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1. 发明专利

TWI452595B 用於加速或減速離子束之電極組、離子植入系統及減速點狀或帶狀離子束之方法有权
简体标题：用于加速或减速离子束之电极组、离子植入系统及减速点状或带状离子束之方法
公开(公告)号：TWI452595B
公开(公告)日：2014-09-11
申请号：TW100138322
申请日：2011-10-21
申请人：漢辰科技股份有限公司 , ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY, INC.
发明人：懷特尼可拉斯 , WHITE, NICHOLAS , 萬志民 , WAN, ZHIMIN , 克洛艾瑞克 , COLLART, ERIK
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/05 , H01J3/04 , H01J3/26 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/04756 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/151 , H01J2237/303 , H01J2237/31701

2. 发明专利

TW201640553A 改善離子束擷取穩定度與離子束流的源殼體組件、系統及方法审中-公开
简体标题：改善离子束截取稳定度与离子束流的源壳体组件、系统及方法
公开(公告)号：TW201640553A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW105114485
申请日：2016-05-11
申请人：瓦里安半導體設備公司 , VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人：常勝武 , CHANG, SHENGWU , 柏吉斯傑夫 , BURGESS, JEFF , 里維特威廉 , LEAVITT, WILLIAM , St 彼得麥可 , ST PETER, MICHAEL , 莫許馬特 , MOSHER, MATT , 奧爾森喬 , OLSON, JOE , 辛克萊法蘭克 , SINCLAIR, FRANK
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/08
CPC分类号： H01J27/08 , H01J3/04 , H01J5/02 , H01J9/18 , H01J9/385 , H01J27/024 , H01J37/08
摘要：本文提供用於改善離子擷取系統的離子束擷取穩定度及離子束流的方式。在一種方式中，一種源殼體組件可包括源殼體，所述源殼體環繞包括弧室的離子源，所述源殼體具有安裝於其近端處的擷取孔板。所述源殼體組件還包括真空襯墊，所述真空襯墊安置於所述源殼體的內部內以在一組真空抽吸孔周圍形成屏障。在構成後，所述源殼體組件中的除擷取孔板中的開口以外的開口被擷取孔板及真空襯墊封閉，進而確保在弧室外形成的附屬弧或無關離子保持於源殼體內。只有在弧室內形成的那些離子經由擷取孔板的開口而離開源殼體。
简体摘要：本文提供用于改善离子截取系统的离子束截取稳定度及离子束流的方式。在一种方式中，一种源壳体组件可包括源壳体，所述源壳体环绕包括号室的离子源，所述源壳体具有安装于其近端处的截取孔板。所述源壳体组件还包括真空衬垫，所述真空衬垫安置于所述源壳体的内部内以在一组真空抽吸孔周围形成屏障。在构成后，所述源壳体组件中的除截取孔板中的开口以外的开口被截取孔板及真空衬垫封闭，进而确保在弧室外形成的附属弧或无关离子保持于源壳体内。只有在弧室内形成的那些离子经由截取孔板的开口而离开源壳体。

3. 发明专利

TW201721722A 凸輪致動絲極夾审中-公开
简体标题：凸轮致动丝极夹
公开(公告)号：TW201721722A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105125237
申请日：2016-08-09
申请人：艾克塞利斯科技公司 , AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人：巴格特約翰 , BAGGET, JOHN , 畢林格傑森 , BERINGER, JASON
IPC分类号： H01L21/265 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01J37/317 , H01L37/02 , G21K1/00
CPC分类号： H01J37/08 , H01J3/04 , H01J2237/061 , H01J2237/31701
摘要：一離子源絲極夾具有一具有第一及第二端部的夾構件。該第一端部具有一凸輪表面以及一凸輪從動件中的一個，以及具有彼此相對且被一開槽分隔開的第一及第二部分，該開槽具有一被界定於其中的導線開口，用以容置一離子源絲極的一導線。一致動器銷件沿著一致動器銷件軸線延伸，且具有第一及第二區段。該第一區段被連結至該夾構件的該第一部分。該致動器銷件延伸貫穿一在該夾構件的該第二部分中的貫穿孔，且係以滑動的方式與之嚙合。一凸輪構件係被操作式地連結至該致動器銷件的該第二區段。該凸輪構件具有一握柄以及該凸輪表面及該凸輪從動件中的另一個，且被配置成旋轉於一夾緊位置及一鬆開位置之間。該凸輪從動件滑動式地接觸該凸輪表面。在該夾緊位置中，該凸輪從動件以一第一預定的方式嚙合該凸輪表面，因而選擇性地壓擠該夾構件的該等第一及第二部分朝向彼此，並施加一夾持壓力於在該導線開口中的該導線上，同時引發一介於該夾構件的該等第一及第二部分之間的彈性張力。在該鬆開位置中，該凸輪從動件以一第二預定的方式嚙合該凸輪表面，其中，該彈性張力將該夾構件的該等第一及第二部分彼此分開地擴張，於其中釋放開於在該導線開口中的該導線上面的該夾持壓力。
简体摘要：一离子源丝极夹具有一具有第一及第二端部的夹构件。该第一端部具有一凸轮表面以及一凸轮从动件中的一个，以及具有彼此相对且被一开槽分隔开的第一及第二部分，该开槽具有一被界定于其中的导线开口，用以容置一离子源丝极的一导线。一致动器销件沿着一致动器销件轴线延伸，且具有第一及第二区段。该第一区段被链接至该夹构件的该第一部分。该致动器销件延伸贯穿一在该夹构件的该第二部分中的贯穿孔，且系以滑动的方式与之啮合。一凸轮构件系被操作式地链接至该致动器销件的该第二区段。该凸轮构件具有一握柄以及该凸轮表面及该凸轮从动件中的另一个，且被配置成旋转于一夹紧位置及一松开位置之间。该凸轮从动件滑动式地接触该凸轮表面。在该夹紧位置中，该凸轮从动件以一第一预定的方式啮合该凸轮表面，因而选择性地压挤该夹构件的该等第一及第二部分朝向彼此，并施加一夹持压力于在该导线开口中的该导在线，同时引发一介于该夹构件的该等第一及第二部分之间的弹性张力。在该松开位置中，该凸轮从动件以一第二预定的方式啮合该凸轮表面，其中，该弹性张力将该夹构件的该等第一及第二部分彼此分开地扩张，于其中释放开于在该导线开口中的该导在线面的该夹持压力。

4. 发明专利

TW201225143A 用於帶狀與點狀離子束之減速裝置 DECELERATION APPARATUS FOR RIBBON AND SPOT BEAMS 审中-公开
简体标题：用于带状与点状离子束之减速设备 DECELERATION APPARATUS FOR RIBBON AND SPOT BEAMS
公开(公告)号：TW201225143A
公开(公告)日：2012-06-16
申请号：TW100138322
申请日：2011-10-21
申请人：漢辰科技股份有限公司
发明人：懷特尼可拉斯 , 萬志民 , 克洛艾瑞克
IPC分类号： H01J
CPC分类号： H01J37/05 , H01J3/04 , H01J3/26 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/04756 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/151 , H01J2237/303 , H01J2237/31701
摘要：本發明揭露可減速點狀離子束或帶狀離子束之減速裝置。本發明可控制會破壞離子束輪廓之效應。本發明可用遮罩來遮蔽離子束以減少外部電位的影響。本發明也可用位於離子束相對側並可調整位置與電位之多數個電極,確保減速與偏轉電場的形狀不會顯著偏離最佳形狀,即使是具有顯著空間電荷且由重離子組成的高電流低能量離子束。
简体摘要：本发明揭露可减速点状离子束或带状离子束之减速设备。本发明可控制会破坏离子束轮廓之效应。本发明可用遮罩来屏蔽离子束以减少外部电位的影响。本发明也可用位于离子束相对侧并可调整位置与电位之多数个电极,确保减速与偏转电场的形状不会显着偏离最佳形状,即使是具有显着空间电荷且由重离子组成的高电流低能量离子束。

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