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1. 发明专利

TW201740298A 生態效益特性分析工具审中-公开
简体标题：生态效益特性分析工具
公开(公告)号：TW201740298A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106113031
申请日：2017-04-19
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：迪農馬克羅伯 , DENOME, MARK ROBERT , 維紐果佩維奇安雅庫瑪 , VENUGOPAL, VIJAYAKUMAR , 庫瑪阿西希 , KUMAR, ASHISH , 連瑪尼畢傑埃 , THANGAMANY, VIJAI , 卡佩迪雅索繆 , KAPADIA, SOMIL , 謝景宏 , HSIEH, CHING-HONG
IPC分类号： G06F19/00 , G06F17/50
CPC分类号： G05B19/41885 , G05B2219/42155 , Y02P90/02
摘要：一種用於進行晶圓逐點分析的方法，包括以下步驟：接收製造裝備選擇、有用物用量資料及利用率資料。水的生態效益特性分析是基於利用率資料及有用物用量資料來運算的。排放量的生態效益特性分析是基於利用率資料及有用物用量資料來運算的。電能的生態效益特性分析是基於利用率資料及有用物用量資料來運算的。組合的生態效益特性分析是基於利用率資料以及水的生態效益特性分析、排放量的生態效益特性分析及電能的生態效益特性分析來運算的。組合的生態效益特性分析被提供為用於由圖形使用者介面顯示。
简体摘要：一种用于进行晶圆逐点分析的方法，包括以下步骤：接收制造装备选择、有用物用量数据及利用率数据。水的生态效益特性分析是基于利用率数据及有用物用量数据来运算的。排放量的生态效益特性分析是基于利用率数据及有用物用量数据来运算的。电能的生态效益特性分析是基于利用率数据及有用物用量数据来运算的。组合的生态效益特性分析是基于利用率数据以及水的生态效益特性分析、排放量的生态效益特性分析及电能的生态效益特性分析来运算的。组合的生态效益特性分析被提供为用于由图形用户界面显示。

2. 发明专利

TWI471708B 伺服控制裝置有权
简体标题：伺服控制设备
公开(公告)号：TWI471708B
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW100114411
申请日：2011-04-26
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：五十嵐裕司 , IGARASHI, YUJI , 池田英俊 , IKEDA, HIDETOSHI , 前川清石 , MAEKAWA, KIYOSHI , 岩隆至 , IWASAKI, TAKASHI
IPC分类号： G05B13/04 , H02P29/00
CPC分类号： G05B13/041 , G05B2219/42155 , G05B2219/42157 , G05B2219/42162

3. 发明专利

TW201331737A 伺服控制裝置审中-公开
简体标题：伺服控制设备
公开(公告)号：TW201331737A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW101137068
申请日：2012-10-08
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：池田英俊 , IKEDA, HIDETOSHI , 齋藤曉生 , SAITO, AKIO , 五十嵐裕司 , IGARASHI, YUJI
IPC分类号： G05D3/12 , H02P29/00
CPC分类号： G05B13/042 , G05B19/00 , G05B19/19 , G05B2219/41021 , G05B2219/42155 , H02P21/18 , H02P31/00
摘要：規範模型部3，係計算出控制對象2的模型要追隨位置指令yc的模型位置ya以及控制對象2的模型與該模型位置ya一致而動作所需的模型轉矩τa。增益變更部7，係於控制對象2進行動作當中，根據模型位置ya及位置檢測值ym及轉矩相加器6輸出至控制對象2之轉矩指令τr之至少任一者，來變更可變補償演算部4在要輸出至積分補償器5之可變補償值Dτ的演算中使用之至少1次及2次控制增益的任一者的值並使之反映於可變補償值τr的演算中。
简体摘要：规范模型部3，系计算出控制对象2的模型要追随位置指令yc的模型位置ya以及控制对象2的模型与该模型位置ya一致而动作所需的模型转矩τa。增益变更部7，系于控制对象2进行动作当中，根据模型位置ya及位置检测值ym及转矩相加器6输出至控制对象2之转矩指令τr之至少任一者，来变更可变补偿演算部4在要输出至积分补偿器5之可变补偿值Dτ的演算中使用之至少1次及2次控制增益的任一者的值并使之反映于可变补偿值τr的演算中。

4. 发明专利

TW201217919A 伺服控制裝置 SERVO CONTROL APPARATUS 审中-公开
简体标题：伺服控制设备 SERVO CONTROL APPARATUS
公开(公告)号：TW201217919A
公开(公告)日：2012-05-01
申请号：TW100114411
申请日：2011-04-26
申请人：三菱電機股份有限公司
发明人：五十嵐裕司 , 池田英俊 , 前川清石 , 岩崎隆至
IPC分类号： G05B , H02P
CPC分类号： G05B13/041 , G05B2219/42155 , G05B2219/42157 , G05B2219/42162
摘要：本發明之目的在獲得一種伺服控制裝置,其對任意之目標値均不會發生控制輸入之飽和或變化率之飽和,而可以以高速高精確度使控制對象追隨。該伺服控制裝置具備有:規範模型部,對其輸入目標値,以產生模型輸出和模型輸入;回饋控制部,以控制對象之控制輸出追隨模型輸出之方式產生回饋輸入;及加法器,使模型輸入和回饋輸入進行相加以產生控制對象之控制輸入;而規範模型部包含有:數式模型,模擬控制對象之特性,從模型輸入產生模型輸出和狀態變數;模型輸入記憶體,輸出過去之模型輸入;模型控制器,對其輸入目標値、狀態變數和過去模型輸入,並產生模型輸入;及模型控制器決定部,根據目標値、狀態變數和過去模型輸入來決定模型控制器。
简体摘要：本发明之目的在获得一种伺服控制设备,其对任意之目标値均不会发生控制输入之饱和或变化率之饱和,而可以以高速高精确度使控制对象追随。该伺服控制设备具备有:规范模型部,对其输入目标値,以产生模型输出和模型输入;回馈控制部,以控制对象之控制输出追随模型输出之方式产生回馈输入;及加法器,使模型输入和回馈输入进行相加以产生控制对象之控制输入;而规范模型部包含有:数式模型,仿真控制对象之特性,从模型输入产生模型输出和状态变量;模型输入内存,输出过去之模型输入;模型控制器,对其输入目标値、状态变量和过去模型输入,并产生模型输入;及模型控制器决定部,根据目标値、状态变量和过去模型输入来决定模型控制器。

5. 发明专利

TWI504131B 馬達控制裝置有权
简体标题：马达控制设备
公开(公告)号：TWI504131B
公开(公告)日：2015-10-11
申请号：TW102147145
申请日：2013-12-19
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：齋藤曉生 , SAITO, AKIO , 池田英俊 , IKEDA, HIDETOSHI
IPC分类号： H02P29/00 , G05B13/04
CPC分类号： G05B11/32 , G05B13/041 , G05B2219/42155 , H02P21/08 , H02P23/14

6. 发明专利

TWI461877B 伺服控制裝置有权
简体标题：伺服控制设备
公开(公告)号：TWI461877B
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：TW101137068
申请日：2012-10-08
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：池田英俊 , IKEDA, HIDETOSHI , 齋藤曉生 , SAITO, AKIO , 五十嵐裕司 , IGARASHI, YUJI
IPC分类号： G05D3/12 , H02P29/00
CPC分类号： G05B13/042 , G05B19/00 , G05B19/19 , G05B2219/41021 , G05B2219/42155 , H02P21/18 , H02P31/00

7. 发明专利

TW201440415A 馬達控制裝置审中-公开
简体标题：马达控制设备
公开(公告)号：TW201440415A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：TW102147145
申请日：2013-12-19
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：齋藤曉生 , SAITO, AKIO , 池田英俊 , IKEDA, HIDETOSHI
IPC分类号： H02P29/00 , G05B13/04
CPC分类号： G05B11/32 , G05B13/041 , G05B2219/42155 , H02P21/08 , H02P23/14
摘要：為了獲得實現高速且良好的響應特性之馬達控制裝置，本發明的馬達控制裝置係具備：速度模型21，係根據第1狀態變數ξ與速度指令Vr，算出第1狀態變數ξ的變化量並更新第1狀態變數ξ，根據更新後的第1狀態變數ξ，輸出速度前饋Vff及電流前饋Uff；速度控制器33，係根據馬達11的實際速度V、速度前饋Vff及電流前饋Uff，算出第2狀態變數η的變化量並更新第2狀態變數η，根據馬達11的實際速度V、速度前饋Vff、電流前饋Uff、及更新後的第2狀態變數η，輸出電流指令U；電流限制器34，係以電流指令U為輸入，輸出限制後電流指令Usat；及變化量係數算出部36，係根據電流指令U與限制後電流指令Usat，算出變化量係數α。
简体摘要：为了获得实现高速且良好的响应特性之马达控制设备，本发明的马达控制设备系具备：速度模型21，系根据第1状态变量ξ与速度指令Vr，算出第1状态变量ξ的变化量并更新第1状态变量ξ，根据更新后的第1状态变量ξ，输出速度前馈Vff及电流前馈Uff；速度控制器33，系根据马达11的实际速度V、速度前馈Vff及电流前馈Uff，算出第2状态变量η的变化量并更新第2状态变量η，根据马达11的实际速度V、速度前馈Vff、电流前馈Uff、及更新后的第2状态变量η，输出电流指令U；电流限制器34，系以电流指令U为输入，输出限制后电流指令Usat；及变化量系数算出部36，系根据电流指令U与限制后电流指令Usat，算出变化量系数α。

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