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1. 发明专利

TW201144784A 漏洩檢測方法及真空處理裝置审中-公开
简体标题：漏泄检测方法及真空处理设备
公开(公告)号：TW201144784A
公开(公告)日：2011-12-16
申请号：TW100112026
申请日：2011-04-07
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：中邨大輔 , 中島豐昭 , 松本善和 , 前田章弘 , 瀨戶規正
IPC分类号： G01M
CPC分类号： G01M3/202
摘要：提供一種作業效率良好的漏洩檢測方法,特別是對於大型的真空處理裝置,使用檢漏器而可用短時間且正確地漏洩檢測。將具有檢測氦氣的質量分析管(61)和將該質量分析管內抽真空的真空泵(63、65)之檢漏器(6),透過連接管(7)而連接到具備腔(11)和高真空泵(2)以及透過排氣管(3、4)連接到高真空泵的排氣側而對該高真空泵進行輔助排氣的初期泵(5)之真空處理裝置(1)處,將該氦氣從真空處理裝置外側作噴射,並將從真空處理裝置的漏洩處而被引進腔內的氦氣,引導到質量分析管並檢測出來,藉此而進行真空處理裝置之漏洩檢測。將來自檢漏器的連接管,連接到排氣管中之從高真空泵的排氣側起而距離該排氣管全長之10%以內的範圍內。
简体摘要：提供一种作业效率良好的漏泄检测方法,特别是对于大型的真空处理设备,使用检漏器而可用短时间且正确地漏泄检测。将具有检测氦气的质量分析管(61)和将该质量分析管内抽真空的真空泵(63、65)之检漏器(6),透过连接管(7)而连接到具备腔(11)和高真空泵(2)以及透过排气管(3、4)连接到高真空泵的排气侧而对该高真空泵进行辅助排气的初期泵(5)之真空处理设备(1)处,将该氦气从真空处理设备外侧作喷射,并将从真空处理设备的漏泄处而被引进腔内的氦气,引导到质量分析管并检测出来,借此而进行真空处理设备之漏泄检测。将来自检漏器的连接管,连接到排气管中之从高真空泵的排气侧起而距离该排气管全长之10%以内的范围内。

2. 发明专利

TW201237384A 測漏儀审中-公开
简体标题：测漏仪
公开(公告)号：TW201237384A
公开(公告)日：2012-09-16
申请号：TW100137125
申请日：2011-10-13
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：松本善和 , 瀨戶規正 , 中邨大輔 , 前田章弘
IPC分类号： G01M , F04D
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/042
摘要：本發明提供一種測漏儀，其使用方便性佳，且無損所謂「檢測靈敏度高、對氦氣之反應速度也快」的功能，而能夠在開始試驗體之真空處理後迅速地開始進行洩漏測試。本發明的測漏儀，係具備：質量分析管(2)，其係檢測示蹤氣體；以及渦輪分子泵(3)，其係在殼體(31)內交互地具有複數段之安裝於旋轉軸(32)的旋轉翼(33)和固定翼(34)，且設置有旋轉驅動旋轉軸的驅動源(35)。在殼體之中位於最上段的旋轉翼(33a)之相對向的壁(31a)，相互分離地開設有連通於試驗體(TP)的吸氣埠(36)和可供質量分析管連接的連接埠(37)。然後，透過連接管來連接渦輪分子泵之吸氣埠和試驗體，並從該試驗體內將示蹤氣體(search gas)導入於質量分析管以進行洩漏檢測。
简体摘要：本发明提供一种测漏仪，其使用方便性佳，且无损所谓“检测灵敏度高、对氦气之反应速度也快”的功能，而能够在开始试验体之真空处理后迅速地开始进行泄漏测试。本发明的测漏仪，系具备：质量分析管(2)，其系检测示踪气体；以及涡轮分子泵(3)，其系在壳体(31)内交互地具有复数段之安装于旋转轴(32)的旋转翼(33)和固定翼(34)，且设置有旋转驱动旋转轴的驱动源(35)。在壳体之中位于最上段的旋转翼(33a)之相对向的壁(31a)，相互分离地开设有连通于试验体(TP)的吸气端口(36)和可供质量分析管连接的端口(37)。然后，透过连接管来连接涡轮分子泵之吸气端口和试验体，并从该试验体内将示踪气体(search gas)导入于质量分析管以进行泄漏检测。

3. 发明专利

TWI519772B 測漏儀有权
简体标题：测漏仪
公开(公告)号：TWI519772B
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW100137125
申请日：2011-10-13
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：松本善和 , MATSUMOTO, YOSHIKAZU , 瀨戶規正 , SETO, NORIMASA , 中邨大輔 , NAKAMURA, DAISUKE , 前田章弘 , MAEDA, AKIHIRO
IPC分类号： G01M3/20 , F04D19/04
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/042

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