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    • 3. 发明专利
    • 圖案品質管理圖表、圖案品質管理方法及圖案形成方法
    • 图案品质管理图表、图案品质管理方法及图案形成方法
    • TW201513756A
    • 2015-04-01
    • TW103121803
    • 2014-06-25
    • 富士軟片股份有限公司FUJIFILM CORPORATION
    • 龍田岳一TATSUTA, TAKEICHI
    • H05K3/14G01N21/956B05B12/00
    • G01R35/007B05D1/26B41J11/0015G01R31/2894H05K3/125
    • 圖案品質管理圖表具備:圖表用基材,包含與藉由第1區域及第2區域而圖案化的基材相同的材料,所述第1區域對用於圖案成形的功能液具有規定的親和性,所述第2區域對用於圖案成形的功能液具有比規定的親和性更低的親和性;以及至少1個單元區域群組,形成於圖表用基材的表面上,且,單元區域群組包含多個單元區域,所述多個單元區域分別包含周圍被第2區域包圍的第1區域,各個單元區域被分類為適合型的單元區域與非適合型的單元區域中的一種,所述適合型的單元區域具有如下的形狀及大小:在以規定的供給條件來對單元區域內供給規定量的功能液時,功能液不會溢出至周圍的第2區域且單元區域內全部被功能液佈滿,所述非適合型的單元區域具有如下的形狀及大小:在以規定的供給條件來對單元區域內供給規定量的功能液時,功 能液的一部分會溢出至周圍的第2區域及/或單元區域內的一部分未被功能液佈滿,多個單元區域包含至少1個適合型的單元區域與至少1個非適合型的單元區域。
    • 图案品质管理图表具备:图表用基材,包含与借由第1区域及第2区域而图案化的基材相同的材料,所述第1区域对用于图案成形的功能液具有规定的亲和性,所述第2区域对用于图案成形的功能液具有比规定的亲和性更低的亲和性;以及至少1个单元区域群组,形成于图表用基材的表面上,且,单元区域群组包含多个单元区域,所述多个单元区域分别包含周围被第2区域包围的第1区域,各个单元区域被分类为适合型的单元区域与非适合型的单元区域中的一种,所述适合型的单元区域具有如下的形状及大小:在以规定的供给条件来对单元区域内供给规定量的功能液时,功能液不会溢出至周围的第2区域且单元区域内全部被功能液布满,所述非适合型的单元区域具有如下的形状及大小:在以规定的供给条件来对单元区域内供给规定量的功能液时,功 能液的一部分会溢出至周围的第2区域及/或单元区域内的一部分未被功能液布满,多个单元区域包含至少1个适合型的单元区域与至少1个非适合型的单元区域。