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    • 2. 发明专利
    • 在相變記憶格中成形相變層之技術 SHAPING A PHASE CHANGE LAYER IN A PHASE CHANGE MEMORY CELL
    • 在相变记忆格中成形相变层之技术 SHAPING A PHASE CHANGE LAYER IN A PHASE CHANGE MEMORY CELL
    • TWI319635B
    • 2010-01-11
    • TW095127296
    • 2006-07-26
    • 歐凡尼克斯股份有限公司
    • 瑪吉斯崔堤 米歇爾派楚扎 皮特羅
    • H01L
    • H01L45/06G03F7/11H01L27/2445H01L27/2463H01L45/1233H01L45/126H01L45/144H01L45/1675H01L45/1691
    • 一相變記憶格係包括一半導體體部上之一相變材料的一相變層。一硬罩幕結構係形成於相變層上且一阻劑罩幕形成於硬罩幕結構上。利用阻劑罩幕成形硬罩幕結構藉以形成一硬罩幕。利用硬罩幕來成形相變層。在成形相變層之前移除阻劑罩幕。 A phase change memory cell includes a phase change layer of a phase change material on a semiconductor body. A hard mask structure is formed on the phase change layer and a resist mask is formed on the hard mask structure. A hard mask is formed by shaping the hard mask structure using the resist mask. The phase change layer is shaped using the hard mask. The resist mask is removed before shaping the phase change layer. 【創作特點】 依據本發明之一實施例,係特地提出一種方法,包含:形成一相變材料的一相變層於一半導體體部上;生成一硬罩幕結構於該相變層上;生成一阻劑罩幕於該硬罩幕結構上;利用該阻劑罩幕藉由成形該硬罩幕結構來形成一硬罩幕;移除該阻劑罩幕;及移除該阻劑罩幕之後利用該硬罩幕來成形該相變層。
      依據本發明之一實施例,係特地提出一種半導體結構,包含:一硫屬層;一障壁層,其覆蓋該硫屬層;及一罩幕層,其位於該障壁層上方。
      依據本發明之一實施例,係特地提出一種藉由一程序形成之產物,包含:形成一相變材料的一相變層於一半導體體部上;生成一硬罩幕結構於該相變層上;生成一阻劑罩幕於該硬罩幕結構上;利用該阻劑罩幕藉由成形該硬罩幕結構來形成一硬罩幕;移除該阻劑罩幕;及移除該阻劑罩幕之後利用該硬罩幕來成形該相變層。
      圖式簡單說明
      為了瞭解本發明,現在參照圖式來描述純為非限制性範例之其較佳實施例,其中:第1圖顯示根據本發明第一實施例在一製造程序的一初始步驟中經過一半導體裝置之橫剖面;第2圖為第1圖的細部處於一後續製造步驟中之放大俯視圖;第3圖為第2圖的細部處於一後續製造步驟中沿第2圖的線III-III所取之橫剖面;第4圖顯示與第2圖相同的視圖,處於一後續製造步驟中;第5及6圖顯示與第3圖相同的視圖,處於後續製造步驟中;第7圖顯示第6圖的細部處於一後續製造步驟中之俯視平面圖;第8及9圖顯示第7圖的細部處於一後續製造步驟中沿第7圖的線VII-VII所取之橫剖面;第10圖為第9圖的細部之俯視圖,處於一後續製造步驟中;第11圖顯示與第9圖相同之視圖,處於一後續製造步驟中;第12圖顯示與第10圖相同之視圖,處於一後續製造步驟中;第13及14圖為第12圖的細部處於後續製造步驟中沿第12圖的線XIII-XIII所取之橫剖面;第15圖為經過第1至15圖的裝置之橫剖面,處於一最後製造步驟中;第16圖為一相變記憶裝置的簡化電路圖;第17至27圖為根據本發明的第二實施例在一程序的後續製造步驟中經過一半導體裝置之橫剖面;第28圖為第27圖的裝置沿第27圖的線XXVIII-XXVIII所取之橫剖面;第29圖為根據本發明第二實施例之一程序所製造之一半導體裝置的俯視平面掃描電子顯微鏡(SEM)圖;第30圖為一已知程序所製造之一半導體裝置的俯視平面SEM圖;第31圖為一實施例之系統描繪。
    • 一相变记忆格系包括一半导体体部上之一相变材料的一相变层。一硬罩幕结构系形成于相变层上且一阻剂罩幕形成于硬罩幕结构上。利用阻剂罩幕成形硬罩幕结构借以形成一硬罩幕。利用硬罩幕来成形相变层。在成形相变层之前移除阻剂罩幕。 A phase change memory cell includes a phase change layer of a phase change material on a semiconductor body. A hard mask structure is formed on the phase change layer and a resist mask is formed on the hard mask structure. A hard mask is formed by shaping the hard mask structure using the resist mask. The phase change layer is shaped using the hard mask. The resist mask is removed before shaping the phase change layer. 【创作特点】 依据本发明之一实施例,系特地提出一种方法,包含:形成一相变材料的一相变层于一半导体体部上;生成一硬罩幕结构于该相变层上;生成一阻剂罩幕于该硬罩幕结构上;利用该阻剂罩幕借由成形该硬罩幕结构来形成一硬罩幕;移除该阻剂罩幕;及移除该阻剂罩幕之后利用该硬罩幕来成形该相变层。 依据本发明之一实施例,系特地提出一种半导体结构,包含:一硫属层;一障壁层,其覆盖该硫属层;及一罩幕层,其位于该障壁层上方。 依据本发明之一实施例,系特地提出一种借由一进程形成之产物,包含:形成一相变材料的一相变层于一半导体体部上;生成一硬罩幕结构于该相变层上;生成一阻剂罩幕于该硬罩幕结构上;利用该阻剂罩幕借由成形该硬罩幕结构来形成一硬罩幕;移除该阻剂罩幕;及移除该阻剂罩幕之后利用该硬罩幕来成形该相变层。 图式简单说明 为了了解本发明,现在参照图式来描述纯为非限制性范例之其较佳实施例,其中:第1图显示根据本发明第一实施例在一制造进程的一初始步骤中经过一半导体设备之横剖面;第2图为第1图的细部处于一后续制造步骤中之放大俯视图;第3图为第2图的细部处于一后续制造步骤中沿第2图的线III-III所取之横剖面;第4图显示与第2图相同的视图,处于一后续制造步骤中;第5及6图显示与第3图相同的视图,处于后续制造步骤中;第7图显示第6图的细部处于一后续制造步骤中之俯视平面图;第8及9图显示第7图的细部处于一后续制造步骤中沿第7图的线VII-VII所取之横剖面;第10图为第9图的细部之俯视图,处于一后续制造步骤中;第11图显示与第9图相同之视图,处于一后续制造步骤中;第12图显示与第10图相同之视图,处于一后续制造步骤中;第13及14图为第12图的细部处于后续制造步骤中沿第12图的线XIII-XIII所取之横剖面;第15图为经过第1至15图的设备之横剖面,处于一最后制造步骤中;第16图为一相变记忆设备的简化电路图;第17至27图为根据本发明的第二实施例在一进程的后续制造步骤中经过一半导体设备之横剖面;第28图为第27图的设备沿第27图的线XXVIII-XXVIII所取之横剖面;第29图为根据本发明第二实施例之一进程所制造之一半导体设备的俯视平面扫描电子显微镜(SEM)图;第30图为一已知进程所制造之一半导体设备的俯视平面SEM图;第31图为一实施例之系统描绘。
    • 7. 发明专利
    • 相變化記憶體裝置及其製造方法 PHASE CHANGE MEMORY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
    • 相变化内存设备及其制造方法 PHASE CHANGE MEMORY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
    • TWI318470B
    • 2009-12-11
    • TW095143546
    • 2006-11-24
    • 財團法人工業技術研究院力晶半導體股份有限公司南亞科技股份有限公司茂德科技股份有限公司華邦電子股份有限公司
    • 陳維恕
    • H01L
    • G11C13/0004H01L27/2409H01L27/2445H01L27/2463H01L45/06H01L45/124H01L45/126H01L45/144H01L45/148H01L45/1691
    • 一種相變化記憶體裝置,包括:一基板,其包括一疊層結構,上述疊層結構包括複數個絕緣層和複數個導電層,其中任兩層相鄰的上述導電層係被上述複數個絕緣層的其中之一隔開;一第一電極結構,形成於上述疊層結構上,且上述第一電極結構具有一第一側壁和一第二側壁;複數個加熱電極,設置於複數個上述導電層上,且鄰接於上述第一電極結構的上述第一側壁和上述第二側壁;以及一對相變化材料間隙壁,設置於上述第一電極結構的上述第一側壁和上述第二側壁上,且覆蓋於上述複數個加熱電極上。 A phase change memory device comprises a substrate comprising a lamination structure. The lamination structure comprises a plurality of insulating layers and conductive layers, wherein any two of the conductive layers are separated by one of the conductive layers. A first electrode structure with a first sidewall and a second sidewall is formed on the lamination structure. A plurality of heating electrodes are placed the conductive layers and adjacent to the first sidewall and the second sidewall of the first electrode structure. A pairs of phase change material sidewalls are placed on the first sidewall and the second sidewall of the first electrode structure. The phase change material sidewalls cover the heating electrodes. 【創作特點】 為達成發明的上述目的,本發明提供一種相變化記憶體裝置,包括:一基板,其包括一疊層結構,上述疊層結構包括複數個絕緣層和複數個導電層,其中任兩層相鄰的上述導電層係被上述複數個絕緣層的其中之一隔開;一第一電極結構,形成於上述疊層結構上,且上述第一電極結構具有一第一側壁和一第二側壁;複數個加熱電極,設置於複數個上述導電層上,且鄰接於上述第一電極結構的上述第一側壁和上述第二側壁;以及一對相變化材料間隙壁,設置於上述第一電極結構的上述第一側壁和上述第二側壁上,且覆蓋於上述複數個加熱電極上。
      為達成發明的另一目的,本發明提供一種相變化記憶體裝置的製造方法,包括:提供一基板,其包括一疊層結構,上述疊層結構包括複數個絕緣層和複數個導電層,任兩層相鄰的上述導電層係被上述複數個絕緣層的其中之一隔開;於上述疊層結構上形成一第一電極結構,且上述第一電極結構具有一第一側壁和一第二側壁;於上述複數個導電層上形成複數個加熱電極,上述複數個加熱電極鄰接於上述第一電極結構的上述第一側壁和上述第二側壁;於上述第一電極結構的上述第一側壁和上述第二側壁上形成一對相變化材料間隙壁,且覆蓋於上述複數個加熱電極上。
    • 一种相变化内存设备,包括:一基板,其包括一叠层结构,上述叠层结构包括复数个绝缘层和复数个导电层,其中任两层相邻的上述导电层系被上述复数个绝缘层的其中之一隔开;一第一电极结构,形成于上述叠层结构上,且上述第一电极结构具有一第一侧壁和一第二侧壁;复数个加热电极,设置于复数个上述导电层上,且邻接于上述第一电极结构的上述第一侧壁和上述第二侧壁;以及一对相变化材料间隙壁,设置于上述第一电极结构的上述第一侧壁和上述第二侧壁上,且覆盖于上述复数个加热电极上。 A phase change memory device comprises a substrate comprising a lamination structure. The lamination structure comprises a plurality of insulating layers and conductive layers, wherein any two of the conductive layers are separated by one of the conductive layers. A first electrode structure with a first sidewall and a second sidewall is formed on the lamination structure. A plurality of heating electrodes are placed the conductive layers and adjacent to the first sidewall and the second sidewall of the first electrode structure. A pairs of phase change material sidewalls are placed on the first sidewall and the second sidewall of the first electrode structure. The phase change material sidewalls cover the heating electrodes. 【创作特点】 为达成发明的上述目的,本发明提供一种相变化内存设备,包括:一基板,其包括一叠层结构,上述叠层结构包括复数个绝缘层和复数个导电层,其中任两层相邻的上述导电层系被上述复数个绝缘层的其中之一隔开;一第一电极结构,形成于上述叠层结构上,且上述第一电极结构具有一第一侧壁和一第二侧壁;复数个加热电极,设置于复数个上述导电层上,且邻接于上述第一电极结构的上述第一侧壁和上述第二侧壁;以及一对相变化材料间隙壁,设置于上述第一电极结构的上述第一侧壁和上述第二侧壁上,且覆盖于上述复数个加热电极上。 为达成发明的另一目的,本发明提供一种相变化内存设备的制造方法,包括:提供一基板,其包括一叠层结构,上述叠层结构包括复数个绝缘层和复数个导电层,任两层相邻的上述导电层系被上述复数个绝缘层的其中之一隔开;于上述叠层结构上形成一第一电极结构,且上述第一电极结构具有一第一侧壁和一第二侧壁;于上述复数个导电层上形成复数个加热电极,上述复数个加热电极邻接于上述第一电极结构的上述第一侧壁和上述第二侧壁;于上述第一电极结构的上述第一侧壁和上述第二侧壁上形成一对相变化材料间隙壁,且覆盖于上述复数个加热电极上。