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    • 8. 发明专利
    • 無專用背板之矽麥克風 A SILICON MICROPHONE WITHOUT DEDICATED BACKPLATE
    • 无专用背板之硅麦克风 A SILICON MICROPHONE WITHOUT DEDICATED BACKPLATE
    • TW200937993A
    • 2009-09-01
    • TW098104151
    • 2009-02-10
    • 新晶源微機電(私人)有限公司 SILICON MATRIX PTE. LTD.
    • 王 WANG, ZHE
    • H04R
    • H04R19/005H01L2224/48091H04R7/04H04R7/20H04R19/04H04R31/00H04R2307/201H04R2307/207H01L2924/00014
    • 本發明提供一種無專用背板之矽麥克風,並揭露數種無專用背板之矽麥克風感測元件之實施例,麥克風感測元件包括一圓形或多邊形之振動薄膜,其具有複數多孔彈簧懸吊於一導電基板之前側上方,此振動薄膜係對準基板上之至少一背孔,此背孔具有一小於振動薄膜之前開口,在一實施例中,振動薄膜外環繞一連續多孔彈簧,此連續多孔彈簧之形狀與振動薄膜相符;複數多孔橫樑將多孔彈簧與剛性墊片連接以將可移動的振動薄膜極彈簧固定住。在另一實施例中,複數多孔彈簧具有雙折或三折配置,且利用複數多孔橫樑將振動薄膜連接至剛性墊片,此外,亦揭露將矽麥克風感測元件與互補式金氧半導體(Complementary Metal-Oxide Semiconductor, CMOS)裝置整合於單一晶片上之結構。
    • 本发明提供一种无专用背板之硅麦克风,并揭露数种无专用背板之硅麦克风传感组件之实施例,麦克风传感组件包括一圆形或多边形之振动薄膜,其具有复数多孔弹簧悬吊于一导电基板之前侧上方,此振动薄膜系对准基板上之至少一背孔,此背孔具有一小于振动薄膜之前开口,在一实施例中,振动薄膜外环绕一连续多孔弹簧,此连续多孔弹簧之形状与振动薄膜相符;复数多孔横梁将多孔弹簧与刚性垫片连接以将可移动的振动薄膜极弹簧固定住。在另一实施例中,复数多孔弹簧具有双折或三折配置,且利用复数多孔横梁将振动薄膜连接至刚性垫片,此外,亦揭露将硅麦克风传感组件与互补式金属氧化物半导体(Complementary Metal-Oxide Semiconductor, CMOS)设备集成於单一芯片上之结构。