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1. 发明专利

TWI666164B 微機械感測器及製造微機械感測器的方法有权
简体标题：微机械传感器及制造微机械传感器的方法
公开(公告)号：TWI666164B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW104124502
申请日：2015-07-29
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 茂爾羅伯特 , MAUL, ROBERT
IPC分类号： B81B7/02 , G01P15/125 , G01C19/5733 , B81B3/00 , B81C1/00

2. 发明专利

TW202017846A 微機械構件和製造微機械構件的方法审中-公开
简体标题：微机械构件和制造微机械构件的方法
公开(公告)号：TW202017846A
公开(公告)日：2020-05-16
申请号：TW108122586
申请日：2019-06-27
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 茂爾羅伯特 , MAUL, ROBERT
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , G01C19/5733
摘要：本發明提出一種微機械構件，特別是一旋轉速率感測器，其包含具有一主延伸平面的一基板及至少一個塊狀振盪器，其中該塊狀振盪器藉助於一或多個彈簧元件安裝，以使得其可相對於該基板振盪，其特徵在於至少一個彈簧元件具有一第一彈簧子元件及一第二彈簧子元件，其中該第一彈簧子元件及該第二彈簧子元件相對於垂直於該主延伸平面之一豎直方向一個在另一個上方佈置，且在該豎直方向上彼此相距一距離。本發明進一步提出一種用於製造一微機械構件之方法。
简体摘要：本发明提出一种微机械构件，特别是一旋转速率传感器，其包含具有一主延伸平面的一基板及至少一个块状振荡器，其中该块状振荡器借助于一或多个弹簧组件安装，以使得其可相对于该基板振荡，其特征在于至少一个弹簧组件具有一第一弹簧子组件及一第二弹簧子组件，其中该第一弹簧子组件及该第二弹簧子组件相对于垂直于该主延伸平面之一竖直方向一个在另一个上方布置，且在该竖直方向上彼此相距一距离。本发明进一步提出一种用于制造一微机械构件之方法。

3. 发明专利

TW201730517A 微機械旋轉速率感測器及其操作方法审中-公开
简体标题：微机械旋转速率传感器及其操作方法
公开(公告)号：TW201730517A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105137848
申请日：2016-11-18
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：霍普納克里斯堤安 , HOEPPNER, CHRISTIAN , 施米德班傑明 , SCHMIDT, BENJAMIN , 霍以克弗李德喬夫 , HEUCK, FRIEDJOF , 哈塔斯米爾科 , HATTASS, MIRKO , 普魯茲歐德雅克 , PRUETZ, ODD-AXEL , 諾爾藍哈德 , NEUL, REINHARD , 茂爾羅伯特 , MAUL, ROBERT , 謝本羅夫 , SCHEBEN, ROLF , 歐姆斯托斯頓 , OHMS, TORSTEN
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
摘要：本發明係產生一種微機械的旋轉速率感測器(100)，其係具有一第一科氏元件(110)；一第一驅動樑(113)，其係沿著該第一科氏元件(110)來加以配置，並且經由一第一彈簧(114)而被耦接至該第一科氏元件(110)；以及一第一驅動電極載體(136、137)，其係從該第一驅動樑(113)延伸在與該第一科氏元件(120)相反的方向上，並且載有複數個平行於該第一驅動樑(113)延伸的第一驅動電極(138、139)。從更進一步角度來說，一種用於操作此種微機械的旋轉速率感測器(100)之方法係加以提出。
简体摘要：本发明系产生一种微机械的旋转速率传感器(100)，其系具有一第一科氏组件(110)；一第一驱动梁(113)，其系沿着该第一科氏组件(110)来加以配置，并且经由一第一弹簧(114)而被耦接至该第一科氏组件(110)；以及一第一驱动电极载体(136、137)，其系从该第一驱动梁(113)延伸在与该第一科氏组件(120)相反的方向上，并且载有复数个平行于该第一驱动梁(113)延伸的第一驱动电极(138、139)。从更进一步角度来说，一种用于操作此种微机械的旋转速率传感器(100)之方法系加以提出。

4. 发明专利

TW201612098A 微機械感測器及製造微機械感測器的方法审中-公开
简体标题：微机械传感器及制造微机械传感器的方法
公开(公告)号：TW201612098A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104124502
申请日：2015-07-29
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 茂爾羅伯特 , MAUL, ROBERT
IPC分类号： B81B7/02 , G01P15/125 , G01C19/5733 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/125
摘要：本發明提出一種微機械感測器，其包含具有主延伸平面的基板及可相對該基板運動的質量元件，其中該可動的質量元件係透過彈性構造與該基板耦合，其中該彈性構造具有第一及第二彈性元件，其中該第一與第二彈性元件局部大體上平行且局部彼此耦合，其中該彈性構造包括用於正交補償的第一及第二補償元件，其中該第一補償元件係與該第一彈性元件連接，其中該第二補償元件係與該第二彈性元件連接，其中該第一彈性元件具有沿橫向延伸的第一彈性構造寬度，其中該第二彈性元件具有沿該橫向延伸的第二彈性構造寬度，其中該第一補償元件在第一分區內以平行於該橫向的方式沿第一寬度延伸，其中該第一彈性構造寬度與該第一寬度不同，其中該第二補償元件在第二分區內以平行於該橫向的方式沿第二寬度延伸，其中該第二彈性構造寬度與該第二寬度不同。
简体摘要：本发明提出一种微机械传感器，其包含具有主延伸平面的基板及可相对该基板运动的质量组件，其中该可动的质量组件系透过弹性构造与该基板耦合，其中该弹性构造具有第一及第二弹性组件，其中该第一与第二弹性组件局部大体上平行且局部彼此耦合，其中该弹性构造包括用于正交补偿的第一及第二补偿组件，其中该第一补偿组件系与该第一弹性组件连接，其中该第二补偿组件系与该第二弹性组件连接，其中该第一弹性组件具有沿横向延伸的第一弹性构造宽度，其中该第二弹性组件具有沿该横向延伸的第二弹性构造宽度，其中该第一补偿组件在第一分区内以平行于该横向的方式沿第一宽度延伸，其中该第一弹性构造宽度与该第一宽度不同，其中该第二补偿组件在第二分区内以平行于该横向的方式沿第二宽度延伸，其中该第二弹性构造宽度与该第二宽度不同。

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