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    • 10. 发明专利
    • 檢測裝置、壓印裝置、及物品的製造方法
    • 检测设备、压印设备、及物品的制造方法
    • TW201539600A
    • 2015-10-16
    • TW104103438
    • 2015-02-02
    • 佳能股份有限公司CANON KABUSHIKI KAISHA
    • 稲田博志INADA, HIROSHI三島和彥MISHIMA, KAZUHIKO宮春吓文MIYAHARU, TAKAFUMI
    • H01L21/66G02B11/00G03F7/20
    • H01L21/304G03F9/7038G03F9/7076G06K9/00G06T7/0004G06T2207/30148
    • 本發明提供了一種檢測裝置、壓印裝置及物品的製造方法。所述檢測裝置被構造為檢測由具有彼此不同的柵格節距的柵格圖案產生的莫列波紋,所述檢測裝置包括:攝像單元,其被構造為拍攝所述莫列波紋的圖像;成像光學系統,其被構造為使攝像單元對所述莫列波紋進行成像;以及處理單元,其被構造為對由所述攝像單元拍攝到的所述莫列波紋的攝像結果進行處理,其中所述攝像單元拍攝包括具有不大於所述成像光學系統的分辨能力的寬度的多個圖案的標記,所述多個圖案佈置在測量方向上並且所述多個圖案的寬度和間隔之間的占空比被變化,並且所述處理單元透過對由所述攝像單元拍攝到的標記的所述攝像結果進行處理,來評估所述檢測裝置。
    • 本发明提供了一种检测设备、压印设备及物品的制造方法。所述检测设备被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案产生的莫列波纹,所述检测设备包括:摄像单元,其被构造为拍摄所述莫列波纹的图像;成像光学系统,其被构造为使摄像单元对所述莫列波纹进行成像;以及处理单元,其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫列波纹的摄像结果进行处理,其中所述摄像单元拍摄包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案的标记,所述多个图案布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被变化,并且所述处理单元透过对由所述摄像单元拍摄到的标记的所述摄像结果进行处理,来评估所述检测设备。