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    • 6. 发明专利
    • 感放射線性組成物、硬化膜、硬化膜的製造方法及顯示元件
    • 感放射线性组成物、硬化膜、硬化膜的制造方法及显示组件
    • TW202008079A
    • 2020-02-16
    • TW108125969
    • 2019-07-23
    • 日商JSR股份有限公司JSR CORPORATION
    • 工藤和生KUDOU, KAZUNARI成子朗人NARUKO, AKITO松本晃幸MATSUMOTO, TERUYUKI
    • G03F7/075G03F7/033H01L21/027G02F1/1333H01L27/32
    • 本發明提供一種保存穩定性優異、PCD裕度及PED裕度高的感放射線性組成物,其可形成相對介電常數低的硬化膜。一種感放射線性組成物,其含有聚合物成分(A)及感放射線性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自馬來醯亞胺的結構單元(I)及含有式(II-1)所表示的基的結構單元(II)。 [R1、R2、R3分別獨立地為氫原子、烷基、脂環式烴基、芳基、這些基所具有的氫原子的一部分或全部經取代基所取代的基、或者-SiRA3;RA分別獨立地為碳數1~10的烷基;Q1為酯鍵、或者-Ar1-O-所表示的二價基(Ar1為伸芳基、或者伸芳基所具有的氫原子的一部分或全部經取代基所取代的基)]
    • 本发明提供一种保存稳定性优异、PCD裕度及PED裕度高的感放射线性组成物,其可形成相对介电常数低的硬化膜。一种感放射线性组成物,其含有聚合物成分(A)及感放射线性化合物(B),所述聚合物成分(A)在同一或不同的聚合物中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有式(II-1)所表示的基的结构单元(II)。 [R1、R2、R3分别独立地为氢原子、烷基、脂环式烃基、芳基、这些基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基、或者-SiRA3;RA分别独立地为碳数1~10的烷基;Q1为酯键、或者-Ar1-O-所表示的二价基(Ar1为伸芳基、或者伸芳基所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基)]