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1. 发明专利

TW201903463A 採用進階光學干涉顯微術之光學切層裝置审中-公开
简体标题：采用进阶光学干涉显微术之光学切层设备
公开(公告)号：TW201903463A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW106118559
申请日：2017-06-05
申请人：銳準醫光股份有限公司 , ACUSOLUTIONS INC.
发明人：蔡建中 , TSAI, CHIEN-CHUNG , 許光裕 , HSU, KUANG-YU
IPC分类号： G02B21/04 , G02B21/08 , G02B27/10
摘要：一種採用光學干涉顯微術及螢光顯微術之光學切層裝置，具有：一分光器，能夠使一入射光束分成一反射光束及一透射光束；一寬頻光源裝置，用以提供該入射光束；一參考端單元，用以使該透射光束經一可調光程返回該分光器；一短波光源裝置；一第一二色分光器，其第一側邊係面對該短波光源裝置，其第三側邊係面對該分光器，且其能夠使波長短於一預設波長之光束無法穿透；一物鏡，具有一平行光側以面對該第一二色分光器之所述第二側邊；一樣本承載單元，係面對該物鏡之一聚光側；以及一投影透鏡及一感測單元，用以接收該分光器之一輸出光束。
简体摘要：一种采用光学干涉显微术及萤光显微术之光学切层设备，具有：一分光器，能够使一入射光束分成一反射光束及一透射光束；一宽带光源设备，用以提供该入射光束；一参考端单元，用以使该透射光束经一可调光程返回该分光器；一短波光源设备；一第一二色分光器，其第一侧边系面对该短波光源设备，其第三侧边系面对该分光器，且其能够使波长短于一默认波长之光束无法穿透；一物镜，具有一平行光侧以面对该第一二色分光器之所述第二侧边；一样本承载单元，系面对该物镜之一聚光侧；以及一投影透镜及一传感单元，用以接收该分光器之一输出光束。

2. 发明专利

TW201907151A 彈性模式掃描光學顯微術及檢驗系統审中-公开
简体标题：弹性模式扫描光学显微术及检验系统
公开(公告)号：TW201907151A
公开(公告)日：2019-02-16
申请号：TW107116014
申请日：2018-05-11
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：巴那沙莫 , BANNA, SAMER , 畢夏拉瓦希布 , BISHARA, WAHEB , 吳棟 , WU, DONG , 費茲艾拉凡尼梅迪 , VAEZ-IRAVANI, MEHDI
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/47 , G02B21/08
摘要：一種用於彈性檢驗一試樣的方法包括以下步驟：使用一射束源形成一輸入射束；使用一輸入遮罩來阻擋該輸入射束的一部分；及從該輸入射束的一部分形成一定形射束。在一物鏡的一第一部分處接收該定形射束及將該定形射束聚焦到一試樣上。在該物鏡的一第二部分處收集一反射射束。在該物鏡的該第一部分及該第二部分處及在該物鏡的一第三部分處收集散射光。在一暗視野偵測器模組處接收該散射光，且將該散射光的一部分引導到一暗視野偵測器。該暗視野偵測器模組包括具有一或更多個輸出孔的一輸出遮罩，該一或更多個輸出孔允許該散射光穿過該物鏡的該第三部分的至少一部分穿過而作為該散射光被引導到該暗視野偵測器的該部分。
简体摘要：一种用于弹性检验一试样的方法包括以下步骤：使用一射束源形成一输入射束；使用一输入遮罩来阻挡该输入射束的一部分；及从该输入射束的一部分形成一定形射束。在一物镜的一第一部分处接收该定形射束及将该定形射束聚焦到一试样上。在该物镜的一第二部分处收集一反射射束。在该物镜的该第一部分及该第二部分处及在该物镜的一第三部分处收集散射光。在一暗视野侦测器模块处接收该散射光，且将该散射光的一部分引导到一暗视野侦测器。该暗视野侦测器模块包括具有一或更多个输出孔的一输出遮罩，该一或更多个输出孔允许该散射光穿过该物镜的该第三部分的至少一部分穿过而作为该散射光被引导到该暗视野侦测器的该部分。

3. 发明专利

TW201839454A 顯微鏡用光學系及使用彼之顯微鏡审中-公开
简体标题：显微镜用光学系及使用彼之显微镜
公开(公告)号：TW201839454A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW106122569
申请日：2017-07-05
申请人：日商水系統股份有限公司 , AQUA SYSTEM CO., LTD.
发明人：狩野清史 , KANO, KIYOFUMI , 槌田博文 , TSUCHIDA, HIROFUMI , 梶谷和男 , KAJITANI, KAZUO
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/08
摘要：本發明之課題在於提供即使把1微米級的試樣以接觸於或是鄰接於光學系之最靠物體側之面的方式配置的場合，也可以使觀察影像達成充分的對比及解析度之顯微鏡用光學系。本發明之解決手段為顯微鏡用光學系具備：照明光學系(G11)、對物光學系；對物光學系，由物體側起依序具有物鏡群(G12)、第1成像透鏡群(G13)、第2成像透鏡群(G14)；滿足以下之條件式。 NAL×2≦NAO≦NAL×15．．．(1) 0.01≦NAL≦0.1．．．(2) 25≦MO≦100．．．(3) 其中，NAL為照明光學系G11之開口數，NAO為物鏡群G12之開口數，MO為物鏡群G12之成像倍率。
简体摘要：本发明之课题在于提供即使把1微米级的试样以接触于或是邻接于光学系之最靠物体侧之面的方式配置的场合，也可以使观察影像达成充分的对比及分辨率之显微镜用光学系。本发明之解决手段为显微镜用光学系具备：照明光学系(G11)、对物光学系；对物光学系，由物体侧起依序具有物镜群(G12)、第1成像透镜群(G13)、第2成像透镜群(G14)；满足以下之条件式。 NAL×2≦NAO≦NAL×15．．．(1) 0.01≦NAL≦0.1．．．(2) 25≦MO≦100．．．(3) 其中，NAL为照明光学系G11之开口数，NAO为物镜群G12之开口数，MO为物镜群G12之成像倍率。

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