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    • 3. 发明专利
    • 處理裝置之處理器具的更換方法及記錄處理裝置之處理器具的更換用程式的記錄媒體
    • 处理设备之处理器具的更换方法及记录处理设备之处理器具的更换用进程的记录媒体
    • TWI332233B
    • 2010-10-21
    • TW096104117
    • 2007-02-05
    • 東京威力科創股份有限公司
    • 田尻直幸鈴木彰史本間大輔
    • H01L
    • H01L21/67276Y10S414/135Y10T29/4973Y10T483/10Y10T483/11Y10T483/115Y10T483/12Y10T483/14
    • 本發明的課題是在於提供一種可一邊持續進行具有更換對象以外的處理器具之處理單元的處理,一邊進行供處理之處理器具的更換之處理器具的更換方法及更換用程式。
      亦即,藉由搬送手段來將被處理體搬入處理單元內,在藉由處理器具的處理杯23所包圍的狀態下對被處理體施以處理之處理裝置的處理杯23的更換方法,其特徵為:確認在處理器具更換對象的處理單元中被處理體處理終了,報知處理器具更換作業可開始的訊息(S104、S105),為了進行處理器具更換作業而關閉處理器具更換對象的處理單元的遮擋板44時,隨之解除突入之搬送手段的作動禁止狀態,而使能夠對其他非更換對象的處理單元進行搬出入動作(S106、S107)。
    • 本发明的课题是在于提供一种可一边持续进行具有更换对象以外的处理器具之处理单元的处理,一边进行供处理之处理器具的更换之处理器具的更换方法及更换用进程。 亦即,借由搬送手段来将被处理体搬入处理单元内,在借由处理器具的处理杯23所包围的状态下对被处理体施以处理之处理设备的处理杯23的更换方法,其特征为:确认在处理器具更换对象的处理单元中被处理体处理终了,报知处理器具更换作业可开始的消息(S104、S105),为了进行处理器具更换作业而关闭处理器具更换对象的处理单元的遮挡板44时,随之解除突入之搬送手段的作动禁止状态,而使能够对其他非更换对象的处理单元进行搬出入动作(S106、S107)。
    • 4. 发明专利
    • 加工機的排氣式防塵刀庫裝置
    • 加工机的排气式防尘刀库设备
    • TW201228753A
    • 2012-07-16
    • TW100100059
    • 2011-01-03
    • 亞力士電腦機械股份有限公司
    • 楊義成
    • B23BB23Q
    • B23Q3/15526B23Q3/15706B23Q11/005Y10T483/115Y10T483/14Y10T483/15Y10T483/179Y10T483/1793Y10T483/18
    • 一種加工機的排氣式防塵刀庫裝置,包含一刀庫機構,及二安裝於該刀庫機構之持刀機構。刀庫機構穿設有一用以輸送高壓氣體之噴氣孔道,及二個分別連通於該噴氣孔道而可供高壓氣體往外噴出之第一安裝孔。該等持刀機構是分別連通安裝固定於該等第一安裝孔中,每一持刀機構包括一可導引高壓氣體往外噴出地外露於第一安裝孔開口處,且可供所述刀具插裝定位之持刀座。透過該刀庫機構之噴氣孔道可將高壓氣體導引至該等第一安裝孔而吹向刀具的設計,能夠確保所有收納於該等持刀機構之刀具都不會沾染粉塵,使得本發明可直接安裝在加工腔室內使用。
    • 一种加工机的排气式防尘刀库设备,包含一刀库机构,及二安装于该刀库机构之持刀机构。刀库机构穿设有一用以输送高压气体之喷气孔道,及二个分别连通于该喷气孔道而可供高压气体往外喷出之第一安装孔。该等持刀机构是分别连通安装固定于该等第一安装孔中,每一持刀机构包括一可导引高压气体往外喷出地外露于第一安装孔开口处,且可供所述刀具插装定位之持刀座。透过该刀库机构之喷气孔道可将高压气体导引至该等第一安装孔而吹向刀具的设计,能够确保所有收纳于该等持刀机构之刀具都不会沾染粉尘,使得本发明可直接安装在加工腔室内使用。