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    • 3. 发明专利
    • 具備多個陰極之冷陰極離子化真空計
    • 具备多个阴极之冷阴极离子化真空计
    • TW201741639A
    • 2017-12-01
    • TW106114328
    • 2017-04-28
    • MKS儀器股份有限公司MKS INSTRUMENTS, INC.
    • 史維尼 提姆西SWINNEY, TIMOTHY C.佩西 克林頓PERCY, CLINTON L.馬利安 杜安MARION, DUANE W.凱利 布蘭登KELLY, BRANDON J.
    • G01L21/30H01J41/02
    • G01L21/34H01J41/06
    • 一種冷陰極離子化真空計包括多個陰極,其提供不同的間距於該等陰極和一陽極之間。該等多個陰極允許在更寬大的壓力範圍內的壓力測量。一具有較大的間距的第一陰極可根據湯森放電(Townsend discharge)來提供電流;而一具有較小的間距的第二陰極可根據在較高的壓力的湯森放電以及在更高的壓力的白仙定律(Paschen's Law)放電這兩者來提供電流。在該第二陰極上的一特徵構造可支持白仙定律放電。該等陰極之間的大電阻和一對電源供應器的回程(return)讓輸出輪廓的控制能夠擴大具有精確反應的壓力範圍並避免輸出最小值。壓力測量值可基於來自各個陰極之根據該個別陰極的輸出的電流在該寬大的壓力測量範圍內被獲得。該等多個陰極亦可提供避開各個陰極的電流輸出中被發現的中斷處(discontinuity)的測量值。
    • 一种冷阴极离子化真空计包括多个阴极,其提供不同的间距于该等阴极和一阳极之间。该等多个阴极允许在更宽大的压力范围内的压力测量。一具有较大的间距的第一阴极可根据汤森放电(Townsend discharge)来提供电流;而一具有较小的间距的第二阴极可根据在较高的压力的汤森放电以及在更高的压力的白仙定律(Paschen's Law)放电这两者来提供电流。在该第二阴极上的一特征构造可支持白仙定律放电。该等阴极之间的大电阻和一对电源供应器的回程(return)让输出轮廓的控制能够扩大具有精确反应的压力范围并避免输出最小值。压力测量值可基于来自各个阴极之根据该个别阴极的输出的电流在该宽大的压力测量范围内被获得。该等多个阴极亦可提供避开各个阴极的电流输出中被发现的中断处(discontinuity)的测量值。