基本信息:
- 专利标题： 用於分集化及缺陷發現之動態分格
- 专利标题（英）：Dynamic binning for diversification and defect discovery
- 专利标题（中）：用于分集化及缺陷发现之动态分格
- 申请号：TW104134248 申请日：2015-10-19
- 公开(公告)号：TW201626328A 公开(公告)日：2016-07-16
- 发明人： 普莉霍爾 馬丁 , PLIHAL, MARTIN , 亞納桑 維狄亞薩吉爾 , ANANTHA, VIDYASAGAR
- 申请人： 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
- 专利权人： 克萊譚克公司,KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人： 克萊譚克公司,KLA-TENCOR CORPORATION
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 62/065,752 20141019;14/614,202 20150204
- 主分类号： G06T7/00
- IPC分类号： G06T7/00 ; G01N21/956 ; G01N21/95 ; G06K9/52
摘要：
本發明提供用於產生一晶圓之一缺陷樣本之方法及系統。一種方法包含將在一晶圓上偵測之缺陷分離至若干分格中，該等分格在該等缺陷之一或多個第一屬性之一第一集合之值上具有多樣性。該方法亦包含基於該等缺陷之一或多個第二屬性之一第二集合中之多樣性而自該等分格中之一或多者獨立地選擇該等分格內之缺陷。然後，使用該等選定缺陷來建立該晶圓之一缺陷樣本。以此方式，可容易地選擇具有多個屬性之分集化值之缺陷。
摘要（中）：
本发明提供用于产生一晶圆之一缺陷样本之方法及系统。一种方法包含将在一晶圆上侦测之缺陷分离至若干分格中，该等分格在该等缺陷之一或多个第一属性之一第一集合之值上具有多样性。该方法亦包含基于该等缺陷之一或多个第二属性之一第二集合中之多样性而自该等分格中之一或多者独立地选择该等分格内之缺陷。然后，使用该等选定缺陷来创建该晶圆之一缺陷样本。以此方式，可容易地选择具有多个属性之分集化值之缺陷。
摘要（英）：
Methods and systems for generating a defect sample for a wafer are provided. One method includes separating defects detected on a wafer into bins having diversity in values of a first set of one or more first attributes of the defects. The method also includes selecting, independently from one or more of the bins, defects within the bins based on diversity in a second set of one or more second attributes of the defects. The selected defects are then used to create a defect sample for the wafer. In this manner, defects having diverse values of multiple attributes can be easily selected.
公开/授权文献:
- TWI648707B 用於產生一晶圓之一缺陷樣本之電腦實施之方法及系統與非暫時性電腦可讀媒體 公开/授权日：2019-01-21
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G06 | 计算；推算；计数 |
| ----G06T | 一般的图像数据处理或产生 |
| ------G06T7/00 | 图像分析，例如从位像到非位像 |