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1. 发明专利

TWI583923B 偵測角速度的微機械感測器有权
简体标题：侦测角速度的微机械传感器
公开(公告)号：TWI583923B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW105103460
申请日：2016-02-03
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：皮賴寧湯米 , PIIRAINEN, TOMMI
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/574 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747

2. 发明专利

TW201730517A 微機械旋轉速率感測器及其操作方法审中-公开
简体标题：微机械旋转速率传感器及其操作方法
公开(公告)号：TW201730517A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105137848
申请日：2016-11-18
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：霍普納克里斯堤安 , HOEPPNER, CHRISTIAN , 施米德班傑明 , SCHMIDT, BENJAMIN , 霍以克弗李德喬夫 , HEUCK, FRIEDJOF , 哈塔斯米爾科 , HATTASS, MIRKO , 普魯茲歐德雅克 , PRUETZ, ODD-AXEL , 諾爾藍哈德 , NEUL, REINHARD , 茂爾羅伯特 , MAUL, ROBERT , 謝本羅夫 , SCHEBEN, ROLF , 歐姆斯托斯頓 , OHMS, TORSTEN
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
摘要：本發明係產生一種微機械的旋轉速率感測器(100)，其係具有一第一科氏元件(110)；一第一驅動樑(113)，其係沿著該第一科氏元件(110)來加以配置，並且經由一第一彈簧(114)而被耦接至該第一科氏元件(110)；以及一第一驅動電極載體(136、137)，其係從該第一驅動樑(113)延伸在與該第一科氏元件(120)相反的方向上，並且載有複數個平行於該第一驅動樑(113)延伸的第一驅動電極(138、139)。從更進一步角度來說，一種用於操作此種微機械的旋轉速率感測器(100)之方法係加以提出。
简体摘要：本发明系产生一种微机械的旋转速率传感器(100)，其系具有一第一科氏组件(110)；一第一驱动梁(113)，其系沿着该第一科氏组件(110)来加以配置，并且经由一第一弹簧(114)而被耦接至该第一科氏组件(110)；以及一第一驱动电极载体(136、137)，其系从该第一驱动梁(113)延伸在与该第一科氏组件(120)相反的方向上，并且载有复数个平行于该第一驱动梁(113)延伸的第一驱动电极(138、139)。从更进一步角度来说，一种用于操作此种微机械的旋转速率传感器(100)之方法系加以提出。

3. 发明专利

TWI583922B 偵測角速度的微機械感測器有权
简体标题：侦测角速度的微机械传感器
公开(公告)号：TWI583922B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW105103459
申请日：2016-02-03
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：皮賴寧湯米 , PIIRAINEN, TOMMI
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/574 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747

4. 发明专利

TW201706603A 在驅動模式時具有最小化的干擾移動的轉速感應器审中-公开
简体标题：在驱动模式时具有最小化的干扰移动的转速感应器
公开(公告)号：TW201706603A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105122404
申请日：2016-07-15
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：拉瑟安德烈亞斯 , LASSL, ANDREAS , 庫曼布克哈德 , KUHLMANN, BURKHARD , 哈塔斯米爾科 , HATTASS, MIRKO , 霍普納克里斯堤安 , HOEPPNER, CHRISTIAN , 施米德班傑明 , SCHMIDT, BENJAMIN , 巴斯林克托斯頓 , BALSLINK, THORSTEN
IPC分类号： G01P15/00 , G01C19/574 , B81B7/02
CPC分类号： G01C19/5747 , B81B3/0054 , B81B2201/0228 , G01C19/5712 , G01C19/5726 , G01C19/5762
摘要：本發明提出一種轉速感應器，包括具有主延伸平面的基板及至少一相對於該基板可動的第一結構及至少一相對於該基板及該第一結構可動的第二結構，其中該轉速感應器為使得該第一結構以一大體上平行於第一軸線的運動分量自該第一結構的死點位置偏轉而包括至少一第一驅動結構，其中該轉速感應器為使得該第二結構以一大體上平行於該第一軸線的運動分量自該第二結構的死點位置偏轉而包括至少一第二驅動結構，其中該第一結構及該第二結構可受到激勵以大體上平行於該第一軸線的運動分量發生大體上反相的振動，其中該第一驅動結構以某種方式具有至少一固定在該基板上的第一彈簧，使得該第一彈簧抑制該第一結構之大體上圍繞平行於垂直於該主延伸平面延伸的第二軸線延伸的軸線的翻轉，其中該第二驅動結構以某種方式具有至少一固定在該基板上的第二彈簧，使得該第二彈簧抑制該第二結構之大體上圍繞平行於該第二軸線延伸的另一軸線的翻轉。
简体摘要：本发明提出一种转速感应器，包括具有主延伸平面的基板及至少一相对于该基板可动的第一结构及至少一相对于该基板及该第一结构可动的第二结构，其中该转速感应器为使得该第一结构以一大体上平行于第一轴线的运动分量自该第一结构的死点位置偏转而包括至少一第一驱动结构，其中该转速感应器为使得该第二结构以一大体上平行于该第一轴线的运动分量自该第二结构的死点位置偏转而包括至少一第二驱动结构，其中该第一结构及该第二结构可受到激励以大体上平行于该第一轴线的运动分量发生大体上反相的振动，其中该第一驱动结构以某种方式具有至少一固定在该基板上的第一弹簧，使得该第一弹簧抑制该第一结构之大体上围绕平行于垂直于该主延伸平面延伸的第二轴线延伸的轴线的翻转，其中该第二驱动结构以某种方式具有至少一固定在该基板上的第二弹簧，使得该第二弹簧抑制该第二结构之大体上围绕平行于该第二轴线延伸的另一轴线的翻转。

5. 发明专利

TW201631297A 偵測角速度的微機械感測器审中-公开
简体标题：侦测角速度的微机械传感器
公开(公告)号：TW201631297A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW105103460
申请日：2016-02-03
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：皮賴寧湯米 , PIIRAINEN, TOMMI
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/574 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747
摘要：一種微機械裝置包括用於雙重差動偵測圍繞垂直於該微機械裝置之一平面之一軸線的角速度之四個開放式驅動框架及四個偵測質量塊。一耦接框架系統將該等四個開放式驅動框架耦接至一同步反相驅動運動中。該等四對相鄰開放式驅動框架中之每一者之相位相反，且該等四個開放式驅動框架之線性主要運動之振幅相等。該等開放式驅動框架中之線性驅動運動之軸線為經對準的。該等開放式驅動框架之反相同步驅動運動經由一彈簧配置傳達至該等四個偵測質量塊之一反相同步驅動運動。一內部耦接槓桿系統將該等四個偵測質量塊耦接於一同步反相偵測運動中。該等四對相鄰偵測質量塊中之每一者之相位相反。該等偵測質量塊中之每一者之線性偵測運動之軸線為經對準的。
简体摘要：一种微机械设备包括用于双重差动侦测围绕垂直于该微机械设备之一平面之一轴线的角速度之四个开放式驱动框架及四个侦测质量块。一耦接框架系统将该等四个开放式驱动框架耦接至一同步反相驱动运动中。该等四对相邻开放式驱动框架中之每一者之相位相反，且该等四个开放式驱动框架之线性主要运动之振幅相等。该等开放式驱动框架中之线性驱动运动之轴线为经对准的。该等开放式驱动框架之反相同步驱动运动经由一弹簧配置传达至该等四个侦测质量块之一反相同步驱动运动。一内部耦接杠杆系统将该等四个侦测质量块耦接于一同步反相侦测运动中。该等四对相邻侦测质量块中之每一者之相位相反。该等侦测质量块中之每一者之线性侦测运动之轴线为经对准的。

6. 发明专利

TW201631296A 偵測角速度的微機械感測器审中-公开
简体标题：侦测角速度的微机械传感器
公开(公告)号：TW201631296A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW105103459
申请日：2016-02-03
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：皮賴寧湯米 , PIIRAINEN, TOMMI
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/574 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747
摘要：一種微機械裝置，其包括用於雙重差動偵測圍繞與該微機械裝置之平面對準之一單軸的角速度之四個開放式驅動框架及四個偵測質量塊。一耦接框架系統耦接該等四個開放式驅動框架使之進行一同步反相驅動運動。在四對相鄰開放式驅動框架的每一對中，兩個相鄰開放式驅動框架按彼此相反之相位移動。該等驅動框架中之每一者之線性驅動運動之軸線為經對準的。該等開放式驅動框架之反相同步驅動運動經由一彈簧配置接續成該等四個偵測質量塊之一反相同步驅動運動。一內部耦接槓桿系統耦接該等四個偵測質量塊使之進行一同步反相偵測運動。在四對相鄰偵測質量塊的每一對中，兩個相鄰偵測質量塊之相位相反。該等偵測質量塊之線性偵測運動之軸線為經對準的。
简体摘要：一种微机械设备，其包括用于双重差动侦测围绕与该微机械设备之平面对准之一单轴的角速度之四个开放式驱动框架及四个侦测质量块。一耦接框架系统耦接该等四个开放式驱动框架使之进行一同步反相驱动运动。在四对相邻开放式驱动框架的每一对中，两个相邻开放式驱动框架按彼此相反之相位移动。该等驱动框架中之每一者之线性驱动运动之轴线为经对准的。该等开放式驱动框架之反相同步驱动运动经由一弹簧配置接续成该等四个侦测质量块之一反相同步驱动运动。一内部耦接杠杆系统耦接该等四个侦测质量块使之进行一同步反相侦测运动。在四对相邻侦测质量块的每一对中，两个相邻侦测质量块之相位相反。该等侦测质量块之线性侦测运动之轴线为经对准的。

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