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    • 2. 发明专利
    • 可調式微機電共振器 TUNABLE MEMS RESONATORS
    • 可调式微机电共振器 TUNABLE MEMS RESONATORS
    • TW201119225A
    • 2011-06-01
    • TW099120044
    • 2010-06-18
    • 高通公司
    • 朴山俊
    • H03HH01P
    • H03H9/02244E05Y2900/402H01P1/127H01P1/2084H03H9/462
    • 本發明描述具有可調整共振頻率且能夠處置大信號的可調式MEMS共振器。在一例示性設計中,一可調式MEMS共振器包括:(i)一第一部分,其具有一空腔及一接線柱;及(ii)一第二部分,其與該第一部分配合且包括一位於該接線柱下方的可移動板。每一部分可由面向另一部分之表面上的一金屬層覆蓋。該可移動板可藉由一DC電壓而機械地移動以改變該MEMS共振器之共振頻率。該空腔可具有一矩形形狀或環形形狀,且可為空的或用一介電材料來填充。該接線柱可位於該空腔之中間。該可移動板可(i)經由一錨定器附接至該第二部分且操作為一懸臂,或(ii)經由兩個錨定器附接至該第二部分且操作為一橋接器。
    • 本发明描述具有可调整共振频率且能够处置大信号的可调式MEMS共振器。在一例示性设计中,一可调式MEMS共振器包括:(i)一第一部分,其具有一空腔及一接线柱;及(ii)一第二部分,其与该第一部分配合且包括一位于该接线柱下方的可移动板。每一部分可由面向另一部分之表面上的一金属层覆盖。该可移动板可借由一DC电压而机械地移动以改变该MEMS共振器之共振频率。该空腔可具有一矩形形状或环形形状,且可为空的或用一介电材料来填充。该接线柱可位于该空腔之中间。该可移动板可(i)经由一锚定器附接至该第二部分且操作为一悬臂,或(ii)经由两个锚定器附接至该第二部分且操作为一桥接器。