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    • 4. 发明专利
    • 處理裝置之處理器具的更換方法及記錄處理裝置之處理器具的更換用程式的記錄媒體
    • 处理设备之处理器具的更换方法及记录处理设备之处理器具的更换用进程的记录媒体
    • TWI332233B
    • 2010-10-21
    • TW096104117
    • 2007-02-05
    • 東京威力科創股份有限公司
    • 田尻直幸鈴木彰史本間大輔
    • H01L
    • H01L21/67276Y10S414/135Y10T29/4973Y10T483/10Y10T483/11Y10T483/115Y10T483/12Y10T483/14
    • 本發明的課題是在於提供一種可一邊持續進行具有更換對象以外的處理器具之處理單元的處理,一邊進行供處理之處理器具的更換之處理器具的更換方法及更換用程式。
      亦即,藉由搬送手段來將被處理體搬入處理單元內,在藉由處理器具的處理杯23所包圍的狀態下對被處理體施以處理之處理裝置的處理杯23的更換方法,其特徵為:確認在處理器具更換對象的處理單元中被處理體處理終了,報知處理器具更換作業可開始的訊息(S104、S105),為了進行處理器具更換作業而關閉處理器具更換對象的處理單元的遮擋板44時,隨之解除突入之搬送手段的作動禁止狀態,而使能夠對其他非更換對象的處理單元進行搬出入動作(S106、S107)。
    • 本发明的课题是在于提供一种可一边持续进行具有更换对象以外的处理器具之处理单元的处理,一边进行供处理之处理器具的更换之处理器具的更换方法及更换用进程。 亦即,借由搬送手段来将被处理体搬入处理单元内,在借由处理器具的处理杯23所包围的状态下对被处理体施以处理之处理设备的处理杯23的更换方法,其特征为:确认在处理器具更换对象的处理单元中被处理体处理终了,报知处理器具更换作业可开始的消息(S104、S105),为了进行处理器具更换作业而关闭处理器具更换对象的处理单元的遮挡板44时,随之解除突入之搬送手段的作动禁止状态,而使能够对其他非更换对象的处理单元进行搬出入动作(S106、S107)。