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1. 发明专利

TW201628134A 元件修整方法以及以該方法修整之元件审中-公开
简体标题：组件修整方法以及以该方法修整之组件
公开(公告)号：TW201628134A
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW105100010
申请日：2016-01-04
申请人：亞德諾半導體環球公司 , ANALOG DEVICES GLOBAL
发明人：威斯登希穆斯保羅 , WHISTON, SEAMUS PAUL , 史坦森柏納派翠克 , STENSON, BERNARD PATRICK , 魔力希麥克努兒 , MORRISSEY, MICHAEL NOEL , 芬恩麥克喬 , FLYNN, MICHAEL JOHN
IPC分类号： H01L21/98
CPC分类号： H03H9/462 , H01L2224/48227 , H03H9/174 , H03H9/22 , H03H2009/02165 , H03H2009/155 , H03H2009/2421
摘要：本發明提供一種修整元件之方法，其中該元件不受修整後之氧化作用或壓力改變所影響，於該方法中，一保護玻璃遮蔽物係於修整作業(例如雷射修整)前接合於一半導體基材之表面，此可保護該元件不受修整後之氧化作用所影響，該氧化作用可能改變該元件之數值或參數，亦可保護該元件不受包裝作業中，於其上或晶粒上所施以之壓力改變所影響，該等壓力改變亦可能改變該元件之一數值或參數。
简体摘要：本发明提供一种修整组件之方法，其中该组件不受修整后之氧化作用或压力改变所影响，于该方法中，一保护玻璃屏蔽物系于修整作业(例如激光修整)前接合于一半导体基材之表面，此可保护该组件不受修整后之氧化作用所影响，该氧化作用可能改变该组件之数值或参数，亦可保护该组件不受包装作业中，于其上或晶粒上所施以之压力改变所影响，该等压力改变亦可能改变该组件之一数值或参数。

2. 发明专利

TW201330495A 橫截面擴張模式共振器审中-公开
简体标题：横截面扩张模式共振器
公开(公告)号：TW201330495A
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：TW101136070
申请日：2012-09-28
申请人：高通微機電系統科技公司 , QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC
发明人：左成杰 , ZUO, CHENGJIE , 運長漢 , YUN, CHANGHAN , 羅智昇 , LO, CHI SHUN , 艾倫衛斯里納桑尼爾 , ALLEN, WESLEY NATHANIEL , 費立茲馬立歐法蘭西斯可 , VELEZ, MARIO FRANCISCO , 金龍海 , KIM, JONGHAE
IPC分类号： H03H9/15
CPC分类号： H03H9/462 , H03H9/02228 , H03H9/2405 , H03H9/2426 , H03H2009/02503 , H03H2009/241
摘要：本發明揭示機電系統擴張模式共振器(DMR)結構。該DMR包含：一第一電極層；一第二電極層；及一壓電層，其由一壓電材料形成。該壓電層具有包含以下各項之尺寸：在一X軸與垂直於該X軸之一Y軸之一平面中之一橫向距離(D)以及沿垂直於該X軸及該Y軸之一Z軸之一厚度(T)。該厚度與該橫向距離之一數值比T/D經組態以回應於提供至該等電極中之一或多者之一信號而提供其中沿該Z軸及沿該X軸與該Y軸之該平面位移的該壓電層之一振動模式。階梯濾波器電路可構造有DMR作為串聯及/或分路元件，且該等共振器可具有螺旋組態。
简体摘要：本发明揭示机电系统扩张模式共振器(DMR)结构。该DMR包含：一第一电极层；一第二电极层；及一压电层，其由一压电材料形成。该压电层具有包含以下各项之尺寸：在一X轴与垂直于该X轴之一Y轴之一平面中之一横向距离(D)以及沿垂直于该X轴及该Y轴之一Z轴之一厚度(T)。该厚度与该横向距离之一数值比T/D经组态以回应于提供至该等电极中之一或多者之一信号而提供其中沿该Z轴及沿该X轴与该Y轴之该平面位移的该压电层之一振动模式。阶梯滤波器电路可构造有DMR作为串联及/或分路组件，且该等共振器可具有螺旋组态。

3. 发明专利

TW201212372A 微機電濾波器 MICROELECTROMECHANICAL FILTER 审中-公开
简体标题：微机电滤波器 MICROELECTROMECHANICAL FILTER
公开(公告)号：TW201212372A
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：TW099131228
申请日：2010-09-15
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：黃俊哲 , 許豐家 , 張平 , 王欽宏
IPC分类号： H01P , B81B
CPC分类号： H03H9/02228 , H03H9/462 , H03H9/505 , H03H9/54
摘要：本發明實施例揭露一種微機電濾波器。此微機電濾波器包括一輸入電極、一輸出電極、一個或多個壓電共振器、一個或多個高品質因數共振器以及一個或多個耦合樑。壓電共振器上方具有輸入電極與輸出電極。高品質因數共振器的材質為矽或壓電材料,且上方不具金屬電極。在壓電共振器與高品質因數共振器之間以耦合樑做為連接。耦合樑用於共振器間傳遞聲波,並可控制濾波器的頻寬。
简体摘要：本发明实施例揭露一种微机电滤波器。此微机电滤波器包括一输入电极、一输出电极、一个或多个压电共振器、一个或多个高品质因子共振器以及一个或多个耦合梁。压电共振器上方具有输入电极与输出电极。高品质因子共振器的材质为硅或压电材料,且上方不具金属电极。在压电共振器与高品质因子共振器之间以耦合梁做为连接。耦合梁用于共振器间传递声波,并可控制滤波器的带宽。

4. 发明专利

TW200519031A 微電氣機械系統之共振器、其驅動方法及濾波器失效
简体标题：微电气机械系统之共振器、其驱动方法及滤波器
公开(公告)号：TW200519031A
公开(公告)日：2005-06-16
申请号：TW093128108
申请日：2004-09-17
申请人：新力股份有限公司 SONY CORPORATION
发明人：難波田康治 NANIWADA, KOJI
IPC分类号： B81B , H03J
CPC分类号： H03H9/462 , H03H3/0072 , H03H9/0023 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02511
摘要：本發明之目的在於：藉由將輸出相位進行180度差異化，可將不平衡輸入作為平衡輸出進行輸出。一種微電氣機械系統之共振器(MEMS共振器(101))，其具備有輸入信號之輸入電極(111)，以平衡輸出信號輸出不平衡輸入信號之輸出電極(第一輸出電極(112)、第二輸出電極(113))，以及介以空間(121)對向於輸入電極(111)、第一輸出電極(112)及第二輸出電極(113)之振動元件(114)；又，第一輸出電極(112)係配置於與輸入電極(111)之相位有180度差異之相位的位置者，第二輸出電極(113)係配置於與輸入電極(111)之相位相同相位之位置者。
简体摘要：本发明之目的在于：借由将输出相位进行180度差异化，可将不平衡输入作为平衡输出进行输出。一种微电气机械系统之共振器(MEMS共振器(101))，其具备有输入信号之输入电极(111)，以平衡输出信号输出不平衡输入信号之输出电极(第一输出电极(112)、第二输出电极(113))，以及介以空间(121)对向于输入电极(111)、第一输出电极(112)及第二输出电极(113)之振动组件(114)；又，第一输出电极(112)系配置于与输入电极(111)之相位有180度差异之相位的位置者，第二输出电极(113)系配置于与输入电极(111)之相位相同相位之位置者。

5. 发明专利

TWI459630B 微機電濾波器有权
简体标题：微机电滤波器
公开(公告)号：TWI459630B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW099131228
申请日：2010-09-15
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：黃俊哲 , HUANG, TSUN CHE , 許豐家 , HSU, FENG CHIA , 張平 , CHANG, PIN , 王欽宏 , WANG, CHIN HUNG
IPC分类号： H01P1/205 , B81B7/00
CPC分类号： H03H9/02228 , H03H9/462 , H03H9/505 , H03H9/54

6. 发明专利

TW201119225A 可調式微機電共振器 TUNABLE MEMS RESONATORS 审中-公开
简体标题：可调式微机电共振器 TUNABLE MEMS RESONATORS
公开(公告)号：TW201119225A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：TW099120044
申请日：2010-06-18
申请人：高通公司
发明人：朴山俊
IPC分类号： H03H , H01P
CPC分类号： H03H9/02244 , E05Y2900/402 , H01P1/127 , H01P1/2084 , H03H9/462
摘要：本發明描述具有可調整共振頻率且能夠處置大信號的可調式MEMS共振器。在一例示性設計中,一可調式MEMS共振器包括:(i)一第一部分,其具有一空腔及一接線柱;及(ii)一第二部分,其與該第一部分配合且包括一位於該接線柱下方的可移動板。每一部分可由面向另一部分之表面上的一金屬層覆蓋。該可移動板可藉由一DC電壓而機械地移動以改變該MEMS共振器之共振頻率。該空腔可具有一矩形形狀或環形形狀,且可為空的或用一介電材料來填充。該接線柱可位於該空腔之中間。該可移動板可(i)經由一錨定器附接至該第二部分且操作為一懸臂,或(ii)經由兩個錨定器附接至該第二部分且操作為一橋接器。
简体摘要：本发明描述具有可调整共振频率且能够处置大信号的可调式MEMS共振器。在一例示性设计中,一可调式MEMS共振器包括:(i)一第一部分,其具有一空腔及一接线柱;及(ii)一第二部分,其与该第一部分配合且包括一位于该接线柱下方的可移动板。每一部分可由面向另一部分之表面上的一金属层覆盖。该可移动板可借由一DC电压而机械地移动以改变该MEMS共振器之共振频率。该空腔可具有一矩形形状或环形形状,且可为空的或用一介电材料来填充。该接线柱可位于该空腔之中间。该可移动板可(i)经由一锚定器附接至该第二部分且操作为一悬臂,或(ii)经由两个锚定器附接至该第二部分且操作为一桥接器。

7. 发明专利

TWI248697B 微共振器以及通訊裝置 MICRO-RESONATOR AND COMMUNICATION APPARATUS 失效
简体标题：微共振器以及通信设备 MICRO-RESONATOR AND COMMUNICATION APPARATUS
公开(公告)号：TWI248697B
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：TW093132997
申请日：2004-10-29
申请人：新力股份有限公司 SONY CORPORATION
发明人：難波田康治 NANIWADA, KOJI
IPC分类号： H01P , H01L
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H2009/02511
摘要：根據本發明之一種微共振器包含複數個微共振器裝置，該複數個微共振器裝置包含彼此並聯地電性連接之梁結構，一種通訊裝置利用一由上述微共振器所構成之濾波器當作其濾波器，根據本發明之微共振器可降低合成阻抗且可應用於預定之裝置，而且根據本發明之通訊裝置包含由該微共振器所構成之濾波器。
简体摘要：根据本发明之一种微共振器包含复数个微共振器设备，该复数个微共振器设备包含彼此并联地电性连接之梁结构，一种通信设备利用一由上述微共振器所构成之滤波器当作其滤波器，根据本发明之微共振器可降低合成阻抗且可应用于预定之设备，而且根据本发明之通信设备包含由该微共振器所构成之滤波器。

8. 发明专利

TW201320593A 橫截面擴張模式共振器及基於共振器之階梯濾波器审中-公开
简体标题：横截面扩张模式共振器及基于共振器之阶梯滤波器
公开(公告)号：TW201320593A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：TW101136097
申请日：2012-09-28
申请人：高通微機電系統科技公司 , QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.
发明人：左成杰 , ZUO, CHENGJIE , 運長漢 , YUN, CHANGHAN , 羅智昇 , LO, CHI SHUN , 艾倫衛斯里納桑尼爾 , ALLEN, WESLEY NATHANIEL , 費立茲馬立歐法蘭西斯可 , VELEZ, MARIO FRANCISCO , 金龍海 , KIM, JONGHAE , 周山虎 , JOO, SANGHOON
IPC分类号： H03H9/145 , H03H9/64
CPC分类号： H03H9/462 , H03H9/02228 , H03H9/2405 , H03H9/2426 , H03H2009/02503 , H03H2009/241
摘要：本發明揭示機電系統擴張模式共振器(DMR)結構。該DMR包含：一第一電極層；一第二電極層；及一壓電層，其由一壓電材料形成。該壓電層具有包含以下各項之尺寸：在一X軸與垂直於該X軸之一Y軸之一平面中之一橫向距離(D)以及沿垂直於該X軸及該Y軸之一Z軸之一厚度(T)。該厚度與該橫向距離之一數值比T/D經組態以回應於提供至該等電極中之一或多者之一信號而提供其中沿該Z軸及沿該X軸與該Y軸之該平面位移的該壓電層之一振動模式。階梯濾波器電路可構造有DMR作為串聯及/或分路元件，且該等共振器可具有螺旋組態。
简体摘要：本发明揭示机电系统扩张模式共振器(DMR)结构。该DMR包含：一第一电极层；一第二电极层；及一压电层，其由一压电材料形成。该压电层具有包含以下各项之尺寸：在一X轴与垂直于该X轴之一Y轴之一平面中之一横向距离(D)以及沿垂直于该X轴及该Y轴之一Z轴之一厚度(T)。该厚度与该横向距离之一数值比T/D经组态以回应于提供至该等电极中之一或多者之一信号而提供其中沿该Z轴及沿该X轴与该Y轴之该平面位移的该压电层之一振动模式。阶梯滤波器电路可构造有DMR作为串联及/或分路组件，且该等共振器可具有螺旋组态。

9. 发明专利

TWI291450B 微電氣機械系統之共振器、其驅動方法及濾波器失效
简体标题：微电气机械系统之共振器、其驱动方法及滤波器
公开(公告)号：TWI291450B
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：TW093128108
申请日：2004-09-17
申请人：新力股份有限公司 SONY CORPORATION
发明人：難波田康治 NANIWADA, KOJI
IPC分类号： B81B , H03J
CPC分类号： H03H9/462 , H03H3/0072 , H03H9/0023 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02511
摘要：本發明之目的在於：藉由將輸出相位進行180度差異化，可將不平衡輸入作為平衡輸出進行輸出。一種微電氣機械系統之共振器(MEMS共振器(101))，其具備有輸入信號之輸入電極(111)，以平衡輸出信號輸出不平衡輸入信號之輸出電極(第一輸出電極(112)、第二輸出電極(113))，以及介以空間(121)對向於輸入電極(111)、第一輸出電極(112)及第二輸出電極(113)之振動元件(114)；又，第一輸出電極(112)係配置於與輸入電極(111)之相位有180度差異之相位的位置者，第二輸出電極(113)係配置於與輸入電極(111)之相位相同相位之位置者。
简体摘要：本发明之目的在于：借由将输出相位进行180度差异化，可将不平衡输入作为平衡输出进行输出。一种微电气机械系统之共振器(MEMS共振器(101))，其具备有输入信号之输入电极(111)，以平衡输出信号输出不平衡输入信号之输出电极(第一输出电极(112)、第二输出电极(113))，以及介以空间(121)对向于输入电极(111)、第一输出电极(112)及第二输出电极(113)之振动组件(114)；又，第一输出电极(112)系配置于与输入电极(111)之相位有180度差异之相位的位置者，第二输出电极(113)系配置于与输入电极(111)之相位相同相位之位置者。

10. 发明专利

TWI279940B 微型共振器及其製造方法、以及電子機器失效
简体标题：微型共振器及其制造方法、以及电子机器
公开(公告)号：TWI279940B
公开(公告)日：2007-04-21
申请号：TW094134827
申请日：2005-10-05
申请人：新力股份有限公司 SONY CORPORATION
发明人：多田正裕 TADA, MASAHIRO , 田中均洋 TANAKA, MASAHIRO , 御手洗俊 MITARAI, SHUN , 難波田康治 NANIWADA, KOJI
IPC分类号： H01P
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H9/462 , H03H9/525 , H03H2009/02511
摘要：本發明提供一種微型共振器，藉由抑制各共振器元件間產生之相互干擾之影響，可確保頻率特性。其係在跨越數行N而排列之數個共振器元件F之微型共振器構造體10中，排列於N1行之數個共振器元件F1包括相位P1，另外，排列於N2行之數個共振器元件F2包括對相位P1相反相位之相位P2。由於抑制產生於各共振器元件F間之相互干擾之影響，因此頻率特性不易因其相互干擾之影響而惡化。
简体摘要：本发明提供一种微型共振器，借由抑制各共振器组件间产生之相互干扰之影响，可确保频率特性。其系在跨越数行N而排列之数个共振器组件F之微型共振器构造体10中，排列于N1行之数个共振器组件F1包括相位P1，另外，排列于N2行之数个共振器组件F2包括对相位P1相反相位之相位P2。由于抑制产生于各共振器组件F间之相互干扰之影响，因此频率特性不易因其相互干扰之影响而恶化。

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