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    • 1. 发明专利
    • 夾持器,尤指貝努力夾持器 GREIFER, INSBESONDERE BERNOULLI-GREIFER
    • 夹持器,尤指贝努力夹持器 GREIFER, INSBESONDERE BERNOULLI-GREIFER
    • TW200849460A
    • 2008-12-16
    • TW097117940
    • 2008-05-16
    • 約拿士及瑞德曼自動化工程有限公司 JONAS & REDMANN AUTOMATIONSTECHNIK GMBH
    • 史蒂凡 約拿士 STEFAN JONAS路茲 瑞德曼 LUTZ REDMANN
    • H01L
    • H01L21/6838B25J15/0616H01L21/67259Y10S294/907
    • 本發明係關於一種抓握器,尤指一種能以非碰觸方式抓取例如矽晶圓(2)類平面狀元件之真空吸盤抓握器(1),其具一與可控制機械臂(3)連結之鉗夾環(4),一經由漏斗狀元件(5)與鉗夾環(4)連結,且具一抓握平面(7)之撞擊片(6),該抓握平面能與一貫穿漏斗狀元件(5)及撞擊片(6)之氣流系統(8)相連,以便於真空吸盤抓握器(1)施加一壓力後,使撞擊片(6)之抓握平面(7)能產生一低壓,用以吸附被抓取之晶圓(2),該抓握平面(7)亦安裝一具有橡皮貼附面(9)之接觸環(10),以便抓握平面(7)所吸附之晶圓(2)能有一牢固而不滑動之吸附過程,此外具一感應器(11),用以辨識抓握平面(7)上所吸附之晶圓(2)。為使被抓取之晶圓能以一撞擊力特別緩和之方式貼近抓握器之抓握平面,本發明於抓握器(1)四周安裝緩衝裝置(12),該緩衝裝置自抓握器(1)上方俯視之輪廓,均伸展於抓握器輪廓之外,使被抓取之晶圓(2)因吸附作用而往抓握平面(7)飛去時,能形成緩衝阻力,使晶圓(2)能以緩和之衝撞力貼近接觸環(10)之橡皮貼附面(9)。(圖一)
    • 本发明系关于一种抓握器,尤指一种能以非碰触方式抓取例如硅晶圆(2)类平面状组件之真空吸盘抓握器(1),其具一与可控制机械臂(3)链接之钳夹环(4),一经由漏斗状组件(5)与钳夹环(4)链接,且具一抓握平面(7)之撞击片(6),该抓握平面能与一贯穿漏斗状组件(5)及撞击片(6)之气流系统(8)相连,以便于真空吸盘抓握器(1)施加一压力后,使撞击片(6)之抓握平面(7)能产生一低压,用以吸附被抓取之晶圆(2),该抓握平面(7)亦安装一具有橡皮贴附面(9)之接触环(10),以便抓握平面(7)所吸附之晶圆(2)能有一牢固而不滑动之吸附过程,此外具一感应器(11),用以辨识抓握平面(7)上所吸附之晶圆(2)。为使被抓取之晶圆能以一撞击力特别缓和之方式贴近抓握器之抓握平面,本发明于抓握器(1)四周安装缓冲设备(12),该缓冲设备自抓握器(1)上方俯视之轮廓,均伸展于抓握器轮廓之外,使被抓取之晶圆(2)因吸附作用而往抓握平面(7)飞去时,能形成缓冲阻力,使晶圆(2)能以缓和之冲撞力贴近接触环(10)之橡皮贴附面(9)。(图一)
    • 2. 发明专利
    • 搬運對象物吸著裝置
    • 搬运对象物吸着设备
    • TW381200B
    • 2000-02-01
    • TW086115121
    • 1997-10-15
    • 前進測試股份有限公司
    • 菅野幸男
    • G05B
    • B65G47/91H05K13/0408Y10S294/907
    • 為分開設置吸著側與吸著開放側之壓力檢測裝置,而實現一可防止產生卡住並可確實而更高速地完成吸著之吸著搬運裝置,故使該裝置包含有:
      一吸著狀態檢測裝置﹔
      一吸著解除檢測裝置﹔
      一控制裝置,用以接受來自該吸著狀態檢測裝置之檢測信號而認定吸著步驟完成並移行至下一步驟者﹔另一控制裝置,用以接受來自該吸著解除狀態檢測裝置之檢測信號而認定吸著解除步驟之完成並移行至下一步驟者。
    • 为分开设置吸着侧与吸着开放侧之压力检测设备,而实现一可防止产生卡住并可确实而更高速地完成吸着之吸着搬运设备,故使该设备包含有: 一吸着状态检测设备﹔ 一吸着解除检测设备﹔ 一控制设备,用以接受来自该吸着状态检测设备之检测信号而认定吸着步骤完成并移行至下一步骤者﹔另一控制设备,用以接受来自该吸着解除状态检测设备之检测信号而认定吸着解除步骤之完成并移行至下一步骤者。
    • 4. 发明专利
    • 把持部昇降式搬送裝置 TRANSPORTING APPARATUS HAVING VERTICALLY MOVABLE HOLDING PORTION
    • 把持部升降式搬送设备 TRANSPORTING APPARATUS HAVING VERTICALLY MOVABLE HOLDING PORTION
    • TW200508139A
    • 2005-03-01
    • TW093119580
    • 2004-06-30
    • 大福股份有限公司 DAIFUKU CO., LTD.
    • 池谷政之 IKEYA, MASAYUKI
    • B66C
    • B66C13/085B66C1/28B66C13/48Y10S294/907
    • 本發明之把持部昇降式搬送裝置係昇降操作由移動車懸掛支持之把持部,且,將把持部切換操作至把持狀態與把持解除狀態,以從物品載置處接收物品,或將物品放至物品載置處,又,即使在將把持部下降操作至可進行把持或把持解除之目標下降位置時發生過度下降的情況,亦可自動地修正。當下降操作至目標下降位置之把持部發生過度下降的情況時,則藉由過度下降檢測感測器來檢測,且根據該檢測結果,執行可上昇操作把持部之上昇修正,以將過度下降檢測感測器切換至非檢測狀態。
    • 本发明之把持部升降式搬送设备系升降操作由移动车悬挂支持之把持部,且,将把持部切换操作至把持状态与把持解除状态,以从物品载置处接收物品,或将物品放至物品载置处,又,即使在将把持部下降操作至可进行把持或把持解除之目标下降位置时发生过度下降的情况,亦可自动地修正。当下降操作至目标下降位置之把持部发生过度下降的情况时,则借由过度下降检测传感器来检测,且根据该检测结果,运行可上升操作把持部之上升修正,以将过度下降检测传感器切换至非检测状态。
    • 5. 发明专利
    • 物品把持裝置
    • 物品把持设备
    • TW358082B
    • 1999-05-11
    • TW086114744
    • 1997-10-08
    • 椿本鏈鎖股份有限公司
    • 織田優充
    • B66C
    • B66C1/445Y10S294/907
    • 提供一種可不損傷把持之物品及不使把持之物品落下而可利用適當之把持壓力實行把持的物品把持裝置。
      具備:開閉自如地成相對向配置之成對之夾持臂7;使此等夾持臂個別地開閉移動之多數個開閉驅動手設10;分別設於夾持臂上,以封入於內部之液體阻止柱塞14之後退之液壓千斤頂13;分別設於柱塞前端之夾持體12;將各液壓千斤頂內之液壓個別檢知之壓力檢知手段21;
      在成對之夾持體間把持物品時,以壓力檢知手段檢知液壓千斤頂內之液壓上昇到既定之壓力以上後,停止夾持臂之開閉驅動手段所構成者。
    • 提供一种可不损伤把持之物品及不使把持之物品落下而可利用适当之把持压力实行把持的物品把持设备。 具备:开闭自如地成相对向配置之成对之夹持臂7;使此等夹持臂个别地开闭移动之多数个开闭驱动手设10;分别设于夹持臂上,以封入于内部之液体阻止柱塞14之后退之液压千斤顶13;分别设于柱塞前端之夹持体12;将各液压千斤顶内之液压个别检知之压力检知手段21; 在成对之夹持体间把持物品时,以压力检知手段检知液压千斤顶内之液压上升到既定之压力以上后,停止夹持臂之开闭驱动手段所构成者。
    • 7. 实用新型
    • 吸盤之自動警示構造
    • 吸盘之自动警示构造
    • TWM356028U
    • 2009-05-01
    • TW097222134
    • 2008-12-10
    • 立晏企業有限公司 LIH YANN INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 廖伯霖 LIAO, PO-LIN
    • F16B
    • F16B47/00Y10S294/907
    • 一種吸盤之自動警示構造,主要包括有:一唧筒(pump)及一吸盤,該吸盤密貼被吸附物上,唧筒動作將吸盤與被吸附物間之空氣抽出,使吸盤產生真空吸力,真空吸力到達設定値時,吸附物已被吸住,當經過一小段時間,吸力會逐漸降低,作動柄會逐漸上昇,當真空吸力不足時,感應桿會作動而離開檢測器,進而使電子裝置之檢測器作動,以使電子裝置之燈光及警報器產生聲光警示,告知真空吸力降低而需補强真空吸力,達到免於觀察就可以直接聲光提醒真空吸力降低之簡便、實用、安全之功效者。
    • 一种吸盘之自动警示构造,主要包括有:一唧筒(pump)及一吸盘,该吸盘密贴被吸附物上,唧筒动作将吸盘与被吸附物间之空气抽出,使吸盘产生真空吸力,真空吸力到达设置値时,吸附物已被吸住,当经过一小段时间,吸力会逐渐降低,作动柄会逐渐上升,当真空吸力不足时,感应杆会作动而离开检测器,进而使电子设备之检测器作动,以使电子设备之灯光及警报器产生声光警示,告知真空吸力降低而需补强真空吸力,达到免于观察就可以直接声光提醒真空吸力降低之简便、实用、安全之功效者。
    • 9. 发明专利
    • 用以感測晶圓之存在的裝置
    • 用以传感晶圆之存在的设备
    • TW442366B
    • 2001-06-23
    • TW088112609
    • 1999-10-15
    • 史崔思鮑公司
    • 比爾.克林尼恩泰利L.列茲
    • B25JB66C
    • H01L21/6838B24B37/30B25J15/0616H01L21/67259Y10S294/907Y10S414/141
    • 用於半導體晶圓拋光機械的設備,其中該晶圓被取得並以晶圓與晶座上之彈性隔片間的吸杯效應握持。該設備得以感測晶座上之晶圓存在與否,以使得該資訊可被用以控制機械的作業。在正常的作業中,真空被施加於為彈性隔片所覆蓋之向下開口的實體空間。本發明係將穿經空氣閥孔並連接至孔口的空氣導管加入晶座,而使空氣得以穿經孔口、空氣導管及空氣閥孔進入實體空間,且其速率係小於真空幫浦的容量。本發明更要求加入壓力感測器,以偵測空氣導管或真空導管中的壓力。被感測之真空導管中的壓力在晶圓不存在時係較晶圓存在時為低,而被感測之空氣導管中的壓力在晶圓不存在時係較晶圓存在時為高。
    • 用于半导体晶圆抛光机械的设备,其中该晶圆被取得并以晶圆与晶座上之弹性隔片间的吸杯效应握持。该设备得以传感晶座上之晶圆存在与否,以使得该信息可被用以控制机械的作业。在正常的作业中,真空被施加于为弹性隔片所覆盖之向下开口的实体空间。本发明系将穿经空气阀孔并连接至孔口的空气导管加入晶座,而使空气得以穿经孔口、空气导管及空气阀孔进入实体空间,且其速率系小于真空帮浦的容量。本发明更要求加入压力传感器,以侦测空气导管或真空导管中的压力。被传感之真空导管中的压力在晶圆不存在时系较晶圆存在时为低,而被传感之空气导管中的压力在晶圆不存在时系较晶圆存在时为高。