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1. 发明专利

TW236025B 在操作中貫穿一核反應器壓力槽頂蓋時偵測漏洩之方法及裝置失效
简体标题：在操作中贯穿一核反应器压力槽顶盖时侦测漏泄之方法及设备
公开(公告)号：TW236025B
公开(公告)日：1994-12-11
申请号：TW082110318
申请日：1993-12-04
申请人：法國電氣國家服務處
发明人：法蘭柯斯.洛西 , 珍–路.吉爾曼
IPC分类号： G21C
CPC分类号： G01M3/202 , G21C13/036 , G21C13/06 , G21C17/002 , Y02E30/40
摘要：該方法及裝置可應用於在操作中貫穿（２）一個加壓水式核反應器壓力槽頂蓋（１）。
該裝置包括一個雙線路用以採取兩種氣體樣品（１００，１６，１７：１２，１３，１４，１５）及一個測量組合體（１８）它定期地比較經採取之兩樣品中之內含物，尤其是水蒸汽。第一樣品係自室（７）的容積中取出於該處可能之漏洩（１０）出現而接近該區域外部之頂蓋（１）之第二樣品立即漏洩所影響。該若漏洩，該組合體（１８）能產生（１９）一個警報並將它與操作之警報相區別。
亦提供技術和設備用來測定掠過室（７）的容積之流速及用來核對該等摘出和探測系統。
简体摘要：该方法及设备可应用于在操作中贯穿（２）一个加压水式核反应器压力槽顶盖（１）。该设备包括一个双线路用以采取两种气体样品（１００，１６，１７：１２，１３，１４，１５）及一个测量组合体（１８）它定期地比较经采取之两样品中之内含物，尤其是水蒸汽。第一样品系自室（７）的容积中取出于该处可能之漏泄（１０）出现而接近该区域外部之顶盖（１）之第二样品立即漏泄所影响。该若漏泄，该组合体（１８）能产生（１９）一个警报并将它与操作之警报相区别。亦提供技术和设备用来测定掠过室（７）的容积之流速及用来核对该等摘出和探测系统。

2. 发明专利

TW200641347A 質量分析裝置及其使用方法 MASS SPECTROMETER AND ITS USING METHOD 审中-公开
简体标题：质量分析设备及其使用方法 MASS SPECTROMETER AND ITS USING METHOD
公开(公告)号：TW200641347A
公开(公告)日：2006-12-01
申请号：TW095117701
申请日：2006-05-18
申请人：愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.
发明人：中島豐昭 NAKAJIMA, TOYOAKI , 吉澤秀樹 YOSHIZAWA, HIDEKI
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N27/62 , G01M3/202 , H01J41/10 , H01J49/00
摘要：一種質量分析裝置，係安裝於處理室的壁部，分析存在於該處理室內的分析對象氣體之質量分析裝置，其特徵為：具備：於向前述處理室安裝時，被插入前述處理室內，測定每個前述分析對象氣體中的氣體成分的質量電荷比之分壓的測定部、和在向前述處理室的安裝時，位於前述壁部的外側，操作前述測定部之操作部、和在向前述處理室的安裝時，位於前述壁部的外側，顯示前述測定部的測定結果之顯示部；將前述測定部與前述操作部與前述前述顯示部相互接近而配設。
简体摘要：一种质量分析设备，系安装于处理室的壁部，分析存在于该处理室内的分析对象气体之质量分析设备，其特征为：具备：于向前述处理室安装时，被插入前述处理室内，测定每个前述分析对象气体中的气体成分的质量电荷比之分压的测定部、和在向前述处理室的安装时，位于前述壁部的外侧，操作前述测定部之操作部、和在向前述处理室的安装时，位于前述壁部的外侧，显示前述测定部的测定结果之显示部；将前述测定部与前述操作部与前述前述显示部相互接近而配设。

3. 发明专利

TW201011272A 用於測定真空系統總洩漏率的方法及真空系統 A METHOD FOR DETERMINING THE TOTAL LEAK RATE OF A VACUUM SYSTEM AND VACUUM SYSTEM 审中-公开
简体标题：用于测定真空系统总泄漏率的方法及真空系统 A METHOD FOR DETERMINING THE TOTAL LEAK RATE OF A VACUUM SYSTEM AND VACUUM SYSTEM
公开(公告)号：TW201011272A
公开(公告)日：2010-03-16
申请号：TW098126512
申请日：2009-08-06
申请人：歐瑞康藍伯德真空股份有限公司 , 歐瑞康貿易特魯貝屈股份有限公司
发明人：帕坦湯瑪斯 , 華特吉哈德威爾漢 , 艾倫斯朋格達米安
IPC分类号： G01M
CPC分类号： G01M3/202 , G01M3/226
摘要：一種用以測定真空系統之總洩漏率之方法及真空系統。一種用以測定一真空系統之總洩漏率的方法，該真空系統包括一製程室(10)及一與該製程室(10)連接之泵手段(16)，該方法包括下列步驟：停止製程氣體供應至該製程室(10)；供應一載體氣體至該製程室(10)；以該泵手段(16)運送該載體氣體及一洩漏氣體；測量該抽吸氣體之一氣體成分的含量；以及根據該氣體成分之測量含量測定該真空系統之總洩漏率。
简体摘要：一种用以测定真空系统之总泄漏率之方法及真空系统。一种用以测定一真空系统之总泄漏率的方法，该真空系统包括一制程室(10)及一与该制程室(10)连接之泵手段(16)，该方法包括下列步骤：停止制程气体供应至该制程室(10)；供应一载体气体至该制程室(10)；以该泵手段(16)运送该载体气体及一泄漏气体；测量该抽吸气体之一气体成分的含量；以及根据该气体成分之测量含量测定该真空系统之总泄漏率。

4. 发明专利

TW200615527A 洩漏檢測方法 A METHOD FOR LEAK DETECTION 审中-公开
简体标题：泄漏检测方法 A METHOD FOR LEAK DETECTION
公开(公告)号：TW200615527A
公开(公告)日：2006-05-16
申请号：TW094133891
申请日：2005-09-29
申请人：英飛康股份有限公司 INFICON GMBH
发明人：喬恩列比屈 LIEBICH, JOERN , 藍道夫羅福 ROLFF, RANDOLF , 拉夫奇連 KILIAN, RALF
IPC分类号： G01M
CPC分类号： G01M3/202
摘要：於洩漏偵測中，由一測試氣體所產生之訊號由干擾予以疊加，其當容器中之真空產生進行時會衰減，視容積訊號(MS)之負斜率而定，下指示界限(AG)被計算，在一歸零功能致動下，容積訊號(MS)未被減少至零，而僅減少至指示界限(AG)之位準，指示界限之任何超過將被視為洩漏，因此，洩漏偵測之最大靈敏度在任何時間皆被確保。
简体摘要：于泄漏侦测中，由一测试气体所产生之信号由干扰予以叠加，其当容器中之真空产生进行时会衰减，视容积信号(MS)之负斜率而定，下指示界限(AG)被计算，在一归零功能致动下，容积信号(MS)未被减少至零，而仅减少至指示界限(AG)之位准，指示界限之任何超过将被视为泄漏，因此，泄漏侦测之最大灵敏度在任何时间皆被确保。

5. 发明专利

TWI388815B 洩漏檢測方法及漏洩偵測器有权
简体标题：泄漏检测方法及漏泄侦测器
公开(公告)号：TWI388815B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW094133891
申请日：2005-09-29
申请人：英飛康股份有限公司 , INFICON GMBH
发明人：喬恩列比屈 , LIEBICH, JOERN , 藍道夫羅福 , ROLFF, RANDOLF , 拉夫奇連 , KILIAN, RALF
IPC分类号： G01M3/16
CPC分类号： G01M3/202

6. 发明专利

TW201144784A 漏洩檢測方法及真空處理裝置审中-公开
简体标题：漏泄检测方法及真空处理设备
公开(公告)号：TW201144784A
公开(公告)日：2011-12-16
申请号：TW100112026
申请日：2011-04-07
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：中邨大輔 , 中島豐昭 , 松本善和 , 前田章弘 , 瀨戶規正
IPC分类号： G01M
CPC分类号： G01M3/202
摘要：提供一種作業效率良好的漏洩檢測方法,特別是對於大型的真空處理裝置,使用檢漏器而可用短時間且正確地漏洩檢測。將具有檢測氦氣的質量分析管(61)和將該質量分析管內抽真空的真空泵(63、65)之檢漏器(6),透過連接管(7)而連接到具備腔(11)和高真空泵(2)以及透過排氣管(3、4)連接到高真空泵的排氣側而對該高真空泵進行輔助排氣的初期泵(5)之真空處理裝置(1)處,將該氦氣從真空處理裝置外側作噴射,並將從真空處理裝置的漏洩處而被引進腔內的氦氣,引導到質量分析管並檢測出來,藉此而進行真空處理裝置之漏洩檢測。將來自檢漏器的連接管,連接到排氣管中之從高真空泵的排氣側起而距離該排氣管全長之10%以內的範圍內。
简体摘要：提供一种作业效率良好的漏泄检测方法,特别是对于大型的真空处理设备,使用检漏器而可用短时间且正确地漏泄检测。将具有检测氦气的质量分析管(61)和将该质量分析管内抽真空的真空泵(63、65)之检漏器(6),透过连接管(7)而连接到具备腔(11)和高真空泵(2)以及透过排气管(3、4)连接到高真空泵的排气侧而对该高真空泵进行辅助排气的初期泵(5)之真空处理设备(1)处,将该氦气从真空处理设备外侧作喷射,并将从真空处理设备的漏泄处而被引进腔内的氦气,引导到质量分析管并检测出来,借此而进行真空处理设备之漏泄检测。将来自检漏器的连接管,连接到排气管中之从高真空泵的排气侧起而距离该排气管全长之10%以内的范围内。

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