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1. 发明专利

TW200849460A 夾持器,尤指貝努力夾持器 GREIFER, INSBESONDERE BERNOULLI-GREIFER 审中-公开
简体标题：夹持器,尤指贝努力夹持器 GREIFER, INSBESONDERE BERNOULLI-GREIFER
公开(公告)号：TW200849460A
公开(公告)日：2008-12-16
申请号：TW097117940
申请日：2008-05-16
申请人：約拿士及瑞德曼自動化工程有限公司 JONAS & REDMANN AUTOMATIONSTECHNIK GMBH
发明人：史蒂凡約拿士 STEFAN JONAS , 路茲瑞德曼 LUTZ REDMANN
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6838 , B25J15/0616 , H01L21/67259 , Y10S294/907
摘要：本發明係關於一種抓握器,尤指一種能以非碰觸方式抓取例如矽晶圓(2)類平面狀元件之真空吸盤抓握器(1),其具一與可控制機械臂(3)連結之鉗夾環(4),一經由漏斗狀元件(5)與鉗夾環(4)連結,且具一抓握平面(7)之撞擊片(6),該抓握平面能與一貫穿漏斗狀元件(5)及撞擊片(6)之氣流系統(8)相連,以便於真空吸盤抓握器(1)施加一壓力後,使撞擊片(6)之抓握平面(7)能產生一低壓,用以吸附被抓取之晶圓(2),該抓握平面(7)亦安裝一具有橡皮貼附面(9)之接觸環(10),以便抓握平面(7)所吸附之晶圓(2)能有一牢固而不滑動之吸附過程,此外具一感應器(11),用以辨識抓握平面(7)上所吸附之晶圓(2)。為使被抓取之晶圓能以一撞擊力特別緩和之方式貼近抓握器之抓握平面,本發明於抓握器(1)四周安裝緩衝裝置(12),該緩衝裝置自抓握器(1)上方俯視之輪廓,均伸展於抓握器輪廓之外,使被抓取之晶圓(2)因吸附作用而往抓握平面(7)飛去時,能形成緩衝阻力,使晶圓(2)能以緩和之衝撞力貼近接觸環(10)之橡皮貼附面(9)。(圖一)
简体摘要：本发明系关于一种抓握器,尤指一种能以非碰触方式抓取例如硅晶圆(2)类平面状组件之真空吸盘抓握器(1),其具一与可控制机械臂(3)链接之钳夹环(4),一经由漏斗状组件(5)与钳夹环(4)链接,且具一抓握平面(7)之撞击片(6),该抓握平面能与一贯穿漏斗状组件(5)及撞击片(6)之气流系统(8)相连,以便于真空吸盘抓握器(1)施加一压力后,使撞击片(6)之抓握平面(7)能产生一低压,用以吸附被抓取之晶圆(2),该抓握平面(7)亦安装一具有橡皮贴附面(9)之接触环(10),以便抓握平面(7)所吸附之晶圆(2)能有一牢固而不滑动之吸附过程,此外具一感应器(11),用以辨识抓握平面(7)上所吸附之晶圆(2)。为使被抓取之晶圆能以一撞击力特别缓和之方式贴近抓握器之抓握平面,本发明于抓握器(1)四周安装缓冲设备(12),该缓冲设备自抓握器(1)上方俯视之轮廓,均伸展于抓握器轮廓之外,使被抓取之晶圆(2)因吸附作用而往抓握平面(7)飞去时,能形成缓冲阻力,使晶圆(2)能以缓和之冲撞力贴近接触环(10)之橡皮贴附面(9)。(图一)

2. 发明专利

TW200847313A 基板自動化輸送帶,尤指用於製造晶片之矽原料太陽能電池审中-公开
简体标题：基板自动化输送带,尤指用于制造芯片之硅原料太阳能电池
公开(公告)号：TW200847313A
公开(公告)日：2008-12-01
申请号：TW097106172
申请日：2008-02-22
申请人：約拿士及瑞德曼自動化工程有限公司 JONAS & REDMANN AUTOMATIONSTECHNIK GMBH
发明人：史蒂凡約拿士 STEPHAN JONAS , 路茲瑞德曼 LUTZ REDMANN
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67326
摘要：本發明係關於一種用於基板之自動化載具(1),尤指用於製造矽基太陽能電池之晶圓(10),其具有二相互對立之壁(2;3),多個連接該壁(2;3)之連接元件(4),及一用以將晶圓(10)保持於載具(1)中之保持結構,該保持結構將晶圓(10)以一種對載具(1)裝填及卸除方向(B及E)垂直、互相平行且等距位置之方式保持於載具中。藉由以下方式,不同晶圓格式於運送時保持無負荷,即兩壁設計成相同之U-形基板及蓋板(2;3),以可鬆脫方式與四垂直載具(1)之裝填與卸除方向(E及B)之柱體(4)連接,且與柱體構成一載具(1)之骨架(5),該載具骨架上之各縱向側邊,四柱體(4)中之二,於U-形基板與蓋板(2與3)各自相對之腿部(6)內面(7)間延伸,該柱體於平行於載具(1)之裝填與卸除方向(B及E)之平面上保持等距,即於載具(1)中保持晶圓(10)之保持結構包含二相同、於載具骨架(5)內互相間隔、可更換之晶圓攜帶單位(11;12),其各自具有至少一相同之梳齒板(16),以可鬆脫方式安裝於二安裝板(13)上,垂直於載具(1)之裝填與卸除方向(B及E),並各自於一位置上以可鬆脫方式與二U-形基板與蓋板(2;3)連接,該位置係由預定
配置給多種晶圓格式之固定位置中選出,其間各晶圓攜帶單位(11;12)之至少一梳齒板(16)之梳齒根部位於二平面間,而二平面間之距離對應於選擇預定之晶圓格式之前緣長度,即於至少一晶圓攜帶單位(11;12)上,以關節式旋轉方式裝設一安全扣(20),該安全扣延伸過晶圓攜帶單位(11)之長度,並於一關閉及一開放位置(S及F)間自動切換,用以阻擋及開放載具(1)之晶圓(10)裝填或卸除,且於載具骨架(5)之二相對U-形基板與蓋板(2及3)基部(26)之內面(27)間,設有一由二U-形鋁材(29)製成且含橡膠元件(30)之擋塊(28),該擋塊(28)垂直於裝填與卸除方向(B及E)延伸,載具(1)裝填時,晶圓(10)以其側邊之側緣區域被導引於相對之梳齒板(16)間,晶圓(10)面向擋塊(28)之前緣(31),以無衝撞方式接著。(圖一)
简体摘要：本发明系关于一种用于基板之自动化载具(1),尤指用于制造硅基太阳能电池之晶圆(10),其具有二相互对立之壁(2;3),多个连接该壁(2;3)之连接组件(4),及一用以将晶圆(10)保持于载具(1)中之保持结构,该保持结构将晶圆(10)以一种对载具(1)装填及卸除方向(B及E)垂直、互相平行且等距位置之方式保持于载具中。借由以下方式,不同晶圆格式于运送时保持无负荷,即两壁设计成相同之U-形基板及盖板(2;3),以可松脱方式与四垂直载具(1)之装填与卸除方向(E及B)之柱体(4)连接,且与柱体构成一载具(1)之骨架(5),该载具骨架上之各纵向侧边,四柱体(4)中之二,于U-形基板与盖板(2与3)各自相对之腿部(6)内面(7)间延伸,该柱体于平行于载具(1)之装填与卸除方向(B及E)之平面上保持等距,即于载具(1)中保持晶圆(10)之保持结构包含二相同、于载具骨架(5)内互相间隔、可更换之晶圆携带单位(11;12),其各自具有至少一相同之梳齿板(16),以可松脱方式安装于二安装板(13)上,垂直于载具(1)之装填与卸除方向(B及E),并各自于一位置上以可松脱方式与二U-形基板与盖板(2;3)连接,该位置系由预定配置给多种晶圆格式之固定位置中选出,其间各晶圆携带单位(11;12)之至少一梳齿板(16)之梳齿根部位于二平面间,而二平面间之距离对应于选择预定之晶圆格式之前缘长度,即于至少一晶圆携带单位(11;12)上,以关节式旋转方式装设一安全扣(20),该安全扣延伸过晶圆携带单位(11)之长度,并于一关闭及一开放位置(S及F)间自动切换,用以阻挡及开放载具(1)之晶圆(10)装填或卸除,且于载具骨架(5)之二相对U-形基板与盖板(2及3)基部(26)之内面(27)间,设有一由二U-形铝材(29)制成且含橡胶组件(30)之挡块(28),该挡块(28)垂直于装填与卸除方向(B及E)延伸,载具(1)装填时,晶圆(10)以其侧边之侧缘区域被导引于相对之梳齿板(16)间,晶圆(10)面向挡块(28)之前缘(31),以无冲撞方式接着。(图一)

3. 发明专利

TW200921824A 用於例如太陽能電池晶圓之盤狀底層保持裝置审中-公开
简体标题：用于例如太阳能电池晶圆之盘状底层保持设备
公开(公告)号：TW200921824A
公开(公告)日：2009-05-16
申请号：TW097128731
申请日：2008-07-30
申请人：約拿士及瑞德曼自動化工程有限公司 JONAS & REDMANN AUTOMATIONSTECHNIK GMBH
发明人：史蒂凡約拿士 STEFAN JONAS , 路茲瑞德曼 LUTZ REDMANN
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/67313 , H01L21/67781 , H01L31/1876 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：本發明係關於一種用於太陽能電池晶圓(2)之保持裝置,至少具一梳狀保持器(1),該梳狀保持器(1)具一伸長之背脊(3),於該背脊(3)之延伸縱向上設有許多等距之梳齒元件(4),其中,於相鄰梳齒元件(4)互相接近面之間,至少形成一空隙(5及6),該空隙針對保持於空隙(5及6)中之太陽能電池晶圓(2)設有一接著面(7)與一導引面(8)。為於保持裝置中妥當地容納及保持太陽能電池晶圓,於該至少一梳狀保持器(1)之伸長背脊(3)之各相鄰梳齒元件(4)間,具一保持間隙(9),該保持間隙(9)之周緣輪廓(uS)具接著面(7)及導引面(8),該保持間隙(9)具由兩互相錯開之空隙(5及6)構成之任意寬度(bH),其深度(t1)及(t2)各小於各梳齒元件(4)之總深度(tges),其中,深度(t1)與深度(t2)共同組成各梳齒元件(4)之總深度(tges),而空隙(5及6)之周緣輪廓(uA1或uA2)於背脊側具一長圓凹槽(10),該長圓凹槽(10)於背脊側具一傾斜面段(
11),該傾斜面段(11)位於一平面(12)上,該平面(12)對保持間隙(9)之周緣輪廓(uS)之接著面(7)之平面(13)傾斜,當太陽能電池晶圓(2)之底緣(21)與周緣輪廓(uA1或uA2)之長圓凹槽(10)之傾斜面段(11)接觸時,太陽能電池晶圓(2)於重力作用下,滑進傾斜面段(11)上一預定之位置,於該位置上,該梳狀保持器(1)旋轉一預定之銳角(097128731P01.bmp),使太陽能電池晶圓(2)以其平面(13)垂直貼靠於保持間隙(9)之周緣輪廓(uS)之接著面(7)上,此外,於該滑動位置上,太陽能電池晶圓(2)遠離接著面(7)之平面(22),且與保持間隙(9)之周緣輪廓(uS)上平行於接著面(7)之導引面(8)間,產生一公差間隙(14)。圖一
简体摘要：本发明系关于一种用于太阳能电池晶圆(2)之保持设备,至少具一梳状保持器(1),该梳状保持器(1)具一伸长之背嵴(3),于该背嵴(3)之延伸纵向上设有许多等距之梳齿组件(4),其中,于相邻梳齿组件(4)互相接近面之间,至少形成一空隙(5及6),该空隙针对保持于空隙(5及6)中之太阳能电池晶圆(2)设有一接着面(7)与一导引面(8)。为于保持设备中妥当地容纳及保持太阳能电池晶圆,于该至少一梳状保持器(1)之伸长背嵴(3)之各相邻梳齿组件(4)间,具一保持间隙(9),该保持间隙(9)之周缘轮廓(uS)具接着面(7)及导引面(8),该保持间隙(9)具由两互相错开之空隙(5及6)构成之任意宽度(bH),其深度(t1)及(t2)各小于各梳齿组件(4)之总深度(tges),其中,深度(t1)与深度(t2)共同组成各梳齿组件(4)之总深度(tges),而空隙(5及6)之周缘轮廓(uA1或uA2)于背嵴侧具一长圆凹槽(10),该长圆凹槽(10)于背嵴侧具一倾斜面段( 11),该倾斜面段(11)位于一平面(12)上,该平面(12)对保持间隙(9)之周缘轮廓(uS)之接着面(7)之平面(13)倾斜,当太阳能电池晶圆(2)之底缘(21)与周缘轮廓(uA1或uA2)之长圆凹槽(10)之倾斜面段(11)接触时,太阳能电池晶圆(2)于重力作用下,滑进倾斜面段(11)上一预定之位置,于该位置上,该梳状保持器(1)旋转一预定之锐角(097128731P01.bmp),使太阳能电池晶圆(2)以其平面(13)垂直贴靠于保持间隙(9)之周缘轮廓(uS)之接着面(7)上,此外,于该滑动位置上,太阳能电池晶圆(2)远离接着面(7)之平面(22),且与保持间隙(9)之周缘轮廓(uS)上平行于接着面(7)之导引面(8)间,产生一公差间隙(14)。图一

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