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    • 2. 发明专利
    • 高度檢測裝置及雷射加工裝置
    • 高度检测设备及激光加工设备
    • TW201921546A
    • 2019-06-01
    • TW107126860
    • 2018-08-02
    • 日商迪思科股份有限公司DISCO CORPORATION
    • 能丸圭司NOMARU, KEIJI澤邊大樹SAWABE, TAIKI木村展之KIMURA, NOBUYUKI
    • H01L21/67B23K26/06H01S3/10H01S5/02
    • [課題]本發明的課題是提供一種即使在被加工物的上表面積層有氧化膜或絶緣膜等的膜的情況下,也可以適當地檢測上表面的高度之高度檢測裝置。 [解決手段]為分光干涉型的高度檢測裝置,並具備有保持被加工物的工作夾台、以及檢測保持在該工作夾台的被加工物的上表面高度的高度檢測單元。該高度檢測單元包含:光源,將具有規定寬度的波長帶之光射出到第1光路;聚光器,配設於該第1光路並且將光聚光於保持在該工作夾台的被加工物;光束分離器,配設在該光源與該聚光器之間且將該第1光路之光分歧到第2光路;鏡子,配設於該第2光路並且生成作為基本的光路長度而將光反射到該第2光路且經由該光束分離器讓光返回該第1光路;光分歧部,配設於該光束分離器與該光源之間而將在保持於該工作夾台的被加工物的上表面上反射且透過該聚光器而返回該第1光路之光、與藉由該鏡子而返回之光的干涉光從該第1光路分歧到第3光路;以及計算單元,配設於該第3光路並且依據該干涉光來計算被加工物的高度。
    • [课题]本发明的课题是提供一种即使在被加工物的上表面积层有氧化膜或绝缘膜等的膜的情况下,也可以适当地检测上表面的高度之高度检测设备。 [解决手段]为分光干涉型的高度检测设备,并具备有保持被加工物的工作夹台、以及检测保持在该工作夹台的被加工物的上表面高度的高度检测单元。该高度检测单元包含:光源,将具有规定宽度的波长带之光射出到第1光路;聚光器,配设于该第1光路并且将光聚光于保持在该工作夹台的被加工物;光束分离器,配设在该光源与该聚光器之间且将该第1光路之光分歧到第2光路;镜子,配设于该第2光路并且生成作为基本的光路长度而将光反射到该第2光路且经由该光束分离器让光返回该第1光路;光分歧部,配设于该光束分离器与该光源之间而将在保持于该工作夹台的被加工物的上表面上反射且透过该聚光器而返回该第1光路之光、与借由该镜子而返回之光的干涉光从该第1光路分歧到第3光路;以及计算单元,配设于该第3光路并且依据该干涉光来计算被加工物的高度。