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1. 发明专利

TW201741639A 具備多個陰極之冷陰極離子化真空計审中-公开
简体标题：具备多个阴极之冷阴极离子化真空计
公开(公告)号：TW201741639A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW106114328
申请日：2017-04-28
申请人： MKS儀器股份有限公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：史維尼提姆西 , SWINNEY, TIMOTHY C. , 佩西克林頓 , PERCY, CLINTON L. , 馬利安杜安 , MARION, DUANE W. , 凱利布蘭登 , KELLY, BRANDON J.
IPC分类号： G01L21/30 , H01J41/02
CPC分类号： G01L21/34 , H01J41/06
摘要：一種冷陰極離子化真空計包括多個陰極，其提供不同的間距於該等陰極和一陽極之間。該等多個陰極允許在更寬大的壓力範圍內的壓力測量。一具有較大的間距的第一陰極可根據湯森放電(Townsend discharge)來提供電流；而一具有較小的間距的第二陰極可根據在較高的壓力的湯森放電以及在更高的壓力的白仙定律(Paschen's Law)放電這兩者來提供電流。在該第二陰極上的一特徵構造可支持白仙定律放電。該等陰極之間的大電阻和一對電源供應器的回程(return)讓輸出輪廓的控制能夠擴大具有精確反應的壓力範圍並避免輸出最小值。壓力測量值可基於來自各個陰極之根據該個別陰極的輸出的電流在該寬大的壓力測量範圍內被獲得。該等多個陰極亦可提供避開各個陰極的電流輸出中被發現的中斷處(discontinuity)的測量值。
简体摘要：一种冷阴极离子化真空计包括多个阴极，其提供不同的间距于该等阴极和一阳极之间。该等多个阴极允许在更宽大的压力范围内的压力测量。一具有较大的间距的第一阴极可根据汤森放电(Townsend discharge)来提供电流；而一具有较小的间距的第二阴极可根据在较高的压力的汤森放电以及在更高的压力的白仙定律(Paschen's Law)放电这两者来提供电流。在该第二阴极上的一特征构造可支持白仙定律放电。该等阴极之间的大电阻和一对电源供应器的回程(return)让输出轮廓的控制能够扩大具有精确反应的压力范围并避免输出最小值。压力测量值可基于来自各个阴极之根据该个别阴极的输出的电流在该宽大的压力测量范围内被获得。该等多个阴极亦可提供避开各个阴极的电流输出中被发现的中断处(discontinuity)的测量值。

2. 发明专利

TW201317555A 電離規审中-公开
简体标题：电离规
公开(公告)号：TW201317555A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：TW100139519
申请日：2011-10-31
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：柳鵬 , LIU, PENG , 周段亮 , ZHOU, DUAN-LIANG , 張春海 , ZHANG, CHUN-HAI , 齊京 , QI, JING , 陳丕瑾 , CHEN, PI-JIN , 范守善 , FAN, SHOU-SHAN
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/34
CPC分类号： H01J41/06
摘要：本發明提供一種電離規，用於測量具有導體外殼的真空系統的真空度，該電離規包括陰極裝置、陽極裝置和離子收集裝置，所述陰極裝置與所述離子收集裝置設置於所述陽極裝置的兩側並與所述陽極裝置間隔設置，所述陰極裝置進一步包括電子發射體，所述電子發射體延伸向所述陽極裝置並與所述陽極裝置間隔設置，其改良在於，所述電子發射體包括至少一個奈米碳管線，所述電離規直接設置在待測真空系統的導體外殼中。
简体摘要：本发明提供一种电离规，用于测量具有导体外壳的真空系统的真空度，该电离规包括阴极设备、阳极设备和离子收集设备，所述阴极设备与所述离子收集设备设置于所述阳极设备的两侧并与所述阳极设备间隔设置，所述阴极设备进一步包括电子发射体，所述电子发射体延伸向所述阳极设备并与所述阳极设备间隔设置，其改良在于，所述电子发射体包括至少一个奈米碳管线，所述电离规直接设置在待测真空系统的导体外壳中。

3. 发明专利

TW201520526A 冷陰極離子化真空計审中-公开
简体标题：冷阴极离子化真空计
公开(公告)号：TW201520526A
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW103133709
申请日：2014-09-29
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：布魯克爾葛拉多A , BRUCKER, GERARDO A. , 史維尼提姆西C , SWINNEY, TIMOTHY C. , 凱利布蘭登J , KELLY, BRANDON J. , 方那瑞奧佛德A , FUNARI, ALFRED A. , 史考特麥克N , SCHOTT, MICHAEL N. , 查陶克利斯坦S , SCHARTAU, KRISTIAN S.
IPC分类号： G01L21/34 , H01J41/06
CPC分类号： G01L21/34 , G01L19/06 , H01J9/50 , H01J41/06 , Y02W30/828 , Y10T29/49007
摘要：本發明提供一種冷陰極離子化真空計，其包含：一延伸的陽極電極；以及一陰極電極，其沿著它的長度包圍該陽極電極並且在該陽極電極與該陰極電極之間形成一放電空間。該真空計進一步包含：一導電防護環電極，其在該陽極電極的基底附近被插設在該陰極電極與該陽極電極之間，用以收集漏電流；以及一放電起動器裝置，其被設置在該防護環電極上方並且電連接該防護環電極，該起動器裝置有複數個尖端朝向該陽極並且在該些尖端與該陽極之間形成一間隙。
简体摘要：本发明提供一种冷阴极离子化真空计，其包含：一延伸的阳极电极；以及一阴极电极，其沿着它的长度包围该阳极电极并且在该阳极电极与该阴极电极之间形成一放电空间。该真空计进一步包含：一导电防护环电极，其在该阳极电极的基底附近被插设在该阴极电极与该阳极电极之间，用以收集漏电流；以及一放电起动器设备，其被设置在该防护环电极上方并且电连接该防护环电极，该起动器设备有复数个尖端朝向该阳极并且在该些尖端与该阳极之间形成一间隙。

4. 发明专利

TWI447368B 電離規有权
简体标题：电离规
公开(公告)号：TWI447368B
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW100139519
申请日：2011-10-31
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：柳鵬 , LIU, PENG , 周段亮 , ZHOU, DUAN-LIANG , 張春海 , ZHANG, CHUN-HAI , 齊京 , QI, JING , 陳丕瑾 , CHEN, PI-JIN , 范守善 , FAN, SHOU-SHAN
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/34
CPC分类号： H01J41/06

5. 发明专利

TWI456178B 游離真空量規及量規頭有权
简体标题：游离真空量规及量规头
公开(公告)号：TWI456178B
公开(公告)日：2014-10-11
申请号：TW097137980
申请日：2008-10-02
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：馬修齊 , KEY, MATTHEW
IPC分类号： G01L21/30
CPC分类号： H01J41/06

6. 发明专利

TW200930999A 游離真空量規及量規頭 IONISATION VACUUM GAUGES AND GAUGE HEADS 审中-公开
简体标题：游离真空量规及量规头 IONISATION VACUUM GAUGES AND GAUGE HEADS
公开(公告)号：TW200930999A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097137980
申请日：2008-10-02
申请人：愛德華有限公司 EDWARDS LIMITED
发明人：馬修齊 KEY, MATTHEW
IPC分类号： G01L
CPC分类号： H01J41/06
摘要：本發明揭示一種用於一游離真空量規之量規頭(10),其包含一可操作以於一壓力待被測量的氣體內提供一電氣放電作用藉以在該氣體內引發離子放電作用的電氣裝置(12、28、54)。
简体摘要：本发明揭示一种用于一游离真空量规之量规头(10),其包含一可操作以于一压力待被测量的气体内提供一电气放电作用借以在该气体内引发离子放电作用的电气设备(12、28、54)。

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