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1. 发明专利

TW201814300A 探針系統與方法审中-公开
简体标题：探针系统与方法
公开(公告)号：TW201814300A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106132809
申请日：2017-09-25
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：費席爾格韋恩尼爾 , FISHER, GAVIN NEIL , 賽林格恩湯瑪士瑞恩爾 , THAERIGEN, THOMAS REINER , 麥卡恩彼得 , MCCANN, PETER , 瓊斯瑞德尼 , JONES, RODNEY , 達克沃斯寇比L , DUCKWORTH, KOBY L.
IPC分类号： G01R1/067 , G01R1/38
CPC分类号： G01R1/06794 , G01R1/07364 , G01R31/2891 , G01R35/00
摘要：本發明揭示探針系統和方法。所述方法包含直接測量第一操縱組件和第二操縱組件之間的距離；將第一和第二探針接觸第一和第二接觸位置；提供測試訊號至電性結構；以及從所述電性結構接收結果訊號。所述方法進一步包含根據所述距離而特徵化探針系統和所述電性結構中之至少一者。在一個實施例中，所述探針系統包含測量裝置，其經配置以直接測量第一操縱組件和第二操縱組件之間的距離。在另一個實施例中，所述探針系統包含探針頭組件，所述探針頭組件包含平台、操作性地附接於所述平台的操縱器、操作性地附接至所述操縱器的向量式網路分析儀(VNA)擴展器、以及操作性地附接至所述VNA擴展器的探針。
简体摘要：本发明揭示探针系统和方法。所述方法包含直接测量第一操纵组件和第二操纵组件之间的距离；将第一和第二探针接触第一和第二接触位置；提供测试信号至电性结构；以及从所述电性结构接收结果信号。所述方法进一步包含根据所述距离而特征化探针系统和所述电性结构中之至少一者。在一个实施例中，所述探针系统包含测量设备，其经配置以直接测量第一操纵组件和第二操纵组件之间的距离。在另一个实施例中，所述探针系统包含探针头组件，所述探针头组件包含平台、操作性地附接于所述平台的操纵器、操作性地附接至所述操纵器的矢量式网络分析仪(VNA)扩展器、以及操作性地附接至所述VNA扩展器的探针。

2. 发明专利

TWI613453B 具有一探針裝置之測試系統及轉位機構有权
简体标题：具有一探针设备之测试系统及转位机构
公开(公告)号：TWI613453B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW105141498
申请日：2012-07-06
申请人：色拉頓系統公司 , CELADON SYSTEMS, INC.
发明人：魯特布萊安J , ROOT, BRYAN J. , 方克威廉A , FUNK, WILLIAM A. , 鄧克理約翰L , DUNKLEE, JOHN L.
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/0466 , G01R1/073 , G01R31/26 , G01R31/2889

3. 发明专利

TWI583976B 晶圓檢查用介面有权
简体标题：晶圆检查用界面
公开(公告)号：TWI583976B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW102107261
申请日：2013-03-01
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：山田浩史 , YAMADA, HIROSHI
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R31/2891

4. 发明专利

TW201423110A 接觸檢查裝置审中-公开
简体标题：接触检查设备
公开(公告)号：TW201423110A
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：TW102124009
申请日：2013-07-04
申请人：日本麥克隆尼股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
发明人：田中健太郎 , TANAKA, KENTARO
IPC分类号： G01R1/067 , G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/06716 , G01R1/06738 , G01R1/07357
摘要： [問題]為了提供一種接觸檢查裝置，其係具有不會造成測試物體的電極之損壞的接點，且可與測試物體的電極建立穩定的電連接。[解決方法]一種接觸檢查裝置，包括將被與測試物體接觸用以檢查的接點，每一接點具有一基端部，具有將與該測試物體接觸之一針尖的針尖部，以及位在該基端部與該針尖部之間的一彈性形變部，其中該基端部與該針尖部具有相互重合的軸，當該針尖被壓向該測試物體時，該彈性形變部在沿該針尖部的該軸的方向所施加的壓縮力之下為可變形的，並透過該變形將該壓縮力轉換成該針尖部繞其針尖的傾斜動作。該接觸檢查裝置為，當該針尖被壓向該測試物體時，使得每一接點的該針尖部在該針尖部繞其針尖樞轉地傾斜的方向上為可位移的。
简体摘要： [问题]为了提供一种接触检查设备，其系具有不会造成测试物体的电极之损坏的接点，且可与测试物体的电极创建稳定的电连接。[解决方法]一种接触检查设备，包括将被与测试物体接触用以检查的接点，每一接点具有一基端部，具有将与该测试物体接触之一针尖的针尖部，以及位在该基端部与该针尖部之间的一弹性形变部，其中该基端部与该针尖部具有相互重合的轴，当该针尖被压向该测试物体时，该弹性形变部在沿该针尖部的该轴的方向所施加的压缩力之下为可变形的，并透过该变形将该压缩力转换成该针尖部绕其针尖的倾斜动作。该接触检查设备为，当该针尖被压向该测试物体时，使得每一接点的该针尖部在该针尖部绕其针尖枢转地倾斜的方向上为可位移的。

5. 发明专利

TW201350860A 定位探針與晶圓之方法审中-公开
简体标题：定位探针与晶圆之方法
公开(公告)号：TW201350860A
公开(公告)日：2013-12-16
申请号：TW102120857
申请日：2013-06-13
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：陳瑞龍 , CHEN, JUI LONG , 廖建智 , LIAO, CHIEN CHIH , 羅增錦 , LO, TSENG CHIN , 趙蕙韵 , CHAO, HUI YUN , 李大勇 , LEE, TA YUNG , 牟忠一 , MOU, JONG-I , 林進祥 , LIN, CHIN HSIANG
IPC分类号： G01R1/067
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/06705 , G01R31/2887 , G01R31/2891 , H01L23/544 , H01L2223/54426 , H01L2223/54453 , H01L2223/5446 , H01L2924/00 , H01L2924/0002
摘要：一種定位探針與晶圓之方法，包括：接收一晶圓，其具有複數個定位點；接收一探針卡，該探針卡在具有複數個探測點；接收一歷史偏移校正值；依據該歷史偏移校正值判斷該探針卡相對該晶圓之方向值；以及利用該方向值將該探針卡對準該晶圓，目的在使該複數個探測點中的一第一探測點與該複數個定位點中的一第一定位點相接觸。本發明之方法更包括評估該第一探測點與該第一定位點之連通性；以及當判斷該第一探測點與該第一定位點相連時：使用該已定位的探針卡對該晶圓進行一電氣測試；以及依據該方向值更新該歷史偏移校正值。
简体摘要：一种定位探针与晶圆之方法，包括：接收一晶圆，其具有复数个定位点；接收一探针卡，该探针卡在具有复数个探测点；接收一历史偏移校正值；依据该历史偏移校正值判断该探针卡相对该晶圆之方向值；以及利用该方向值将该探针卡对准该晶圆，目的在使该复数个探测点中的一第一探测点与该复数个定位点中的一第一定位点相接触。本发明之方法更包括评估该第一探测点与该第一定位点之连通性；以及当判断该第一探测点与该第一定位点相连时：使用该已定位的探针卡对该晶圆进行一电气测试；以及依据该方向值更新该历史偏移校正值。

6. 发明专利

TW201234017A 探針單元 PROBE UNIT 有权
简体标题：探针单元 PROBE UNIT
公开(公告)号：TW201234017A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：TW100141984
申请日：2011-11-17
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：風間俊男 , 廣中浩平 , 石川重樹
IPC分类号： G01R , H01R
CPC分类号： G01R1/07314 , G01R1/0483 , G01R1/06722 , G01R1/07364
摘要：本發明之探針單元係具備：複數個大徑探針；複數個小徑探針，其直徑分別比前述大徑探針之直徑小；大徑探針保持具，在厚度方向貫通設置有個別地保持複數個大徑探針之複數個大孔部，並且在與大徑探針接觸之狀態下以各大孔部之一端部收容小徑探針之端部；以及小徑探針保持具，在厚度方向貫通設置有在防止脫落之狀態下個別地保持複數個小徑探針之複數個小孔部，且以使該厚度方向與前述大徑探針保持具之厚度方向一致之方式積層在大徑探針保持具；彼此連通之大孔部及小孔部之長度方向的中心軸係為不同，在複數個小孔部，包含有彼此鄰接之二個前述小孔部的中心軸間距離比與各小孔部連通之二個大孔部的中心軸間距離小者。
简体摘要：本发明之探针单元系具备：复数个大径探针；复数个小径探针，其直径分别比前述大径探针之直径小；大径探针保持具，在厚度方向贯通设置有个别地保持复数个大径探针之复数个大孔部，并且在与大径探针接触之状态下以各大孔部之一端部收容小径探针之端部；以及小径探针保持具，在厚度方向贯通设置有在防止脱落之状态下个别地保持复数个小径探针之复数个小孔部，且以使该厚度方向与前述大径探针保持具之厚度方向一致之方式积层在大径探针保持具；彼此连通之大孔部及小孔部之长度方向的中心轴系为不同，在复数个小孔部，包含有彼此邻接之二个前述小孔部的中心轴间距离比与各小孔部连通之二个大孔部的中心轴间距离小者。

7. 发明专利

TWI355496B 控制電子測試機之水平位準的組件、具有該組件的電子測試機以及使用該組件控制電子測試機之水平位準的方法 ASSEMBLY FOR CONTROLLING THE HORIZONTAL LEVEL OF AN ELECTRICAL TESTER, ELECTRICAL TESTER HAVING THE ASSEMBLY, AND METHOD OF CONTROLLING THE HORIZONTAL LEVEL OF AN ELECTRICAL TESTER USING THE ASSEMBLY 有权
简体标题：控制电子测试机之水平位准的组件、具有该组件的电子测试机以及使用该组件控制电子测试机之水平位准的方法 ASSEMBLY FOR CONTROLLING THE HORIZONTAL LEVEL OF AN ELECTRICAL TESTER, ELECTRICAL TESTER HAVING THE ASSEMBLY, AND METHOD OF CONTROLLING THE HORIZONTAL LEVEL OF AN ELECTRICAL TESTER USING THE ASSEMBLY
公开(公告)号：TWI355496B
公开(公告)日：2012-01-01
申请号：TW097105022
申请日：2008-02-13
申请人：飛而康公司
发明人：黃俊泰 , 金培煥
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R1/07364
摘要：一種電子測試機，包括第一基板、第二基板以及用於控制第一基板之水平位準的組件。第一基板具有與物件進行接觸之第一面以及與第一面相對之第二面。第二基板經配置成面向第一基板之第二面。組件無彈性地組合於第一基板與第二基板之間。因此，可藉由調整第一基板與第二基板之間的無彈性組合而容易地控制第一基板之水平位準。
简体摘要：一种电子测试机，包括第一基板、第二基板以及用于控制第一基板之水平位准的组件。第一基板具有与对象进行接触之第一面以及与第一面相对之第二面。第二基板经配置成面向第一基板之第二面。组件无弹性地组合于第一基板与第二基板之间。因此，可借由调整第一基板与第二基板之间的无弹性组合而容易地控制第一基板之水平位准。

8. 发明专利

TW200925610A 探針卡审中-公开
简体标题：探针卡
公开(公告)号：TW200925610A
公开(公告)日：2009-06-16
申请号：TW097142808
申请日：2008-11-06
申请人：日本麥克隆尼股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
发明人：成田聰 NARITA, SATOSHI , 成田壽男 NARITA, HISAO , 山口將遵 YAMAGUCHI, NOBUYUKI
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/07342
摘要：在彼此錯開之3行以上之行配置複數個電極之電子元件之各電極,使相鄰之探針不互相接觸,而使1根探針之針尖以一對一之形式確實地接觸於各電極。探針卡含有配置於基板一側之複數根探針。該等探針係屬於含有接觸於被檢查體之第1電極行之電極之複數根探針之第1探針群組、含有接觸於被檢查體之第2電極行之電極之複數根探針之第2探針群組、含有交互接觸於被檢查體之中間電極行之電極之複數根探針之第3及第4探針群組。
简体摘要：在彼此错开之3行以上之行配置复数个电极之电子组件之各电极,使相邻之探针不互相接触,而使1根探针之针尖以一对一之形式确实地接触于各电极。探针卡含有配置于基板一侧之复数根探针。该等探针系属于含有接触于被检查体之第1电极行之电极之复数根探针之第1探针群组、含有接触于被检查体之第2电极行之电极之复数根探针之第2探针群组、含有交互接触于被检查体之中间电极行之电极之复数根探针之第3及第4探针群组。

9. 发明专利

TW201712355A 具有一探針裝置之測試系統及轉位機構审中-公开
简体标题：具有一探针设备之测试系统及转位机构
公开(公告)号：TW201712355A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105141498
申请日：2012-07-06
申请人：色拉頓系統公司 , CELADON SYSTEMS, INC.
发明人：魯特布萊安J , ROOT, BRYAN J. , 方克威廉A , FUNK, WILLIAM A. , 鄧克理約翰L , DUNKLEE, JOHN L.
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/0466 , G01R1/073 , G01R31/26 , G01R31/2889
摘要：本發明揭示一種探針裝置，該探針裝置在一側上具有帶有一觸點圖案之探針導線。該觸點圖案係用於接觸另一測試設備或組件(諸如一電路板)上之一各別觸點圖案。該等探針導線具有探測期望接受測試之一器件之尖端。信號係穿過來自探針卡之該等探針導線(舉例而言，穿過一電路板)傳輸至其他診斷設備。該探針卡與該電路板之該接觸允許使信號穿過該等探針導線傳送至該其他診斷設備。在該探針卡之另一側上係一連接器結構。該連接器結構包含一保持器，該保持器可允許自一測試系統替換該探針卡，諸如允許該探針卡自一固持器連接及斷開連接。
简体摘要：本发明揭示一种探针设备，该探针设备在一侧上具有带有一触点图案之探针导线。该触点图案系用于接触另一测试设备或组件(诸如一电路板)上之一各别触点图案。该等探针导线具有探测期望接受测试之一器件之尖端。信号系穿过来自探针卡之该等探针导线(举例而言，穿过一电路板)传输至其他诊断设备。该探针卡与该电路板之该接触允许使信号穿过该等探针导线发送至该其他诊断设备。在该探针卡之另一侧上系一连接器结构。该连接器结构包含一保持器，该保持器可允许自一测试系统替换该探针卡，诸如允许该探针卡自一固持器连接及断开连接。

10. 发明专利

TWI572872B 具有一探針裝置之測試系統及轉位機構有权
简体标题：具有一探针设备之测试系统及转位机构
公开(公告)号：TWI572872B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW101124557
申请日：2012-07-06
申请人：色拉頓系統公司 , CELADON SYSTEMS, INC.
发明人：魯特布萊安J , ROOT, BRYAN J. , 方克威廉A , FUNK, WILLIAM A. , 鄧克理約翰L , DUNKLEE, JOHN L.
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/0466 , G01R1/073 , G01R31/26 , G01R31/2889

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