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    • 3. 发明专利
    • 雙極性靜電卡盤之整修方法 METHOD OF REFURBISHING BIPOLAR ELECTROSTATIC CHUCK
    • 双极性静电卡盘之整修方法 METHOD OF REFURBISHING BIPOLAR ELECTROSTATIC CHUCK
    • TW201027090A
    • 2010-07-16
    • TW098134386
    • 2009-10-09
    • 蘭姆研究公司
    • 侍 宏
    • G01RH01L
    • H01L21/6833H02N13/00Y10T29/49004Y10T29/49155Y10T29/49718Y10T29/49719Y10T29/49746
    • 依據本發明之實施樣態的雙極性靜電卡盤之整修處理不需要實體分離靜電卡盤之兩電極。本發明之一實施樣態為處理雙極性靜電卡盤之方法,雙極性靜電卡盤具有一前表面及一後表面,且包含:配置在前表面之第一電極、在前表面之第二電極、及配置在前表面、第一電極及第二電極上之陽極極化層。該方法包含:量測靜電卡盤之第一參數;假如第一量測參數不在第一預定範圍內則丟棄靜電卡盤;假如第一量測參數在第一預定範圍內則清潔靜電卡盤;以密封物將前表面之第一電極與第二電極之間的間隙密封,而不相對於第二電極移動第一電極;消除陽極極化層;及配置新陽極極化層至前表面、第一電極及第二電極上。
    • 依据本发明之实施样态的双极性静电卡盘之整修处理不需要实体分离静电卡盘之两电极。本发明之一实施样态为处理双极性静电卡盘之方法,双极性静电卡盘具有一前表面及一后表面,且包含:配置在前表面之第一电极、在前表面之第二电极、及配置在前表面、第一电极及第二电极上之阳极极化层。该方法包含:量测静电卡盘之第一参数;假如第一量测参数不在第一预定范围内则丢弃静电卡盘;假如第一量测参数在第一预定范围内则清洁静电卡盘;以密封物将前表面之第一电极与第二电极之间的间隙密封,而不相对于第二电极移动第一电极;消除阳极极化层;及配置新阳极极化层至前表面、第一电极及第二电极上。
    • 6. 发明专利
    • 匣體與其相關方法 CARTRIDGE AND RELATED METHODS
    • 匣体与其相关方法 CARTRIDGE AND RELATED METHODS
    • TW201007032A
    • 2010-02-16
    • TW098117974
    • 2009-06-01
    • 德拉瓦資本組成公司
    • 伍德 麥克H
    • F16J
    • F16J15/16F16J15/26F16J15/3464Y10T29/49719Y10T29/49826Y10T29/49863
    • 一種用於安裝在一可移動軸周圍的匣體獲提供。根據一個示範性實施例,該匣體之特徵在於一匣體外殼、具有用於與一可移動軸建立介面之各自徑向內圓周的第一與第二環、位於該匣體外殼中且在該第一與第二環之間的第一與第二壓力板、以及分別朝向該第一與第二環推進該第一與第二壓力板的一偏置構件。根據一第二示範性實施例,該匣體之特徵在於一匣體外殼、具有用於與一可移動軸建立一介面之一徑向內圓周的一環、位於該匣體外殼中的該突出部分與該環之間的一壓力板、以及朝向該環推進該壓力板的一偏置構件。兩個實施例的匣體可受設計以,允許該(等)環從該匣體外殼中移除,而不需要移除該(等)壓力板或該(等)偏置構件。
    • 一种用于安装在一可移动轴周围的匣体获提供。根据一个示范性实施例,该匣体之特征在于一匣体外壳、具有用于与一可移动轴创建界面之各自径向内圆周的第一与第二环、位于该匣体外壳中且在该第一与第二环之间的第一与第二压力板、以及分别朝向该第一与第二环推进该第一与第二压力板的一偏置构件。根据一第二示范性实施例,该匣体之特征在于一匣体外壳、具有用于与一可移动轴创建一界面之一径向内圆周的一环、位于该匣体外壳中的该突出部分与该环之间的一压力板、以及朝向该环推进该压力板的一偏置构件。两个实施例的匣体可受设计以,允许该(等)环从该匣体外壳中移除,而不需要移除该(等)压力板或该(等)偏置构件。