TW201835585A 用於複合結構之量測之系統與方法审中-公开
简体标题：用于复合结构之量测之系统与方法
公开(公告)号：TW201835585A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW107104543
申请日：2018-02-08
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫尼安德魯維克斯 , KUENY, ANDREW WEEKS
IPC分类号： G01R31/26 , G01N21/88
摘要：本發明提供一種用於簡化複合半導體結構之各種性質之量測之系統與使用方法。該系統與方法支援結構複雜性之降低及模型化以用於光學監測，且准許在半導體製造程序期間判定膜厚度及特徵深度。
简体摘要：本发明提供一种用于简化复合半导体结构之各种性质之量测之系统与使用方法。该系统与方法支持结构复杂性之降低及模型化以用于光学监测，且准许在半导体制造进程期间判定膜厚度及特征深度。

5. 发明专利

TW201947627A 用於光學感測器之信號轉換系統审中-公开
简体标题：用于光学传感器之信号转换系统
公开(公告)号：TW201947627A
公开(公告)日：2019-12-16
申请号：TW108115381
申请日：2019-05-03
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：布洛克賴瑞阿洛斯 , BULLOCK, LARRY ARLOS
IPC分类号： H01J3/10 , H01J3/28 , H04N5/30
摘要：本發明提供一種光學儀器、一種將一光學輸入轉換為一數位信號輸出之方法，及一種光譜儀。在一個實施例中，該光學儀器包括：(1)一光學感測器，其經組態以接收一光學輸入且將該光學輸入轉換為電信號；及(2)一轉換系統，其具有：轉換電路，其具有經組態以接收該等電信號且將該等電信號修改為類比輸出之多個並行信號通道；一類比開關，其經組態以根據該光學儀器之一操作模式而選擇該等並行信號通道中之一者；及一類比轉數位轉換器，其經組態以自該所選並行信號通道接收該類比輸出且將該類比輸出轉換為一數位信號輸出。
简体摘要：本发明提供一种光学仪器、一种将一光学输入转换为一数码信号输出之方法，及一种光谱仪。在一个实施例中，该光学仪器包括：(1)一光学传感器，其经组态以接收一光学输入且将该光学输入转换为电信号；及(2)一转换系统，其具有：转换电路，其具有经组态以接收该等电信号且将该等电信号修改为模拟输出之多个并行信号信道；一模拟开关，其经组态以根据该光学仪器之一操作模式而选择该等并行信号信道中之一者；及一模拟转数码转换器，其经组态以自该所选并行信号信道接收该模拟输出且将该模拟输出转换为一数码信号输出。

6. 发明专利

TW201842310A 可多重模式組態之光譜儀审中-公开
简体标题：可多重模式组态之光谱仪
公开(公告)号：TW201842310A
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW107111430
申请日：2018-03-31
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：布洛克賴瑞阿洛斯 , BULLOCK, LARRY ARLOS , 柯雷斯約翰 D , CORLESS, JOHN D. , 達紐爾特理查 J 二世 , DAIGNAULT, RICHARD J., JR. , 梅洛尼馬克安東尼 , MELONI, MARK ANTHONY , 威廉麥克 , WHELAN, MIKE
IPC分类号： G01J3/10 , G01J3/28 , H04N5/30
摘要：本發明提供一種可多重模式組態之光譜儀、一種操作一可多重模式組態之光譜儀之方法及一種光學監測系統。在一實施例中，該可多重模式組態之光譜儀包含：(1)一光學感測器，其經組態以接收一光學輸入且將該光學輸入轉換成電信號，其中該光學感測器包含用於將該光學輸入轉換成該等電信號之多個主動像素區域；及(2)轉換電路系統，其具有多個可選擇轉換電路，該轉換電路系統經組態以接收該等電信號且根據該等可選擇轉換電路之一選定者將該等電信號轉換成一數位輸出。
简体摘要：本发明提供一种可多重模式组态之光谱仪、一种操作一可多重模式组态之光谱仪之方法及一种光学监测系统。在一实施例中，该可多重模式组态之光谱仪包含：(1)一光学传感器，其经组态以接收一光学输入且将该光学输入转换成电信号，其中该光学传感器包含用于将该光学输入转换成该等电信号之多个主动像素区域；及(2)转换电路系统，其具有多个可选择转换电路，该转换电路系统经组态以接收该等电信号且根据该等可选择转换电路之一选定者将该等电信号转换成一数码输出。

7. 发明专利

TW201833532A 用於校準半導體製程系統中的光學信號之系統及方法审中-公开
简体标题：用于校准半导体制程系统中的光学信号之系统及方法
公开(公告)号：TW201833532A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106139259
申请日：2017-11-14
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫尼安德魯維克斯 , KUENY, ANDREW WEEKS , 威廉麥克 , WHELAN, MIKE , 梅洛尼馬克安東尼 , MELONI, MARK ANTHONY , 柯雷斯約翰 D , CORLESS, JOHN D. , 戴格諾特瑞克 , DAIGNAULT, RICK , 萊諾斯尚恩 , LYNES, SEAN
IPC分类号： G01N21/27 , G01N21/66 , G01J3/28 , G01J3/443 , H01J37/32 , H05H1/00 , H01L21/66 , H01L21/68
摘要：本發明提供一種用於對與一處理腔室相關聯之光學信號進行腔室內校準之光學校準裝置、一種用於電漿處理腔室之表徵系統、表徵電漿處理腔室之方法及一種腔室表徵器。在一項實例中，該光學校準裝置包含：(1)一殼體，(2)一光源，其位於該殼體內且經組態以提供具有一連續光譜之一源光，及(3)光學塑形元件，其位於該殼體內且經組態以在該處理腔室內之一操作期間將該源光形成為模擬一電漿發射之一校準光。
简体摘要：本发明提供一种用于对与一处理腔室相关联之光学信号进行腔室内校准之光学校准设备、一种用于等离子处理腔室之表征系统、表征等离子处理腔室之方法及一种腔室表征器。在一项实例中，该光学校准设备包含：(1)一壳体，(2)一光源，其位于该壳体内且经组态以提供具有一连续光谱之一源光，及(3)光学塑形组件，其位于该壳体内且经组态以在该处理腔室内之一操作期间将该源光形成为仿真一等离子发射之一校准光。

8. 发明专利

TWI635780B 閃光燈控制系統有权
简体标题：闪光灯控制系统
公开(公告)号：TWI635780B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：TW106117773
申请日：2016-03-24
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：布洛克賴瑞阿洛斯 , BULLOCK,LARRY ARLOS , 柯雷斯約翰 D , CORLESS,JOHN D. , 梅洛尼馬克安東尼 , MELONI,MARK ANTHONY , 惠倫麥克 , WHELAN,MIKE
IPC分类号： H05B41/30

9. 发明专利

TWI679404B 基於可適應性模組化光學感測器的製程控制系統及其操作方法有权
简体标题：基于可适应性模块化光学传感器的制程控制系统及其操作方法
公开(公告)号：TWI679404B
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：TW107121395
申请日：2018-06-22
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：萊諾斯尚恩 , LYNES, SEAN , 達紐爾特理查 J 二世 , DAIGNAULT, RICHARD J., JR. , 辜智勇 , GU, ZHIYONG , 陳洪 , CHEN, HONG
IPC分类号： G01J3/30 , H01L21/66

10. 发明专利

TWI674419B 用於複合結構之量測之系統與方法有权
简体标题：用于复合结构之量测之系统与方法
公开(公告)号：TWI674419B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：TW107104543
申请日：2018-02-08
申请人：美商梅瑞堤儀器公司 , VERITY INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫尼安德魯維克斯 , KUENY, ANDREW WEEKS
IPC分类号： G01R31/26 , G01N21/88

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